IPA噴霧、制御ブラシ、クリーンガス、画像再検査
プローブカード洗浄・3方向再検査装置
洗浄レシピに従ってIPA噴霧、ソフトブラシ、クリーンガスブローを実行し、3方向画像で針先の粒子や残留物を再検査します。Card ID/RFID、作業回数、画像、判定、再洗浄履歴をカードごとに保存できます。
洗浄・再検査工程の構成例。機構、搬送、洗浄条件はカード形式と設置条件に合わせて設計します。
各項目の文章説明
- 供給
- レシピで供給条件を管理
- 洗浄
- 動作、接触、回数をカード別に設定
- 乾燥
- 再検査前の状態を安定化
- 再検査
- 粒子と残留物を記録
装置・エンジニアリングソリューション
適用分野
プローブカードの製造、試験、保守における主な適用分野です。
定期メンテナンス
繰返し汚染への対応
独立洗浄ステーション
各項目の文章説明
- 定期メンテナンス
- 試験と保管の間で、洗浄、再検査、使用可否判定を履歴化します。
- 繰返し汚染への対応
- 再検査画像から、使用可、再洗浄、隔離を判断します。
- 独立洗浄ステーション
- Card ID/RFID、レシピ、報告書で複数カード形式の洗浄を管理します。
SPECIFICATIONS
主な仕様
最終構成は、カード、インターフェース、設置条件、受入項目に合わせて決定します。
仕様表をすべて表示
| 項目 | 仕様・構成 | 補足 |
|---|---|---|
| カード適合 | カンチレバー式と垂直式 | 保持、姿勢、接触禁止領域をカード種別で設計 |
| 段取りと保守 | 段取り替え、ブラシ交換、治具保守、ポカヨケ | 消耗品寿命と保守周期は実測データで決定 |
| 清浄度と静電 | 局所清浄、飛散防止、二次汚染防止、接触部のESD管理 | 目標値は顧客クリーンルーム規格に合わせる |
| 追跡 | Card ID / RFID | カード番号、レシピ、洗浄回数、画像、判定、作業者を記録 |
| 設置形態 | 独立ステーションまたはインライン、上位装置内の洗浄検査サブモジュールとしても構成可 | 機械、電気、通信、安全インターロックの境界は案件で定義 |
| 結果状態 | 合格 / 再作業 / 再検査 / 隔離 | 判定規則は顧客受入方法で定義 |
WORKFLOW
運用フロー
01 識別と洗浄前確認
02 レシピ洗浄
03 3方向再検査
04 使用可否判定
各項目の文章説明
- 識別と洗浄前確認
- Card ID/RFIDを読み、カード形式、汚染位置、使用可能な洗浄方法を確認します。
- レシピ洗浄
- IPA噴霧、制御ブラシ、クリーンガスブローを実行します。
- 3方向再検査
- 画像を取得し、粒子、残留物、異常を判定します。
- 使用可否判定
- 試験・保管へ戻すか、再洗浄、再検査、隔離へ送ります。
FAT / SAT
導入プロセス
サンプル評価
技術仕様書
FAT
SAT
各項目の文章説明
- サンプル評価
- 対象、インターフェース、現状、不良モード、評価用サンプルを確認します。
- 技術仕様書
- 装置構成、測定方法、判定値、タクト、データ連携、責任範囲を確定します。
- FAT
- 合意したサンプルで機能、繰返し精度、報告書、異常処理を確認します。
- SAT
- 現場接続、教育、上流・下流インターフェース、残課題の対応を完了します。
CONFIGURATION
構成・受入条件
システム構成、選択機能、受入条件を以下に示します。
工程設定
洗浄条件、粒子検出、測定時間、再検査値は対象カードと汚染サンプルから設定します。
標準工程
IPA噴霧、制御ブラシ、クリーンガス、3方向再検査を一つのレシピで管理します。
受入内容
材料適合性、レシピ、判定、測定時間、インターフェースをFAT/SATで確認します。
カード仕様と接続条件をお知らせください
サンプル、既存装置、現在の課題、目標タクトをお送りください。1営業日以内に受領をご連絡します。