試験・検証PCT5801 · DeepTouch1000 · マザーボード · PSTA20K
植針・組立植針とレーザー微細溶接
洗浄・再検査洗浄と3方向再検査
スマート保管保管とトレーサビリティ
プローブカード工場MEMS プローブカードの製造と検証 · 21 工程
CP 工場プローバ、テスタドッキング、旧型機の改造 · 17 工程
主要な数値
- 起動時間
- 40秒元の装置：APM90A 約180秒、UF200 70秒
- 対応ダイ数
- 25万個元の装置：APM90A 約6万、UF200 10万
- 処理速度
- 3倍UF200を基準 · 資料の表記
- インターフェース
- 中国語元は英語・日本語
同じプローバで、制御システムを入れ替える
制御システムを更新し、機械本体と元のプローブカード、消耗品は残します。起動時間、ダイ数の上限、インターフェースとデータ転送が変わります。
更新の流れ
- 01機種と状態の確認
元機の型式、制御システムの状態、既存消耗品を確認し、更新範囲を決定します。
- 02データとインターフェースの確認
MAPPINGデータ形式と上位システム接続を確認します。GPIB／TTLとネットワークが対象です。
- 03更新の実施
現地で制御システムを交換し、機械本体とプローブカード、消耗品は残します。
- 04検証
起動時間、ダイ数、アライメント、MAPPING出力を確認します。実測によります。
適用分野
既設機の能力不足
機械はまだ使えるが、制御システムのダイ数上限とタクトが制約になっています。更新後はウェーハ1枚あたり25万ダイに対応し、処理速度は資料の表記でUF200の3倍です。
インターフェースとデータ形式の制約
元機は英語・日本語のインターフェースで、データ転送はフロッピー、またはフロッピーとネットワークに限られます。更新後は中国語のインターフェースになり、UF200／UF200A形式のデータに対応します。データはフロッピー、光磁気ディスク MO、ネットワークで転送できます。
既存消耗品の資産維持
APM90AとUF200のプローブカードおよび消耗品に対応し、買い直しは不要です。制御システムは現地で交換し、機械本体は残します。
自動アライメントとリアルタイムMAPPING
パッド自動アライメント、針先自動アライメントとクリーニング、フェイルマーク検査。マルチプローブとマルチbin出力に対応し、液晶タッチモニタにMAPPINGをリアルタイム表示します。上位システムとはGPIB／TTLインターフェースで接続します。
更新対象と範囲
更新対象は東京精密APM90AとUF200シリーズの稼働中プローバです。4、5、6、8インチウェーハに対応し、下位互換です。現行世代のプローバは適用範囲外です。
UF200の一世代前にあたる8インチ全自動プローバで、1994–1997年に韓国、日本、台湾へまとまった台数が納入されました。
1998年以降に導入されたTSKの8インチ主力機。
更新期間、供給可能な部品範囲、保証条件は、機体の状態を確認のうえ決定します。
本文中のメーカー機種名は当社が対応可能な装置の範囲を示すためのものであり、メーカーによる許諾、認証または推奨を受けていることを示すものではありません。改造は当社が実施し、相応の責任も当社が負います。
実機撮影仕様
仕様表をすべて表示（15項目）
| 項目 | 仕様 | 仕様・構成 |
|---|---|---|
| 更新対象 | 東京精密 APM90A、UF200シリーズの稼働中プローバ | 機械本体は残す |
| 対応ウェーハ | 4、5、6、8インチ | 下位互換 |
| 起動時間 | uP200A 40秒、UF200 70秒、APM90A 約180秒 | 資料の比較表 |
| 対応ダイ数 | uP200A 25万、UF200 10万、APM90A 約6万 | ウェーハあたり |
| 処理速度 | UF200の3倍 | 資料の表記 |
| インターフェース | 中国語 | 元は英語・日本語 |
| データ転送 | フロッピー、光磁気ディスク MO、ネットワーク | 元機はフロッピー、またはフロッピーとネットワーク |
| データ形式 | UF200／UF200A形式に対応 | APM90Aの元機は非対応 |
| 消耗品互換 | APM90AおよびUF200のプローブカード・消耗品に対応 | 買い直し不要 |
| 総合精度 | 5 µm | 資料の表記 |
| チャック | 8インチ ニッケル／金 加熱対応チャック | 8インチ制御モジュール付き |
| 機能 | パッド自動アライメント、針先自動アライメントとクリーニング、フェイルマーク検査、マルチプローブ、マルチbin出力、リアルタイムMAPPING表示 | 液晶タッチモニタ |
| インターフェース | GPIB／TTL | 上位システム接続 |
| ユーティリティ | 圧縮空気 >0.4 MPa、真空 >-53 kPa、単相220 V、最大負荷電流6 A、最大消費1.5 kVA | 設置条件を満たす必要があります |
| 供給主体 | 上海雯澜貿易商行 / 上海録徳集成電路有限公司 | プローブカード装置の供給主体とは異なります |
起動時間、対応ダイ数、データ転送、互換性の比較はuP200A製品カタログの機種対照表に基づきます。記載のない指標は技術仕様書で取り決めます。
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