プローバのカテゴリ画像。更新対象は稼働中のAPM90AおよびUF200シリーズです。
装置・エンジニアリングソリューション
適用分野
プローブカードの製造、試験、保守における主な適用分野です。
既設機の能力不足
機械はまだ使えるが、制御システムのダイ数上限とタクトが制約になっている。
インターフェースとデータ形式の制約
元機は英語・日本語UIで、データ転送がフロッピーに限られる。
既存消耗品の資産維持
既存のプローブカードと消耗品を継続使用したい。
SPECIFICATIONS
主な仕様
最終構成は、カード、インターフェース、設置条件、受入項目に合わせて決定します。
| 項目 | 仕様・構成 | 補足 |
|---|---|---|
| 更新対象 | 稼働中の東京精密APM90A、UF200シリーズ | 機械本体は残します |
| 起動時間 | uP200A 40秒、UF200 70秒、APM90A 180秒 | 資料の比較表 |
| 対応ダイ数 | uP200A 25万、UF200 10万、APM90A 6万 | ウェーハあたり |
| 対応ウェーハ | 4、5、6、8インチ | 下位互換 |
| データ転送 | フロッピー、光磁気ディスク、ネットワーク | 元機はフロッピー、またはフロッピーとネットワーク |
| データ形式 | UF200／UF200A形式に対応 | APM90Aの元機は非対応 |
| 消耗品互換 | APM90AおよびUF200のプローブカード・消耗品に対応 | 買い直し不要 |
| 総合精度 | 5 μm | 資料の表記 |
| チャック | 8インチ ニッケル／金 加熱対応チャック | 8インチ制御モジュール付き |
| 機能 | パッド自動アライメント、針先自動アライメントとクリーニング、フェイルマーク検査、マルチプローブ、マルチbin出力、リアルタイムMAPPING表示 | 液晶タッチモニタ |
| インターフェース | GPIB／TTL | 上位システム接続 |
| ユーティリティ | 圧縮空気 >0.4 MPa、真空 >-53 kPa、単相220 V、最大負荷電流6 A、最大消費1.5 kVA | 設置条件を満たす必要があります |
| 供給主体 | 上海雯澜貿易商行 / 上海録徳集成電路有限公司 | プローブカード装置の供給主体とは異なります |
WORKFLOW
運用フロー
元機の型式、制御システムの状態、既存消耗品を確認
更新範囲を決定
MAPPINGデータ形式と上位システム接続を確認
GPIB、TTL、ネットワークが対象
制御システムを交換し、機械本体と消耗品は残す
現地で実施
起動時間、ダイ数、アライメント、MAPPING出力を確認
実測によります
FAT / SAT
導入プロセス
サンプル評価
対象、インターフェース、現状、不良モード、評価用サンプルを確認します。
技術仕様書
装置構成、測定方法、判定値、タクト、データ連携、責任範囲を確定します。
FAT
合意したサンプルで機能、繰返し精度、報告書、異常処理を確認します。
SAT
現場接続、教育、上流・下流インターフェース、残課題の対応を完了します。
CONFIGURATION
構成・受入条件
システム構成、選択機能、受入条件を以下に示します。
出典
起動時間、対応ダイ数、データ転送、互換性の比較はuP200A製品カタログの機種対照表に基づきます。
適用範囲
本ページはAPM90AとUF200シリーズの旧機向け制御システム更新を対象とし、現行世代のプローバには適用されません。
非公開項目
更新期間、供給可能な部品範囲、保証条件は機体の状態によるため、資料に一般値はありません。
カード仕様と接続条件をお知らせください
サンプル、既存装置、現在の課題、目標タクトをお送りください。1営業日以内に受領をご連絡します。