Probing Semiconductor

カードを測り切る。稼働中のプローバを使い続ける。

メモリ・HBM・高ピン数プローブカードの試験とカード全体検証装置

プローブカードテストシステム、MEMS プローブカードライン向け装置、プローバの情報化と改造。試験装置は自社で製作します。

ライン全体を見る

プローブ切断から保管まで、この工程の装置のうち当社が担うのはどれか — プローブカードのコストは購入時点で終わりません。組立のばらつき、洗浄後の残留物、保管環境、試験の判定基準——このいずれかに対応する装置が欠けていれば、問題は量産に入ってから表面化します。この MEMS プローブカード製造・検証クリーンルームは、実際の工程ベイに沿ってライン全体を再現し、どの工程を当社の装置が担い、どの工程を専門メーカーが担うかを示しています。いずれかの装置をクリックすると拡大表示され、施工内容と該当製品をご確認いただけます。部屋の両端は受入と出荷のエリアです。

4 量産供給 · 4 エンジニアリング · 1 開発中

ドラッグで回転 · スクロールでズーム · 装置をクリックで拡大

16,384チャネル標準構成。最大構成 65,536
1,000 kgfDeepTouch1000 満載剛性の実測
30台設置済みシステム（2026年8月時点）
300,000ピンPCT5801v2 アーキテクチャの目標
装置分類

組立・試験・洗浄・保管から選ぶ

各装置は単独で使用でき、Card ID、レシピ、検査結果の受渡しにも対応します。

各項目の文章説明
植針・組立
取出・矯正・レーザ微溶接の三ステーション、溶接後オートフォーカス検査、PCT5801とDeepTouch1000で確認。
試験・検証
PCT5801の電気試験とDeepTouch1000のカード全体検証。10 nAリーク、TDR伝送時間、チャック荷重1000 kgf、針先三次元検査に対応。
洗浄・再検査
IPA噴霧、制御ブラシ、クリーンガス、3方向画像検査。
自動保管
環境制御、RFID、WMS/EAP/MES、手動・自動受渡し。
試験装置

PCT5801・DeepTouch1000

PCT5801はプロジェクトで指定された tester・motherboard・制御リソース条件を再現して電気試験を行い、DeepTouch1000はチャック荷重1000 kgfでカード全体の圧接と針先三次元検査を行います。

PCT5801 設置現場：テスタキャビネットとプローバが並ぶ実機写真

PCT5801 プローブカード試験システム

Open、Short、10 nAリーク、制御リソース、TDR伝送時間まで対応するエンドツーエンド試験経路。v2は最大300,000ピンを目標とします。

標準 16,384チャネル · 最大構成 65,536（1,024チャネル/枚 × 64枚）詳細を見る
DeepTouch1000 プローブカード専用プローバ

DeepTouch1000 専用プローバ

チャック荷重1000 kgfで最大300,000ピンのカード全体を圧接し、針先を三次元検査します。カード全体検証に必要な加圧力はこの水準です。

現行システム · PB5801一体構造詳細を見る
お客様の声

The PCT5801 probe card test system has exceeded our expectations in every aspect, from measurement accuracy to system stability and operational efficiency.

Peter Liu · DGT TECO · CTO & CEO（英語原文）事例を読む →
もう一つの製品ライン

旧装置をもう一度若く：入れ替えではなく、アップグレード

UF200 は 1990 年代、UF3000 は 2000 年代の装置で、バーコード、RFID 受け渡し、MES・EAP が求められる前に生まれました。UF200 情報ボックスを中核に、装置本体を変えずにその層を補います。

プローバラインを見る
問題別の装置選定

現在の症状を選択してください

該当する症状を選ぶと、推奨装置と検査項目を表示します。

会社・技術経験

装置、インターフェース、現地据付

二つのラインがあります。自社開発のプローブカード試験・検査装置と、稼働中の旧プローバを現代の fab・OSAT の要件に合わせる仕事です。tester、prober、motherboard、工場システムとの接続は当社が担います。

導入実績
Tester / Prober連携
稼働装置の情報化
導入プロセス
マザーボードの自社設計
自社製品と代理製品の区別
各項目の文章説明
導入実績
2026年8月時点で 30 台のシステムを設置済み（中国本土・韓国）。
Tester / Prober連携
対応プラットフォームはAdvantest T5830/T5833/V93000、Teradyne Magnum 5。プローバ側はAccretech UF3000/UF3000ex、TEL P-12XLです。
稼働装置の情報化
UF200 / UF3000 世代の稼働中プローバに、バーコード追跡、EAP 接続、生産ボードを外付けで追加します。装置本体は変更しません。
導入プロセス
サンプル評価、技術仕様書、FAT、SATで構成、性能、インターフェース、納入内容を確認します。
マザーボードの自社設計
プローブカード試験システムのマザーボードはProbingが自社で設計・製造し、Advantest T5833向けの基板設計も含みます。チャネルマッピングとインターフェースを客先プラットフォームに合わせて調整できます。
自社製品と代理製品の区別
PCT5801、DeepTouch1000、PSTA20KはProbingの自社製品です。Advantest EVA100はAdvantestの製品で、Probingは代理店・販売店として機械的な統合を担当します。
導入とサービス

サンプルから受入まで

  1. 01サンプル評価
  2. 02技術仕様書
  3. 03FAT
  4. 04SAT
  5. 05トレーニング
  6. 06サポート・予備品

サンプル情報、既存装置、試験条件をお知らせください

1営業日以内に受領をご連絡し、担当技術者より連絡します。

技術相談を送る