エンジニアリング試作機 · 外付け式データ取得

プローバ情報ボックス

工場で15年、20年と動いてきたプローバは、動作そのものは今も正確でも、データは外に出てきません。生産数、プローブカードの累計タッチダウン、ウェーハジオメトリは装置の中に閉じたままで、人手で書き写すか、装置ごと廃棄されるかのどちらかになります。情報ボックスは外付けの取得ユニットという形をとります。装置本体には手を入れず、一方を装置に、一方を工場ネットワークにつなぎ、装置自身が知っている事実を読み出して、出所を明示した形で提示します。読めない項目は読めないと書き、推定でページを埋めることはしません。旧型機の価値は、まだ使えるという事実にあり、新品のように見せることにはないからです。