洗浄・再検査工程の構成例。機構、搬送、洗浄条件はカード形式と設置条件に合わせて設計します。
装置・エンジニアリングソリューション
適用分野
プローブカードの製造、試験、保守における主な適用分野です。
定期メンテナンス
試験と保管の間で、洗浄、再検査、使用可否判定を履歴化します。
繰返し汚染への対応
再検査画像から、使用可、再洗浄、隔離を判断します。
独立洗浄ステーション
Card ID/RFID、レシピ、報告書で複数カード形式の洗浄を管理します。
SPECIFICATIONS
主な仕様
最終構成は、カード、インターフェース、設置条件、受入項目に合わせて決定します。
| 項目 | 仕様・構成 | 補足 |
|---|---|---|
| 液供給 | IPA噴霧 | 流量、範囲、材料適合性をサンプルで確認 |
| ブラシ洗浄 | ソフトブラシの動作・接触制御 | ブラシ種類、接触方法、周期、回数をレシピ化 |
| ブロー | クリーンガス | ガス条件と終了基準を設備条件に合わせて設定 |
| 画像再検査 | 3方向画像と自動・手動判定 | 粒子サイズ、検出値、検査領域をサンプルで設定 |
| 履歴管理 | Card ID / RFID | カード番号、レシピ、回数、画像、判定、作業者を保存 |
| 設置 | スタンドアロン / インライン | 試験、保管、工場システムと接続可能 |
| 判定 | 使用可 / 再洗浄 / 再検査 / 隔離 | 顧客の受入基準に合わせて設定 |
WORKFLOW
運用フロー
識別と洗浄前確認
Card ID/RFIDを読み、カード形式、汚染位置、使用可能な洗浄方法を確認します。
レシピ洗浄
IPA噴霧、制御ブラシ、クリーンガスブローを実行します。
3方向再検査
画像を取得し、粒子、残留物、異常を判定します。
使用可否判定
試験・保管へ戻すか、再洗浄、再検査、隔離へ送ります。
FAT / SAT
導入プロセス
サンプル評価
対象、インターフェース、現状、不良モード、評価用サンプルを確認します。
技術仕様書
装置構成、測定方法、判定値、タクト、データ連携、責任範囲を確定します。
FAT
合意したサンプルで機能、繰返し精度、報告書、異常処理を確認します。
SAT
現場接続、教育、上流・下流インターフェース、残課題の対応を完了します。
CONFIGURATION
構成・受入条件
システム構成、選択機能、受入条件を以下に示します。
工程設定
洗浄条件、粒子検出、測定時間、再検査値は対象カードと汚染サンプルから設定します。
標準工程
IPA噴霧、制御ブラシ、クリーンガス、3方向再検査を一つのレシピで管理します。
受入内容
材料適合性、レシピ、判定、測定時間、インターフェースをFAT/SATで確認します。
カード仕様と接続条件をお知らせください
サンプル、既存装置、現在の課題、目標タクトをお送りください。1営業日以内に受領をご連絡します。