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開発中

情報ボックスプローバ外付け式データ取得ユニット

情報ボックスは稼働中のプローバに外付けし、ウェーハ形状とテストカウンタを読み出して 4ページの生産ボードに送ります。

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イメージ図：UF200プローバの上部に情報ボックスを外付けし、一方のケーブルは装置に直結、もう一方は工場ネットワークに接続して、生産ボード、EAP、MESに送る。装置本体は変更しない 情報ボックス 装置の外側に外付け 一方は装置に直結 読取のみ 一方は工場網へ ボード · EAP · MES UF200プローバ · 本体は変更しない イメージ図：UF200プローバの上部に情報ボックスを外付けし、一方のケーブルは装置に直結、もう一方は工場ネットワークに接続して、生産ボード、EAP、MESに送る。装置本体は変更しない 情報ボックス 装置に直結 工場網へ イメージ図 · 実機撮影ではありません · 形態は現場の機種に合わせて確認

主な情報

接続
外付け式装置本体と制御プログラムは変更しない
データ取得
読取のみが標準リモート操作はオプション
生産ボード
4ページ稼働概要、リアルタイム画面、ウェーハマップ、EAPインターフェース
データ出所
ページごとに表示出所が確認できなければロック

一方は装置へ、他方は工場網へ

情報ボックスは装置の設定カードと稼働メモリからデータを読み出し、装置画面は読取専用のミラーとして表示します。もう一方は工場ネットワークにつなぎ、生産ボードに送ります。EAP / MESまでの各区間は個別に状態を表示します。

データ経路の図：情報ボックスは一方でUF200プローバに直結し、ウェーハ形状、テストカウンタ、カードカウンタ、装置画面を読取のみで取り出す。もう一方は工場ネットワークにつなぎ、4ページの生産ボードに送り、EAP / MESまでのリンクを区間ごとに状態表示する。各ページにデータ出所の等級を表示 Probing自社開発 装置と工場システム UF200プローバ 装置本体と制御プログラムは変更しない ウェーハ形状 設定カードのスナップショットから読出し テストカウンタ 稼働メモリから読出し、リアルタイム表示 カードカウンタ 元パラメータを項目ごとにデコード 装置画面 ネイティブ画面、読取専用ミラー 装置に直結 読取のみ プローバ情報ボックス 開発中 外付け採取ユニット装置プログラムは変更しない 装置側と工場網側は物理的に分離 ページごとに出所等級を表示 出所不明はロック 工場網へ 生産ボード（4ページ） 稼働概要 · UF200 リアルタイム画面 外付けウェーハマップ SECS/GEM · EAPインターフェース EAP / MES HSMS → GEM → 装置 区間ごとに状態表示 各ページに出所等級を表示 リアルタイム 装置設定スナップショット ローカル設定 オフライン 設計参考 参考級のページは操作を自動で無効化 データ経路の図（縦配置）：情報ボックスは一方でUF200プローバに直結し、ウェーハ形状、テストカウンタ、カードカウンタ、装置画面を読取のみで取り出す。もう一方は工場ネットワークにつなぎ、4ページの生産ボードに送り、EAP / MESまでのリンクを区間ごとに状態表示する。各ページにデータ出所の等級を表示 Probing自社開発 装置と工場システム UF200プローバ 装置本体と制御プログラムは変更しない ウェーハ形状 設定カードのスナップショット テストカウンタ 稼働メモリ · リアルタイム カードカウンタ 元パラメータを項目ごとにデコード 装置画面 読取専用ミラー 装置に直結 読取のみ プローバ情報ボックス 開発中 外付け採取ユニット、装置プログラムは変更しない 装置側と工場網側は物理的に分離 ページごとに出所等級を表示 出所不明はロック 工場網へ 生産ボード · 4ページ 稼働概要 UF200 リアルタイム画面 外付けウェーハマップ EAPインターフェース EAP / MES HSMS → GEM → 装置 区間ごとに状態表示 各ページに出所等級を表示 · 参考級ページは操作を無効化 リアルタイム 装置設定スナップショット ローカル設定 オフライン 設計参考
イメージ図：青は情報ボックスとそのボードのページです。EAP / MESまでのリンク（破線）はHSMS、GEMを経て装置に至り、区間ごとに、証拠あり、推定待ち、遮断、異常を表示します。

ボード画面

同じシステムの4ページです。CP工場の壁にある4枚のボードには、これらの実機画面を使っています。

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稼働概要ページの実機スクリーンショット：LOT、ウェーハ進捗、歩留り、ボックスの状態などのカードが並び、右側にUF200のリアルタイム画面
稼働概要LOT / WAFER / DEVICE、ウェーハの進捗、BIN分布、ボックスの状態を同じ画面に表示します。右側には装置のリアルタイム画面を同期し、取得できなかった数値は--と表示します。
UF200 リアルタイム画面の実機スクリーンショット：装置本来の画面で、DEVICE、WAFER SIZE、INDEX X/Y、YIELD、LOTなどの項目を表示
UF200 リアルタイム画面装置本来の画面を読取専用でブラウザとボードにミラー表示します。装置自身が表示する警報行はそのまま表示し、書き換えません。
外付けウェーハマップの実機スクリーンショット：中央にウェーハ全体のダイマップ、左列にレシピ、稼働、BINカウント、右列に各リンクの状態
外付けウェーハマップindex X/Yとグリッドサイズからウェーハ全体のダイマップを再現し、右列に各リンクの状態を1件ずつ表示します。接続されていないリンクはNOT CONNECTEDと表示します。
SECS/GEM · EAPインターフェースページの実機スクリーンショット：EAP / MES、HSMS、GEM、UF200の通信トポロジで、各区間に状態を表示
SECS/GEM · EAPインターフェース外部Hostの設定と現在のセッション状態を分けて表示します。プロトコルのトポロジ上の各区間に、証拠あり、推定待ち、遮断、異常を個別に表示します。

画面は実機のスクリーンショットで、内部識別子（アドレス、装置番号、内部コンポーネント名）は伏せています。

適用分野

旧型機のデータ化

現代的なデータインターフェースを持たない稼働中のプローバから、読み出せる稼働事実を取り出します。生産数、装置状態、警報を生産ボードと工場ネットワークに直接送り、ネットワーク接続のために装置全体を入れ替える必要はありません。

プローブカード使用履歴の把握

プローブカードの累計タッチダウン回数と針クリーニング回数を読み出し、カード交換と洗浄の判断材料にします。数値は装置の元パラメータを項目ごとにデコードします。

装置状態のリモート確認

工場ネットワーク側から装置の画面と稼働カウンタを確認でき、装置まで足を運ぶ回数を減らせます。オフィスで見る画面は、装置の前で見る画面と同じです。

EAP接続前の確認

装置本来のGEM / HSMSプログラム、データ辞書、稼働ログを直接照合します。EAP / MESから装置までの各区間を個別に状態表示するため、誤接続は稼働前に判明します。

開発中。現場で一台ずつ確認します

情報ボックスは現在開発中で、ボード画面は実機のスクリーンショットです。読み出せる項目は機種とインターフェースによるため、一台ずつ調査して確認します。

すべてのページにデータ出所の等級を表示し、出所が確立できないページは自動でロックします。推定値を実測値の代わりに置くことはせず、法規適合の認証や、工場システムへの報告代行は約束しません。

調査から納入内容の定義まで

  1. 機種とインターフェースの調査装置の型式、使用できるインターフェース、工場ネットワークの条件を確認します。
  2. 取得経路の検証設定カード、稼働カウンタ、バーコード経路が読み通せるかを一つずつ確かめます。
  3. 現場での試運転実際の生産タクトのもとで、データの内容と稼働の安定性を観察します。
  4. 納入内容の定義検証結果に基づき、取得範囲、設置形態、運用保守の方式を決めます。

仕様

仕様表をすべて表示（11項目）
項目仕様仕様・構成
製品段階開発中、自社開発ページごとにデータ出所の等級を表示
接続方式外付け式の取得ユニット。装置の制御プログラムは改変しません一方を装置に直結、一方を工場ネットワークへ。物理的に分離しています
画面と操作装置画面を取得してブラウザに表示し、操作を返送できます操作の返送はオプションで、標準は読取のみ。取得も返送も外部インターフェースで、装置のプログラムには入りません
ウェーハ形状サイズ、X/Yインデックス、行数と列数、有効ダイ数装置の設定カードのスナップショットから読出し
テストカウンタ総数、測定済み、パス、フェイル、再測定、スキップ、マーキング装置の稼働メモリから読み出し、リアルタイムと表示します
カードカウンタ累計タッチダウン回数と針クリーニング回数装置の元パラメータを項目ごとにデコード
バーコード入力USBバーコードスキャナを中継器経由で装置本来のバーコードポートへ書き込みプローバ用バーコードスキャナとLOT取り込みの項目を参照
データ出所の表示各ページに リアルタイム / 装置設定スナップショット / ローカル設定 / オフライン / 設計参考 の等級を表示参考級のページは操作を自動で無効化
モジュール宣言各モジュールが実装済み項目、推定しない項目、外部依存を宣言します算出できない指標は明示的に宣言し、近似値は出しません
インターフェース言語中国語 / 日本語 / 英語 / 韓国語多言語の現場向け
ハードウェア形態ARM64組込み演算ユニットと、取得およびシリアルの周辺機器で構成具体的な型式と設置形態は現場で確認します

記載のない指標は技術仕様書で取り決めます。

本文中のメーカー機種名は当社が対応可能な装置の範囲を示すためのものであり、メーカーによる許諾、認証または推奨を受けていることを示すものではありません。情報ボックスは当社の自社開発案件で、進行段階はページ上のバッジのとおりです。

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