稼働中のプローバ

起動40秒 · 25万ダイ · 中国語UI

uP200A プローバ制御システム更新

1990 年代の 8 インチプローバは、機械的な精度そのものは残っていることが多く、装置を縛っているのは制御システムとインタフェースです。起動が遅く、画面は古く、データは外に出せず、今日の生産ラインが求めるコード読み取り、トレーサビリティ、自動化につながりません。制御システムのアップグレードは、この一層を入れ替えます。起動は約 40 秒、1 枚あたり 25 万個のダイに対応し、画面は全面中国語化され、オリジナル機のプローブカード、消耗品、データフォーマットとの互換性は維持します。目的は古い装置を新しい装置に作り替えることではなく、現代の生産ラインの生産計画に組み込み続けられるようにすることです。

プローバのカテゴリ画像。更新対象は稼働中のAPM90AおよびUF200シリーズです。
起動時間40秒
対応ダイ数25万
処理速度UF200の3倍
インターフェース中国語
各項目の文章説明
起動時間
APM90Aは180秒
対応ダイ数
APM90A 6万、UF200 10万
処理速度
資料の表記
インターフェース
元は英語・日本語
装置・エンジニアリングソリューション

適用分野

プローブカードの製造、試験、保守における主な適用分野です。

既設機の能力不足

インターフェースとデータ形式の制約

既存消耗品の資産維持

各項目の文章説明
既設機の能力不足
機械はまだ使えるが、制御システムのダイ数上限とタクトが制約になっている。
インターフェースとデータ形式の制約
元機は英語・日本語UIで、データ転送がフロッピーに限られる。
既存消耗品の資産維持
既存のプローブカードと消耗品を継続使用したい。
SPECIFICATIONS

主な仕様

最終構成は、カード、インターフェース、設置条件、受入項目に合わせて決定します。

更新対象稼働中の東京精密APM90A、UF200シリーズ機械本体は残します
起動時間uP200A 40秒、UF200 70秒、APM90A 180秒資料の比較表
対応ダイ数uP200A 25万、UF200 10万、APM90A 6万ウェーハあたり
対応ウェーハ4、5、6、8インチ下位互換
データ転送フロッピー、光磁気ディスク、ネットワーク元機はフロッピー、またはフロッピーとネットワーク
データ形式UF200/UF200A形式に対応APM90Aの元機は非対応
仕様表をすべて表示
項目仕様・構成補足
消耗品互換APM90AおよびUF200のプローブカード・消耗品に対応買い直し不要
総合精度5 μm資料の表記
チャック8インチ ニッケル/金 加熱対応チャック8インチ制御モジュール付き
機能パッド自動アライメント、針先自動アライメントとクリーニング、フェイルマーク検査、マルチプローブ、マルチbin出力、リアルタイムMAPPING表示液晶タッチモニタ
インターフェースGPIB/TTL上位システム接続
ユーティリティ圧縮空気 >0.4 MPa、真空 >-53 kPa、単相220 V、最大負荷電流6 A、最大消費1.5 kVA設置条件を満たす必要があります
供給主体上海雯澜貿易商行 / 上海録徳集成電路有限公司プローブカード装置の供給主体とは異なります
WORKFLOW

運用フロー

  1. 01

    機種と状態の確認

  2. 02

    データとインターフェースの確認

  3. 03

    更新の実施

  4. 04

    検証

各項目の文章説明
機種と状態の確認
元機の型式、制御システムの状態、既存消耗品を確認 更新範囲を決定
データとインターフェースの確認
MAPPINGデータ形式と上位システム接続を確認 GPIB、TTL、ネットワークが対象
更新の実施
制御システムを交換し、機械本体と消耗品は残す 現地で実施
検証
起動時間、ダイ数、アライメント、MAPPING出力を確認 実測によります
FAT / SAT

導入プロセス

01

サンプル評価

02

技術仕様書

03

FAT

04

SAT

各項目の文章説明
サンプル評価
対象、インターフェース、現状、不良モード、評価用サンプルを確認します。
技術仕様書
装置構成、測定方法、判定値、タクト、データ連携、責任範囲を確定します。
FAT
合意したサンプルで機能、繰返し精度、報告書、異常処理を確認します。
SAT
現場接続、教育、上流・下流インターフェース、残課題の対応を完了します。
CONFIGURATION

構成・受入条件

システム構成、選択機能、受入条件を以下に示します。

出典

起動時間、対応ダイ数、データ転送、互換性の比較はuP200A製品カタログの機種対照表に基づきます。

適用範囲

本ページはAPM90AとUF200シリーズの旧機向け制御システム更新を対象とし、現行世代のプローバには適用されません。

非公開項目

更新期間、供給可能な部品範囲、保証条件は機体の状態によるため、資料に一般値はありません。

カード仕様と接続条件をお知らせください

サンプル、既存装置、現在の課題、目標タクトをお送りください。1営業日以内に受領をご連絡します。