1000 kgf 満載実測 · 最大 300,000 ピンのカードに対応
DeepTouch1000 プローブカード専用プローバ
機械プラットフォームは1000 kgf満載剛性の実測を完了しています。300,000ピンはv2目標カードアーキテクチャであり、最終的な対応ピン数はカード設計とFAT/SAT計画で確定します。全ピン同時接触に必要な加圧力は代表的な条件で約450 kgfと見積もられ、実際の総荷重は針あたり荷重、カード構造、接触ストローク、プロセス条件に依存します。DeepTouch1000はチャック荷重1000 kgfとPB5801一体構造で、カード全体の圧接、針先の三次元検査、接触状態の確認を1台で行い、PCT5801の異常チャネル座標と対応させます。
DeepTouch1000 製品レンダリング（実機写真ではありません）：チャック荷重 1000 kgf、最大 300,000 ピンのカード全体圧接。
各項目の文章説明
- チャック荷重
- 高ピン数カード全体の圧接
- 対象カード規模
- v2 連携の目標。針圧とカード構成によります
- 構成
- プローバと試験システムの統合
- 幾何検査
- 針長、位置、平坦度
装置・エンジニアリングソリューション
適用分野
プローブカードの製造、試験、保守における主な適用分野です。
高ピン数カードの荷重評価
針先位置と平坦度
電気異常の再確認
プローブカードの受入検査
連続クリーニングと連続タッチダウン
各項目の文章説明
- 高ピン数カードの荷重評価
- 荷重過程、総荷重、接触状態を確認し、HBMや大型プローブカードの設計・受入に使用します。
- 針先位置と平坦度
- XYZデータと画像から、位置ずれ、平坦度、接触差を確認します。
- 電気異常の再確認
- PCT5801で検出した異常位置を、針先、針痕、荷重データと照合します。
- プローブカードの受入検査
- 入荷したプローブカードの電気特性、接触性能、針先の均一性を検査したうえで、ライン投入の可否を判断します。
- 連続クリーニングと連続タッチダウン
- 連続クリーニング（クリーニングシートの装填 → クリーニング → 針痕検査 → 針先検査）と連続タッチダウンのシーケンスを内蔵し、タッチダウン回数に伴う接触状態の変化を評価します。
SPECIFICATIONS
主な仕様
最終構成は、カード、インターフェース、設置条件、受入項目に合わせて決定します。
仕様表をすべて表示
| 項目 | 仕様・構成 | 補足 |
|---|---|---|
| 針先検査 | XYZ 三次元針先検出 | 針長・位置・平面度。検査仕様は技術仕様書で提示します |
| 温度対応 | 三温度（オプション） | 温度域は構成と試験条件により決定 |
| POSTユニット（オプション） | PinForce 測定と接触チェック | センサ・位置決め仕様は技術仕様書で提示します |
| 除振 | 高性能除振プラットフォーム | 針先測定時の外部振動を抑制 |
| 対応カード | 垂直プローブカード、カンチレバー、MEMSプローブカード | 4.5 / 9 / 12インチに対応 |
| ウェーハ | 300 mm | プローブカード自動交換台車はオプション |
| 標準ソフトウェア | リアルタイム Wafer Map（PASS/FAIL/BIN 二色または多色）、Manual Inspection、オフラインレシピ編集、ログと結果の出力 | 標準構成 |
| 操作画面 | カラー LCD 1920×1080、中国語/英語の二言語、タッチ操作と試験フローの可視化 | 標準構成 |
| 安全機構 | EMO による電源の直接遮断、head plate と loader side cover のインタロック（オプションの WAPP ドアを含む） | 装置自体の安全機構であり、いかなる法規適合の表明も構成しません |
| 満載時Z軸真直度 | < 0.2 µm（0～1000 kgf） | 段階加圧での実測。直線性は良好 |
| 満載時チャック平面度 | 偏差 ≤ 10 µm（3 mmストローク） | 満載実測、設計規格内 |
| 満載時傾き | 約 0.003°（D300 mmで約 16.2 µm相当） | 満載実測。受入限度値は技術仕様書で定義します |
| 加圧再現性 | 3回の加圧で結果が一致、構造対称で非対称変形なし | 満載実測 |
| 清浄度と気流 | FFU / HEPAによるろ過層流を内蔵 | 測定エリアの発塵が針先と接触に及ぼす影響を低減 |
| マザーボード自動交換 | マニピュレータ（Z軸昇降＋水平アーム）と多機位ストレージラック | オプション。複数のマザーボード間の自動交換用 |
WORKFLOW
運用フロー
01 カードと治具の設定
02 荷重と撮像
03 XYZ・荷重解析
04 電気結果との照合
各項目の文章説明
- カードと治具の設定
- カード構造、基準、荷重範囲、検査領域、安全条件を登録します。
- 荷重と撮像
- レシピに従って荷重を加え、針先、接触、針痕を撮像します。
- XYZ・荷重解析
- 位置と荷重を計算し、判定値を外れた箇所を表示します。
- 電気結果との照合
- PCT5801の座標・判定と関連付け、再試験結果を保存します。
FAT / SAT
導入プロセス
サンプル評価
技術仕様書
FAT
SAT
各項目の文章説明
- サンプル評価
- 対象、インターフェース、現状、不良モード、評価用サンプルを確認します。
- 技術仕様書
- 装置構成、測定方法、判定値、タクト、データ連携、責任範囲を確定します。
- FAT
- 合意したサンプルで機能、繰返し精度、報告書、異常処理を確認します。
- SAT
- 現場接続、教育、上流・下流インターフェース、残課題の対応を完了します。
CONFIGURATION
構成・受入条件
システム構成、選択機能、受入条件を以下に示します。
開発の背景
Accretech UF3000 / UF3000ex、TEL P-12XLなどに対応済み。これらではチャック荷重が高ピン数カードの制約となるため、1000 kgf専用機を開発しました。
満載時剛性の実測
1000 kgf までの段階加圧による実測：Z 軸真直度 0.2 µm 未満、チャック平面度偏差 10 µm 以内（3 mm ストローク）、傾き約 0.003°、3 回の加圧が一致し非対称変形なし。測定方法・装置・記録一式は技術面談で提示します。
データ連携
針先XYZ、荷重、画像、判定記録はPCT5801の異常チャネル座標と対応し、位置特定と再検証に使用します。
受入方法
治具、アルゴリズム、しきい値、再現性、タスク時間は実サンプルによりFAT/SATで項目ごとに確認します。
カード仕様と接続条件をお知らせください
サンプル、既存装置、現在の課題、目標タクトをお送りください。1営業日以内に受領をご連絡します。