
エンジニアリング試作機 · 外付け式データ取得
プローバ情報ボックス
工場で十数年から二十年動いてきたプローバは、動作そのものは問題なくても、データだけは何も取り出せません。情報ボックスは外付け式の取得ユニットです。一方を装置に直結し、もう一方を工場ネットワークにつなぎ、装置本体には手を入れないまま、装置自身の設定カードと稼働メモリからウェーハジオメトリ、テストカウンタ、プローブカードの累計タッチダウン回数と針クリーニング回数を読み出し、画面と操作はブラウザ側に表示します。最も大切な性格はデータを作らないことです。各ページが自分のデータ出所の等級を表示し、出所がつながっていないページは、見栄えのよい数字を埋めるのではなく自動的にロックされます。製品はエンジニアリング試作機の段階で、自社のエンジニアリング機で連続運転していますが、顧客への納入実績はありません。
適用分野
プローブカードの製造、試験、保守における主な適用分野です。
旧型機のデータ化
現代的なデータインターフェースを持たない稼働中のプローバに、読み出せる稼働事実を提供します。
プローブカード使用履歴の追跡
プローブカードの累計タッチダウン回数と針クリーニング回数を読み出し、カード交換と洗浄の判断材料にします。
装置状態のリモート確認
工場ネットワーク側から装置の画面と稼働カウンタを確認し、装置まで往復する回数を減らします。
主な仕様
最終構成は、カード、インターフェース、設置条件、受入項目に合わせて決定します。
| 項目 | 仕様・構成 | 補足 |
|---|---|---|
| 製品段階 | エンジニアリング試作機、自社開発 | 自社エンジニアリング機で連続運転。顧客への納入実績はありません |
| 接続方式 | 外付け式の取得ユニット。装置の制御プログラムは改変しません | 一方を装置に直結、一方を工場ネットワークへ。物理的に分離しています |
| 画面と操作 | 装置画面を取得してブラウザに表示し、操作を返送できます | 取得も返送も外部インターフェースで、装置のプログラムには入りません |
| ウェーハジオメトリ | サイズ、X/Yインデックス、行数と列数、有効ダイ数 | 装置の設定カードのスナップショットから読み出し |
| テストカウンタ | 総数、測定済み、パス、フェイル、再測定、スキップ、マーキング | 装置の稼働メモリから読み出し、リアルタイムと表示します |
| プローブカードカウンタ | 累計タッチダウン回数と針クリーニング回数 | 装置の元パラメータを項目ごとに無損失でデコード |
| バーコード入力 | USB バーコードリーダーを中継経由で装置本来のバーコードポートへ書き込み | バーコードリーダーと LOT 接続の項目を参照 |
| データ出所の表示 | 各ページに リアルタイム / 装置設定スナップショット / ローカル設定 / オフライン / 設計参考 の等級を表示 | 参考級のページは操作を自動で無効化します |
| モジュール誠実性規約 | 各モジュールが実装済み項目、推定しない項目、外部依存を宣言します | 算出できない指標は明示的に宣言し、近似値は出しません |
| インターフェース言語 | 中国語 / 日本語 / 英語 / 韓国語 | 多言語の現場向け |
| ハードウェア形態 | ARM64 組込み演算ユニット + 取得・シリアル周辺機器 | 具体的な型式と設置形態は現場で確認します |
運用フロー
機種とインターフェースの調査
装置の型式、使用できるインターフェース、工場ネットワークの条件を確認します。
取得経路の検証
設定カード、稼働カウンタ、バーコード経路が読み通せるかを一つずつ検証します。
現場での試運転
実際の生産タクトのもとでデータと安定性を観察します。
納入内容の定義
検証結果に基づき、取得範囲、設置形態、運用保守の方式を決めます。
導入プロセス
サンプル評価
対象、インターフェース、現状、不良モード、評価用サンプルを確認します。
技術仕様書
装置構成、測定方法、判定値、タクト、データ連携、責任範囲を確定します。
FAT
合意したサンプルで機能、繰返し精度、報告書、異常処理を確認します。
SAT
現場接続、教育、上流・下流インターフェース、残課題の対応を完了します。
構成・受入条件
システム構成、選択機能、受入条件を以下に示します。
段階の表記
自社エンジニアリング機で連続運転し、実際の記録(プローブカードの累計タッチダウン回数と針クリーニング回数、ウェーハジオメトリ、リアルタイムカウンタを含む)を出力できていますが、顧客現場への納入実績はありませんので、エンジニアリング試作機として表記しています。
接続の範囲
取得は外付け式で、装置本体の制御プログラムは改変しません。読み出せる項目は機種とそのインターフェースによりますので、1 台ごとに調査して確認します。
データの範囲
ページはデータ出所の等級で表示し、つながっていないモジュールはロックしたままにします。推定値を実測値の代わりにはしません。いかなる法規認証も、工場システムへの代理報告能力も約束しません。
カード仕様と接続条件をお知らせください
サンプル、既存装置、現在の課題、目標タクトをお送りください。1営業日以内に受領をご連絡します。
