現行の高チャネル構成は16,384チャネルです。motherboardとインターフェースはカード仕様に合わせて設計します。
装置・エンジニアリングソリューション
適用分野
プローブカードの製造、試験、保守における主な適用分野です。
出荷・修理後の確認
Open、Short、Leakage、制御リソース、インターフェースを検査し、結果をカード単位で保存します。
HBMワンタッチダウン評価
高ピン数motherboardとtester/prober構成に合わせ、チャネル割り当てとワンタッチダウン動作を確認します。
電気異常の原因解析
異常チャネルを特定し、針先XYZ、荷重、針痕、接触状態の結果と照合します。
SPECIFICATIONS
主な仕様
最終構成は、カード、インターフェース、設置条件、受入項目に合わせて決定します。
| 項目 | 仕様・構成 | 補足 |
|---|---|---|
| 対象 | NAND、NOR、DRAM、HBM | HBM構成はカード、motherboard、tester仕様に合わせて設計 |
| 基本試験 | Open、Short、nA級Leakage | レンジ、判定値、測定ポイントは技術仕様書で確定 |
| 制御リソース | MCW、Relay、FPGA、ASIC、SPI、I²C | ボードとtesterインターフェースに応じて選択 |
| 高速・波形項目 | PBDATA、TDR、AC | 対応ハードウェアを含むオプション構成 |
| チャネル構成 | 現行16,384チャネル | 60k/300k HBMは拡張構成として個別検討 |
| 代表的な測定時間 | Open 5分、Short 5分、10k pin/10 nA Leakage 60分、MCW/制御 5～30分、PBDATA/TDR 20分 | カード種類、判定ロジック、再試験条件で変動 |
| tester | T5830、T5833、M5、V93000 P16など | 現場のtesterとmotherboard仕様を確認 |
| prober | UF3000/UF3000ex、TEL Precio、SEMICS OPUS3、CNS | 機械・電気・自動化インターフェースを個別設計 |
WORKFLOW
運用フロー
カードと接続条件の確認
カード種類、ピン数、tester、prober、motherboard、制御リソース、受入項目を整理します。
電気試験
Open、Short、Leakage、MCW、制御項目と選択した高速項目を実行し、元データを保存します。
物理検査
異常位置について針先XYZ、荷重、針痕、接触状態を確認します。
報告と再試験
設定版数、試験結果、処置内容、再試験結果をまとめ、FAT/SATに使用します。
FAT / SAT
導入プロセス
サンプル評価
対象、インターフェース、現状、不良モード、評価用サンプルを確認します。
技術仕様書
装置構成、測定方法、判定値、タクト、データ連携、責任範囲を確定します。
FAT
合意したサンプルで機能、繰返し精度、報告書、異常処理を確認します。
SAT
現場接続、教育、上流・下流インターフェース、残課題の対応を完了します。
CONFIGURATION
構成・受入条件
システム構成、選択機能、受入条件を以下に示します。
導入実績
社内製品記録では、中国10台超、韓国1台の導入実績があります。
拡張構成
16,384チャネルを現行構成とし、60k/300k HBMは対象カードとインターフェースに合わせて設計します。
受入条件
チャネル数、レンジ、判定値、インターフェース、測定時間は技術仕様書とFAT/SAT項目で確定します。
カード仕様と接続条件をお知らせください
サンプル、既存装置、現在の課題、目標タクトをお送りください。1営業日以内に受領をご連絡します。