治具・段取替え
プローブ、基板、工程に合わせて保持、基準、交換方法を設計。
01 / ASSEMBLY
MEMSプローブカード植針・組立
プローブ、基板、治具、画像位置合わせ、レシピ、組立後検査で作業ステーションを構成します。
構成項目：プローブ形状、基板、基準、精度、タクト、受入方法。
画像位置合わせ
植針位置、工程画像、異常箇所を確認。
レシピ・履歴
作業指示、材料、作業者、版数、結果を保存。
組立後検査
AOI、XYZ、Pin Force、電気検査と連携。
02 / ELECTRICAL + PHYSICAL TEST
PCT5801・DeepTouch1000
高チャネル電気試験と荷重・針先XYZ・接触状態検査を一つの工程にします。
現行構成：16,384チャネル、0～1000 kgf。60k/300k HBMは対象カードに合わせて設計。
Open / Short / Leakage
nA級リークを含む電気試験。10k pin/10 nA Leakageの代表時間は約60分。
制御リソース
MCW、Relay、FPGA、ASIC、SPI、I²C。
高チャネル拡張
1,024チャネルモジュールをmotherboardとtesterに合わせて組合せ。
物理検証
荷重、針先XYZ、針痕、接触状態で電気異常を確認。
03 / CLEAN + REINSPECT
プローブカード洗浄・再検査
IPA噴霧、制御ブラシ、クリーンガス、3方向画像検査をレシピ管理します。
構成項目：カード形式、材料適合性、粒子判定、再洗浄条件、作業時間。
IPA噴霧
カードに合わせて供給範囲と条件を設定。
制御ブラシ
ブラシ、動作、接触、回数を管理。
クリーンガス
再検査・電気試験前の状態を安定化。
3方向再検査
画像、判定、再洗浄履歴を保存。
04 / CONTROLLED STORAGE
プローブカード自動保管・追跡
環境制御、RFID、工場システムで入庫、払出、返却、棚卸を管理します。
構成項目：容量、環境、RFID、WMS/EAP/MES、受渡し、入出庫時間。
環境制御
窒素、ESD、温湿度、警報をカードと設備条件に合わせて設定。
RFID
カードID、保管位置、状態、移動履歴を関連付け。
WMS / EAP / MES
指示、状態、異常、監査履歴を連携。
手動・自動受渡し
手動、AMR、ロボット、OHTに対応。
関連する試験・装置
デバイス試験、ソケット、半導体装置
高ピン数ソケット試験、EVA100アプリケーション、中古半導体装置にも対応します。
技術資料
9種類の個別製品ページ
適用分野、主な仕様、運用フロー、導入プロセス、構成・受入条件を掲載しています。
高チャネル電気試験と物理検証メモリ用プローブカード試験システムHBMおよび高ピン数向けに、Open、Short、nA級リーク、制御リソース、TDR/PBDATA、針先検査を組み合わせたプローブカード試験システムです。モジュール式高チャネル電気試験PCT5801 プローブカード電気試験プラットフォームOpen、Short、nA級Leakage、MCW、制御リソース、AC/TDRオプションに対応するモジュール式プローブカード電気試験装置です。荷重、針先XYZ、接触状態の検査DeepTouch1000 プローブカード物理検証装置0～1000 kgfの荷重試験と針先XYZ検査を行い、PCT5801の電気試験結果と照合できるプローブカード検証装置です。治具、画像位置合わせ、レシピ、組立後検査MEMSプローブカード植針・組立装置プローブ、基板、専用治具、画像位置合わせ、レシピ管理、AOI・XYZ・Pin Force・電気検査を組み合わせた植針・組立装置です。IPA噴霧、制御ブラシ、クリーンガス、画像再検査プローブカード洗浄・3方向再検査装置IPA噴霧、制御ブラシ、クリーンガスブロー、3方向画像検査、RFID履歴管理に対応するプローブカード洗浄装置です。環境制御、RFID、工場システム連携プローブカード自動保管・トレーサビリティシステム窒素・ESD環境、RFID、WMS/EAP/MES連携、手動・AMR・ロボット・OHT受渡しに対応するプローブカード保管システムです。プロセッサ実装前の接触・電気検査AIプロセッサ高ピン数ソケットテスター8,000～20,000 pinのAIプロセッサ用ソケットを対象に、実装前のOpen、Short、接触状態を確認する試験装置です。デジタル・ミックスドシグナル試験開発Advantest EVA100 アプリケーション・テストエンジニアリングEVA100を使ったロジック、PMIC、比較器、アンプ、コンバータ、センサのCP/FT、IP検証、故障解析を支援します。装置選定、状態確認、輸送、据付中古半導体装置・エンジニアリングサービスASML露光装置、Accretech/TELプローバ、Advantest ATEなどの装置選定、構成確認、輸送、据付を支援します。