現役の旧型プローバを、現代の fab と OSAT の要件に合わせる

UF200 は 1990 年代の装置、UF3000 は 2000 年代の装置です。これらが工場を出た当時、生産ラインはバーコードや二次元コードの読み取り、RFID による受け渡し、MES と EAP への接続を求めていませんでした。装置が壊れているのではなく、その要求が生まれる前に生まれた装置だということです。今日ではこれらが現代の fab や OSAT に入るための条件となり、まだ十分に働ける装置が、そのために丸ごと入れ替えられています。当社の答えは装置の若返りです。淘汰ではなく、アップグレードで現役に戻します。UF200 インフォメーションボックスを中核に、ソフトウェアからハードウェアまで一式でこの一層を後から足します。装置本体には手を加えず、装置自身が知っている事実を読み出して工場のシステムへつなぐ、という進め方です。そこからコード読み取りとロットトレーサビリティ、EAP と自動搬送、工場の現代化改造へと広げ、その土台として中古プローバ・テスタ・部品の整備と供給を置いています。実在する機種をもとにモデル化したこの CP 工程が、その落としどころです。壁の 4 枚のボードはインフォメーションボックスの実画面であり、北側のプローバ 6 台と南側のドッキングステーション 4 か所が、当社がお引き受けできる範囲を示します。いずれかの装置またはボードをクリックすると、その装置に対して当社が何を行うかが下に表示されます。

8 量産供給 · 3 対応機種 · 1 エンジニアリング · 5 エンジニアリング機

ドラッグで回転 · ホイールで拡大縮小 · 装置またはボードをクリックで説明

この CP ラインの構成と当社の担当範囲

工程数17

対応機種APM90A〜P-12XL

本体改造なし

外部接続工場網・MES / EAP

稼働中の装置
外付けの層
事実を読む
工場網へ
看板へ

各項目の文章説明

この CP ラインの構成と当社の担当範囲: 17 工程：プローバ 6 台、テスタドッキング 4 工程、外付け情報化システムの 4 ページ、バーコード接続とチャック部品。量産供給 8、エンジニアリング 1、対応機種 3、エンジニアリング機 5。

旧装置をもう一度若く：入れ替えではなく、アップグレード

UF200 は 1990 年代、UF3000 は 2000 年代の装置です。壊れているのではなく、バーコード、RFID 受け渡し、MES・EAP が求められる前に生まれただけです。今ではそれらが現代の fab や OSAT に入る条件となり、まだ十分に動く装置が丸ごと入れ替えられています。

まだ十分に動く装置がある
外付けの層を足す・本体は無改造
事実が工場網へ
バーコード・RFID・EAPを補完
現代のfabの要件を満たす

各項目の文章説明

装置本体はそのまま: 外付けの採取層です。装置のプログラムは変えず、書き込みもしません。
装置が知る事実を読み出す: 生産数、プローブカードの累積接触回数、ウェーハ形状を工場ネットワークへ。
さらに外へつなぐ: バーコードとロット追跡、EAP と自動搬送、現代化工場への改造。
土台は整備供給: 中古プローバ、テスタ、部品を一台ずつ確認して納入します。

いずれかの装置、または壁の生産ボードをクリックすると、施工内容と該当製品がここに表示されます。

量産供給

01 · APM90A（TSK 8 インチ）

まだ使える旧型機を、丸ごと入れ替える必要はない

東京精密 APM90A は UF200 の一世代前にあたる 8 インチ全自動プローバで、1994–1997 年に韓国、日本、台湾へまとまった台数が納入されました。

ウェーハ4〜8 インチ

総合精度5 µm 以内

インデックス時間250 ms

外形・質量1092×1101×880 mm・約 750 kg

動作のしくみ

ウェーハ投入
アライメント
針当て
データ出力

当社が担う範囲

調達この世代はホットチャック、ポーラスチャック、低温チャック、自動カード交換、GP-IB がいずれもオプションで、同一型式でも二台がまったく異なることがあります。型式から推定せず、一台ずつオプション表を確認します。
輸送質量は約 750 kg、寸法は約 1.1 m 角で、全体吊りが可能です。解体前に構成と状態を記録し、光学部品とチャックは個別梱包、仕向地に応じて輸送と通関を手配します。
整備全体清掃、エア・真空系の再点検、消耗部品の交換、チャックの平坦度と吸着均一性の再測定を行います。この世代の記憶媒体はすでに生産終了で、交換の際は関連部品とソフト再導入を伴うことが多く、その工数を先に見込みます。
据付据付には圧縮空気と真空の両方が必要です。搬入前に現場条件を確認したうえで、据付、水平出し、通電、通信確認、項目ごとの検収を行います。

中古半導体装置・エンジニアリングサービス

詳細仕様と工程

仕様

露光装置	ASML PAS5500、XT、NXTシリーズ	型式、ソフト・ハード版数、プロセス状態を装置ごとに確認
プローバ	Accretech UF200/UF3000、TEL P-12XL など	コントローラ、オプション、インターフェース、付属品を確認
ATE	Advantest V93000、T5377など	ボード、license、インターフェース、アプリケーション状態を確認
在庫	お問い合わせ時に確認	候補装置のシリアル番号と所在を提示
確認資料	銘板、シリアル、構成、起動・自己診断、欠品、外観	装置状態に応じて提供
納入条件	梱包、輸送、保険、通関、据付、設備、受入	見積書・契約書に責任範囲を記載
技術支援	通電確認、インターフェース整理、データ・ディスクイメージのバックアップと復旧	装置状態と権限に応じて対応
プローバの対応範囲	東京精密 8 インチ APM90A、UF200、UF200A、UF200SA、UF190B、12 インチ UF3000、UF3000ex、UF300、UF300A。東京エレクトロン 8 インチ P-8、P-8XL、12 インチ P-12、P-12XL、P-12XLn	資料に記載された取扱可能範囲であり、在庫リストではありません。機種名は原メーカーの認可または認定を示すものではありません
テスタの対応範囲	Advantest T3347、T5365、T5371、T5375/6/7/7S、T5581、T5588、T5830、T5833、T2000MS、93000、B6700。Teradyne J973、A580、CATALYST、J750、UltraFlex、Magnum 5	同上。Magnum 5 は販売・修理の範囲およびプローブカードソリューションの適合対象であり、装置本体の納入実績は含みません
取引形態	装置は当社が自ら輸入し通関まで行い、中国国内では人民元で直接取引し、13% の増値税専用発票を発行します	価格と見積条件は案件ごとに個別に確認します
装置の調達先	東アジア、東南アジア、欧州、米州の装置ネットワーク	シリアル番号、構成、状態を 1 台ずつ照合します

根拠と納入実績

在庫確認	在庫、構成、状態はお問い合わせ時に対象装置の書面資料で確認します。
装置情報	写真は装置シリーズの識別用です。現物のシリアル、構成、外観を別途提示します。
受入条件	シリアル番号、構成表、状態記録、契約書の受入条項を引渡し基準とします。

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uP200A プローバ制御システム更新

詳細仕様と工程

仕様

更新対象	稼働中の東京精密APM90A、UF200シリーズ	機械本体は残します
起動時間	uP200A 40秒、UF200 70秒、APM90A 180秒	資料の比較表
対応ダイ数	uP200A 25万、UF200 10万、APM90A 6万	ウェーハあたり
対応ウェーハ	4、5、6、8インチ	下位互換
データ転送	フロッピー、光磁気ディスク、ネットワーク	元機はフロッピー、またはフロッピーとネットワーク
データ形式	UF200／UF200A形式に対応	APM90Aの元機は非対応
消耗品互換	APM90AおよびUF200のプローブカード・消耗品に対応	買い直し不要
総合精度	5 μm	資料の表記
チャック	8インチニッケル／金加熱対応チャック	8インチ制御モジュール付き
機能	パッド自動アライメント、針先自動アライメントとクリーニング、フェイルマーク検査、マルチプローブ、マルチbin出力、リアルタイムMAPPING表示	液晶タッチモニタ
インターフェース	GPIB／TTL	上位システム接続
ユーティリティ	圧縮空気 >0.4 MPa、真空 >-53 kPa、単相220 V、最大負荷電流6 A、最大消費1.5 kVA	設置条件を満たす必要があります
供給主体	上海雯澜貿易商行 / 上海録徳集成電路有限公司	プローブカード装置の供給主体とは異なります

根拠と納入実績

出典	起動時間、対応ダイ数、データ転送、互換性の比較はuP200A製品カタログの機種対照表に基づきます。
適用範囲	本ページはAPM90AとUF200シリーズの旧機向け制御システム更新を対象とし、現行世代のプローバには適用されません。
非公開項目	更新期間、供給可能な部品範囲、保証条件は機体の状態によるため、資料に一般値はありません。

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各項目の文章説明

APM90A（TSK 8 インチ）: オリジナルの状態では起動に約 180 秒、画面は英語/日本語、データはフロッピーディスクで受け渡し、1 枚あたり約 6 万個のダイに対応します。当社がこの世代に対して行うのは制御システムのアップグレードです。アップグレード後は起動が約 40 秒、1 枚あたり 25 万個のダイに対応し、画面は全面中国語化されます。オリジナル機のプローブカード、消耗品、データフォーマットとの互換性はそのまま維持します。銘板の表記は A-PM-90A です。1990 年代のこうした装置は真っ先に淘汰の対象とされますが、制御システムと情報化という二つの層さえ補えば、現代の生産ラインで働き続けられます。
露光装置: 型式と状態を確認
プローバ: UF200、UF3000、P-12XLなど
ATE: V93000、T5377など
納入: 装置ごとに条件を明記
生産装置の追加: 必要型式、オプション、設備条件、インターフェースから候補装置を確認します。
保守部品・代替装置: 生産終了装置、既存工程、互換条件に合わせて装置や部品を探します。
海外移設・復旧: 輸送前に装置構成、状態、分解・据付、通電、現場受入の責任範囲を決めます。
顧客の業種分布: 顧客はウェーハファブ、OSAT、設計会社の自社テストライン、プローブカードメーカー、研究機関に及びます。
装置条件の連絡: 型式、用途、必要オプション、地域、予算、希望時期をお知らせください。
候補装置の確認: シリアル、構成、付属品、状態、提供可能な試験記録を確認します。
納入リスト確定: 装置、欠品、輸送、据付、設備、受入条件を見積書・契約書へ記載します。
現場引渡し: 到着、据付、通電、機能確認、残課題の記録を行います。
起動時間: APM90Aは180秒
対応ダイ数: APM90A 6万、UF200 10万
処理速度: 資料の表記
インターフェース: 元は英語・日本語
既設機の能力不足: 機械はまだ使えるが、制御システムのダイ数上限とタクトが制約になっている。
インターフェースとデータ形式の制約: 元機は英語・日本語UIで、データ転送がフロッピーに限られる。
既存消耗品の資産維持: 既存のプローブカードと消耗品を継続使用したい。
機種と状態の確認: 元機の型式、制御システムの状態、既存消耗品を確認更新範囲を決定
データとインターフェースの確認: MAPPINGデータ形式と上位システム接続を確認 GPIB、TTL、ネットワークが対象
更新の実施: 制御システムを交換し、機械本体と消耗品は残す現地で実施
検証: 起動時間、ダイ数、アライメント、MAPPING出力を確認実測によります
装置はそのうちの一区間にすぎません: その一台を見つけるところから、お客様のラインで動き出すまで、この四つの区間を当社が担います。

量産供給

02 · UF200（TSK 8 インチ）

装置を待つ時間は、当社の工場で先に消化する

1998 年以降に納入された TSK の 8 インチ主力機です。

ウェーハ5 / 6 / 8 インチ

総合精度5 µm

インタフェースGPIB / TTL

Z 軸耐荷重60 kg

動作のしくみ

ウェーハ投入
アライメント
針当て
データ出力

当社が担う範囲

調達この世代はホットチャック、ポーラスチャック、低温チャック、自動カード交換、GP-IB がいずれもオプションで、同一型式でも二台がまったく異なることがあります。型式から推定せず、一台ずつオプション表を確認します。
輸送質量は約 750 kg、寸法は約 1.1 m 角で、全体吊りが可能です。解体前に構成と状態を記録し、光学部品とチャックは個別梱包、仕向地に応じて輸送と通関を手配します。
整備全体清掃、エア・真空系の再点検、消耗部品の交換、チャックの平坦度と吸着均一性の再測定を行います。この世代の記憶媒体はすでに生産終了で、交換の際は関連部品とソフト再導入を伴うことが多く、その工数を先に見込みます。
据付据付には圧縮空気と真空の両方が必要です。搬入前に現場条件を確認したうえで、据付、水平出し、通電、通信確認、項目ごとの検収を行います。

中古半導体装置・エンジニアリングサービス

詳細仕様と工程

仕様

露光装置	ASML PAS5500、XT、NXTシリーズ	型式、ソフト・ハード版数、プロセス状態を装置ごとに確認
プローバ	Accretech UF200/UF3000、TEL P-12XL など	コントローラ、オプション、インターフェース、付属品を確認
ATE	Advantest V93000、T5377など	ボード、license、インターフェース、アプリケーション状態を確認
在庫	お問い合わせ時に確認	候補装置のシリアル番号と所在を提示
確認資料	銘板、シリアル、構成、起動・自己診断、欠品、外観	装置状態に応じて提供
納入条件	梱包、輸送、保険、通関、据付、設備、受入	見積書・契約書に責任範囲を記載
技術支援	通電確認、インターフェース整理、データ・ディスクイメージのバックアップと復旧	装置状態と権限に応じて対応
プローバの対応範囲	東京精密 8 インチ APM90A、UF200、UF200A、UF200SA、UF190B、12 インチ UF3000、UF3000ex、UF300、UF300A。東京エレクトロン 8 インチ P-8、P-8XL、12 インチ P-12、P-12XL、P-12XLn	資料に記載された取扱可能範囲であり、在庫リストではありません。機種名は原メーカーの認可または認定を示すものではありません
テスタの対応範囲	Advantest T3347、T5365、T5371、T5375/6/7/7S、T5581、T5588、T5830、T5833、T2000MS、93000、B6700。Teradyne J973、A580、CATALYST、J750、UltraFlex、Magnum 5	同上。Magnum 5 は販売・修理の範囲およびプローブカードソリューションの適合対象であり、装置本体の納入実績は含みません
取引形態	装置は当社が自ら輸入し通関まで行い、中国国内では人民元で直接取引し、13% の増値税専用発票を発行します	価格と見積条件は案件ごとに個別に確認します
装置の調達先	東アジア、東南アジア、欧州、米州の装置ネットワーク	シリアル番号、構成、状態を 1 台ずつ照合します

根拠と納入実績

在庫確認	在庫、構成、状態はお問い合わせ時に対象装置の書面資料で確認します。
装置情報	写真は装置シリーズの識別用です。現物のシリアル、構成、外観を別途提示します。
受入条件	シリアル番号、構成表、状態記録、契約書の受入条項を引渡し基準とします。

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uP200A プローバ制御システム更新

詳細仕様と工程

仕様

更新対象	稼働中の東京精密APM90A、UF200シリーズ	機械本体は残します
起動時間	uP200A 40秒、UF200 70秒、APM90A 180秒	資料の比較表
対応ダイ数	uP200A 25万、UF200 10万、APM90A 6万	ウェーハあたり
対応ウェーハ	4、5、6、8インチ	下位互換
データ転送	フロッピー、光磁気ディスク、ネットワーク	元機はフロッピー、またはフロッピーとネットワーク
データ形式	UF200／UF200A形式に対応	APM90Aの元機は非対応
消耗品互換	APM90AおよびUF200のプローブカード・消耗品に対応	買い直し不要
総合精度	5 μm	資料の表記
チャック	8インチニッケル／金加熱対応チャック	8インチ制御モジュール付き
機能	パッド自動アライメント、針先自動アライメントとクリーニング、フェイルマーク検査、マルチプローブ、マルチbin出力、リアルタイムMAPPING表示	液晶タッチモニタ
インターフェース	GPIB／TTL	上位システム接続
ユーティリティ	圧縮空気 >0.4 MPa、真空 >-53 kPa、単相220 V、最大負荷電流6 A、最大消費1.5 kVA	設置条件を満たす必要があります
供給主体	上海雯澜貿易商行 / 上海録徳集成電路有限公司	プローブカード装置の供給主体とは異なります

根拠と納入実績

出典	起動時間、対応ダイ数、データ転送、互換性の比較はuP200A製品カタログの機種対照表に基づきます。
適用範囲	本ページはAPM90AとUF200シリーズの旧機向け制御システム更新を対象とし、現行世代のプローバには適用されません。
非公開項目	更新期間、供給可能な部品範囲、保証条件は機体の状態によるため、資料に一般値はありません。

製品詳細を見る →

各項目の文章説明

UF200（TSK 8 インチ）: 5/6/8 インチウェーハに対応し、総合精度 5 µm、8 インチのニッケル/金メッキ加熱対応チャック、GPIB/TTL インタフェース、起動約 70 秒、1 枚あたり最大 10 万個のダイ。当社は無錫整備拠点で UF200A 仕様の全体オーバーホールを行い、全機能を有効化します。システムバージョンは客先指定に対応します。オリジナルの操作画面は英語/日本語で、中国語化オペレーティングシステムは当社独自のものです。高低温装置、Wafer ID OCR、円形/角形の針先クリーニング機構、インキング装置、遠隔操作は必要に応じて追加できます。この世代の装置は、バーコード読み取り、RFID による受け渡し、MES／EAP 接続という概念がない時代に出荷されました。その一層をインフォメーションボックスとコード読み取りの接続で補います。インタフェースが古いというだけの理由で、装置を入れ替える必要はありません。
露光装置: 型式と状態を確認
プローバ: UF200、UF3000、P-12XLなど
ATE: V93000、T5377など
納入: 装置ごとに条件を明記
生産装置の追加: 必要型式、オプション、設備条件、インターフェースから候補装置を確認します。
保守部品・代替装置: 生産終了装置、既存工程、互換条件に合わせて装置や部品を探します。
海外移設・復旧: 輸送前に装置構成、状態、分解・据付、通電、現場受入の責任範囲を決めます。
顧客の業種分布: 顧客はウェーハファブ、OSAT、設計会社の自社テストライン、プローブカードメーカー、研究機関に及びます。
装置条件の連絡: 型式、用途、必要オプション、地域、予算、希望時期をお知らせください。
候補装置の確認: シリアル、構成、付属品、状態、提供可能な試験記録を確認します。
納入リスト確定: 装置、欠品、輸送、据付、設備、受入条件を見積書・契約書へ記載します。
現場引渡し: 到着、据付、通電、機能確認、残課題の記録を行います。
起動時間: APM90Aは180秒
対応ダイ数: APM90A 6万、UF200 10万
処理速度: 資料の表記
インターフェース: 元は英語・日本語
既設機の能力不足: 機械はまだ使えるが、制御システムのダイ数上限とタクトが制約になっている。
インターフェースとデータ形式の制約: 元機は英語・日本語UIで、データ転送がフロッピーに限られる。
既存消耗品の資産維持: 既存のプローブカードと消耗品を継続使用したい。
機種と状態の確認: 元機の型式、制御システムの状態、既存消耗品を確認更新範囲を決定
データとインターフェースの確認: MAPPINGデータ形式と上位システム接続を確認 GPIB、TTL、ネットワークが対象
更新の実施: 制御システムを交換し、機械本体と消耗品は残す現地で実施
検証: 起動時間、ダイ数、アライメント、MAPPING出力を確認実測によります
装置はそのうちの一区間にすぎません: その一台を見つけるところから、お客様のラインで動き出すまで、この四つの区間を当社が担います。

エンジニアリング

03 · UF200 バーコードリーダーと LOT 入力

ロットのトレースは、最初の一歩から間違えられない

LOT 番号を人手でプローバに打ち込む運用では、1 文字違えばそのロット分のデータが別のロットに記録され、代償は後の再測定とトレースにかかります。

段階エンジニアリング

接続装置本来のバーコード入力口

ルール正規表現でLOT抽出

検証18文字上限

動作のしくみ

スキャン
ロット部を抽出
検証
装置へ書き込み

ロット番号を手入力しないスキャナの読み取りを中継して装置本来のバーコードインタフェースへ渡すため、この工程は人手に依存しません。
長いバーコードから必要な部分だけロット、ウェーハ番号、日付を含む長いバーコードから、現場で使用中の形式に合わせた抽出ルールでロット部分だけを取り出します。
誤読は装置に入れない検証を通過した項目のみが装置に入るため、一文字の誤りで一ロット分のデータが別ロットに記録されることがなくなります。
投入ごとに記録が残るスキャン記録は中継側に保持され、投入ごとの元のバーコードまで遡れます。

当社が担う範囲

LOT手入力の置き換え
混在バーコードからの抽出
スキャン履歴の保全

01インターフェースの確認
02ルール設定
03試験運用
04納入範囲の定義

プローバ用バーコードスキャナとLOT取り込み

詳細仕様と工程

仕様

プロジェクト段階	エンジニアリング、自社開発	検証規則は装置ごとのフィールド基準に合わせて設定
接続経路	USBバーコードスキャナ → 中継 → プローバのネイティブバーコードポート	キー入力エミュレーション経路は通りません
スキャナ互換性	汎用USB HIDキーボードモードのスキャナ	ブランド・型式を限定せず、自動検出に対応
ルールモデル	正規表現パターン＋置換＋優先度＋大文字化／空白除去	優先度順で最初に一致した1件を採用
ルール生成	一度スキャンしてLOT部分をドラッグ選択すると規則を自動生成	即時プレビューとテスト入力付き
LOT検証	18文字以下、A–Z 0–9と. _ - を許容、先頭は英字または数字	プローバのネイティブLOTフィールドの基準に整合
失敗時の扱い	ルールがなければそのまま送信、ルールに一致しても検証を通らなければ送信しません	拒否したスキャンはログにのみ記録
ルール配信	スナップショットファイルのアトミック置換、中継がホットリロード	ルール変更にサービス再起動は不要
トレース記録	バーコード／LOT／ウェーハ番号／装置／オペレータ／処理状態	記録は収集プログラムのみが書き込みます

根拠と納入実績

段階と根拠	実装、展開、および中国語・日本語・英語・韓国語のオペレータ画面まで完成しており、検証規則は装置ごとのフィールド基準に合わせて設定します。
接続の境界	書き込むのは装置のネイティブバーコードポートのみで、プローバ本体の制御プログラムには手を加えません。利用できるかどうかは、その機種が当該ポートを備えているかによります。
データの境界	スキャン記録は収集プログラムが書き込み、人手による後追い入力には対応しません。LOTが装置に受理されたかどうかは装置側の記録によります。

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各項目の文章説明

UF200 バーコードリーダーと LOT 入力: この工程では入力をバーコードに任せます。バーコードリーダーの読み取り値は中継器を介してプローバ本来のバーコードインタフェースへ書き込まれ、抽出ルールは現場で実際に使われているコード体系に合わせて設定します。検証を通過したフィールドだけが装置に入り、不合格の読み取りは装置の手前で止まり、その理由が残ります。装置本来の制御プログラムには手を加えず、作業者からは最も間違えやすい一手順がなくなります。
段階: 装置のフィールド基準で検証
接続: キー入力エミュレーションなし
ルール: 最初に一致した1件が有効
検証: 装置のネイティブフィールドに整合
LOT手入力の置き換え: キー入力をスキャンに置き換え、ロット番号の取り違えを工程の手前で止めます。
混在バーコードからの抽出: ロット、ウェーハ番号、日付が一つにまとまったバーコードから、LOT部分だけを取り出して装置に渡します。
スキャン履歴の保全: 投入したバーコードは中継側の記録に残り、後から1件ずつ元のバーコードまで遡って確認できます。
インターフェースの確認: 装置側のバーコード入力口の有無と位置、および現場で使用するスキャナを確認します。
ルール設定: 実際のバーコードをスキャンし、LOT部分をドラッグ選択して規則を生成し、結果をその場でプレビューします。
試験運用: 実際のロットで抽出と検証の結果を確認し、拒否された記録の内容まで見ます。
納入範囲の定義: 検証結果を踏まえて、展開範囲と運用保守の方式を決めます。

エンジニアリング機

04 · プローバ・インフォメーションボックス

旧型装置を現代のラインにつなぐ、その一層

旧型のプローバでも動作精度は十分に保たれています。

段階エンジニアリング試作機

接続外付け式、本体は無改造

データ取得設定カード + 稼働メモリ

誠実性ページ単位で出所等級を表示

動作のしくみ

外付け・本体そのまま
事実を読み出す
工場網へ
看板に表示

装置本体には手を入れない外付けの採取ユニットです。一方は装置、もう一方は工場ネットワークにつなぎます。装置のプログラムは変更せず、装置への書き込みも行いません。
装置が持つ事実を読み出すウェーハ形状、ダイ計数、プローブカードの累積接触回数とクリーニング回数——本来は装置内に留まり、装置とともに廃棄される数値です。
旧装置が初めて工場ネットワークに載る生産数、装置状態、アラームを人手の転記なしに看板と工場ネットワークへ送れます。ネットワーク化のために装置を入れ替える必要はありません。
出所不明なら表示しない各ページにデータの出所等級を明示します。取得できない項目は推定で埋めず、取得できない旨をそのまま表示します。

当社が担う範囲

旧型機のデータ化
プローブカード使用履歴の把握
装置状態のリモート確認

01機種とインターフェースの調査
02取得経路の検証
03現場での試運転
04納入内容の定義

プローバ情報ボックス

詳細仕様と工程

仕様

製品段階	エンジニアリング試作機、自社開発	ページごとにデータ出所の等級を表示
接続方式	外付け式の取得ユニット。装置の制御プログラムは改変しません	一方を装置に直結、一方を工場ネットワークへ。物理的に分離しています
画面と操作	装置画面を取得してブラウザに表示し、操作を返送できます	取得も返送も外部インターフェースで、装置のプログラムには入りません
ウェーハジオメトリ	サイズ、X/Yインデックス、行数と列数、有効ダイ数	装置の設定カードのスナップショットから読み出し
テストカウンタ	総数、測定済み、パス、フェイル、再測定、スキップ、マーキング	装置の稼働メモリから読み出し、リアルタイムと表示します
プローブカードカウンタ	累計タッチダウン回数と針クリーニング回数	装置の元パラメータを項目ごとに無損失でデコード
バーコード入力	USBバーコードスキャナを中継経由で装置本来のバーコードポートへ書き込み	プローバ用バーコードスキャナとLOT取り込みの項目を参照
データ出所の表示	各ページにリアルタイム / 装置設定スナップショット / ローカル設定 / オフライン / 設計参考の等級を表示	参考級のページは操作を自動で無効化します
モジュール誠実性規約	各モジュールが実装済み項目、推定しない項目、外部依存を宣言します	算出できない指標は明示的に宣言し、近似値は出しません
インターフェース言語	中国語 / 日本語 / 英語 / 韓国語	多言語の現場向け
ハードウェア形態	組込み演算ユニットと、画面取得および入出力の周辺機器で構成	具体的な構成と設置形態は現場で確認します

根拠と納入実績

段階の基準	すべてのページにデータ出所の等級を表示し、出所が確立できないページは値を埋めずに自動でロックします。ページ上の成熟度バッジは、まだエンジニアリング段階であることを示しています。
接続の範囲	取得は外付け式で、装置本体の制御プログラムは改変しません。読み出せる項目は機種とそのインターフェースによりますので、1台ごとに調査して確認します。
データの範囲	ページはデータ出所の等級で表示し、経路が確立していないモジュールはロックしたままにします。推定値を実測値の代わりに置くことはせず、本ユニットの役割はデータの取得と提示までで、工場システムへの報告を代行するものではありません。
能力の範囲	すべてのページにデータ出所の等級を表示し、出所が確立できないページは値を埋めずに自動でロックします。ページ上の成熟度バッジは、まだエンジニアリング段階であることを示しています。

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各項目の文章説明

プローバ・インフォメーションボックス: 問題は、装置が持っている事実を外に出せないことです。処理枚数、プローブカードの累計コンタクト回数、ウェーハ形状はいずれも装置の中にとどまり、書き写すには人手がかかり、書き写さなければ装置とともに失われます。インフォメーションボックスは装置の外に取り付ける収集ユニットで、1 系統を装置へ、もう 1 系統を工場ネットワークへ接続します。装置自身が知っている事実を読み出してラインへ渡し、その画面をウェブ側へ引き出します。装置本体と制御プログラムには手を加えません。各ページにはデータ出典のグレードを表示し、出典が確認できないページは、もっともらしい数値を表示するのではなく自動的にロックされます。
段階: データ出所を等級で明示
接続: 一方は装置、一方は工場ネットワーク
データ取得: ジオメトリ、カウンタ、カード回数
誠実性: 出所が確認できなければロック
旧型機のデータ化: 現代的なデータインターフェースを持たない稼働中のプローバから、読み出せる稼働事実を取り出します。
プローブカード使用履歴の把握: プローブカードの累計タッチダウン回数と針クリーニング回数を読み出し、カード交換と洗浄の判断材料にします。
装置状態のリモート確認: 工場ネットワーク側から装置の画面と稼働カウンタを確認でき、装置まで足を運ぶ回数を減らせます。
機種とインターフェースの調査: 装置の型式、使用できるインターフェース、工場ネットワークの条件を確認します。
取得経路の検証: 設定カード、稼働カウンタ、バーコード経路が読み通せるかを一つずつ確かめます。
現場での試運転: 実際の生産タクトのもとで、データの内容と稼働の安定性を観察します。
納入内容の定義: 検証結果に基づき、取得範囲、設置形態、運用保守の方式を決めます。

量産供給

05 · UF3000（ACCRETECH 8/12 インチ）

12 インチの能力不足は、在庫の整備済み機で埋める

2005 年以降の ACCRETECH 12 インチ機で、8 インチと 12 インチのウェーハに対応します。

ウェーハ200 / 300 mm

総合精度±2 µm（公開資料）

チャック温調加熱可、−40〜200 °C の多段

世代プラットフォーム 2002 年〜

動作のしくみ

ウェーハ投入
アライメント
針当て
データ出力

当社が担う範囲

調達ウェーハサイズ、チャック加圧力、ローダ形式、自動化インタフェースで構成を確認し、標準と選択を分けて明記します。
輸送ローダ、ミニエンバイロメント、ドッキング部品を分解し個別に採番、輸送中の衝撃と傾きを記録し、到着後に照合します。
整備光学系とアライメントの再校正、針先クリーニングと針跡検査の機能確認、チャック加熱と温調の再測定を行います。
据付据付後に再アライメント、ユーティリティと自動化インタフェースに接続し、検収項目を確認のうえ引き渡します。

中古半導体装置・エンジニアリングサービス

詳細仕様と工程

仕様

露光装置	ASML PAS5500、XT、NXTシリーズ	型式、ソフト・ハード版数、プロセス状態を装置ごとに確認
プローバ	Accretech UF200/UF3000、TEL P-12XL など	コントローラ、オプション、インターフェース、付属品を確認
ATE	Advantest V93000、T5377など	ボード、license、インターフェース、アプリケーション状態を確認
在庫	お問い合わせ時に確認	候補装置のシリアル番号と所在を提示
確認資料	銘板、シリアル、構成、起動・自己診断、欠品、外観	装置状態に応じて提供
納入条件	梱包、輸送、保険、通関、据付、設備、受入	見積書・契約書に責任範囲を記載
技術支援	通電確認、インターフェース整理、データ・ディスクイメージのバックアップと復旧	装置状態と権限に応じて対応
プローバの対応範囲	東京精密 8 インチ APM90A、UF200、UF200A、UF200SA、UF190B、12 インチ UF3000、UF3000ex、UF300、UF300A。東京エレクトロン 8 インチ P-8、P-8XL、12 インチ P-12、P-12XL、P-12XLn	資料に記載された取扱可能範囲であり、在庫リストではありません。機種名は原メーカーの認可または認定を示すものではありません
テスタの対応範囲	Advantest T3347、T5365、T5371、T5375/6/7/7S、T5581、T5588、T5830、T5833、T2000MS、93000、B6700。Teradyne J973、A580、CATALYST、J750、UltraFlex、Magnum 5	同上。Magnum 5 は販売・修理の範囲およびプローブカードソリューションの適合対象であり、装置本体の納入実績は含みません
取引形態	装置は当社が自ら輸入し通関まで行い、中国国内では人民元で直接取引し、13% の増値税専用発票を発行します	価格と見積条件は案件ごとに個別に確認します
装置の調達先	東アジア、東南アジア、欧州、米州の装置ネットワーク	シリアル番号、構成、状態を 1 台ずつ照合します

根拠と納入実績

在庫確認	在庫、構成、状態はお問い合わせ時に対象装置の書面資料で確認します。
装置情報	写真は装置シリーズの識別用です。現物のシリアル、構成、外観を別途提示します。
受入条件	シリアル番号、構成表、状態記録、契約書の受入条項を引渡し基準とします。

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各項目の文章説明

UF3000（ACCRETECH 8/12 インチ）: 12 インチのニッケルメッキ加熱対応チャック、プローブカードの自動ローディング、針先の自動クリーニングと自動アライメント、針跡検査を備え、耐荷重は構成により分かれ、公開資料での総合精度は ±2 µm と記載されています。いずれも実機で確認したうえで構成表に記載します。当社は全体オーバーホール、パラメータの再確認、現地据付を行います。在庫の整備済み機には常温仕様と高低温仕様があります。12 インチのこの世代も、現在の情報化要求より前に生まれた装置です。アップグレードの道筋は 8 インチと変わりません。まずデータを外へ取り出せるようにし、そのうえで EAP と自動搬送との接続を検討します。
露光装置: 型式と状態を確認
プローバ: UF200、UF3000、P-12XLなど
ATE: V93000、T5377など
納入: 装置ごとに条件を明記
生産装置の追加: 必要型式、オプション、設備条件、インターフェースから候補装置を確認します。
保守部品・代替装置: 生産終了装置、既存工程、互換条件に合わせて装置や部品を探します。
海外移設・復旧: 輸送前に装置構成、状態、分解・据付、通電、現場受入の責任範囲を決めます。
顧客の業種分布: 顧客はウェーハファブ、OSAT、設計会社の自社テストライン、プローブカードメーカー、研究機関に及びます。
装置条件の連絡: 型式、用途、必要オプション、地域、予算、希望時期をお知らせください。
候補装置の確認: シリアル、構成、付属品、状態、提供可能な試験記録を確認します。
納入リスト確定: 装置、欠品、輸送、据付、設備、受入条件を見積書・契約書へ記載します。
現場引渡し: 到着、据付、通電、機能確認、残課題の記録を行います。
装置はそのうちの一区間にすぎません: その一台を見つけるところから、お客様のラインで動き出すまで、この四つの区間を当社が担います。

量産供給

06 · UF3000ex（ACCRETECH 12 インチ）

高ピン数プローブカードが必要とする加圧力

UF3000 シリーズのうち、高ピン数・大接触力のプローブカードに向けた機種です。

ウェーハ200 / 300 mm

総合精度±1 µm（公開資料の公称値）

外形・質量1525×1622×967 mm・約 1,650 kg

世代2007 年世代

動作のしくみ

ウェーハ投入
アライメント
針当て
データ出力

当社が担う範囲

調達ウェーハサイズ、チャック加圧力、ローダ形式、自動化インタフェースで構成を確認し、標準と選択を分けて明記します。
輸送ローダ、ミニエンバイロメント、ドッキング部品を分解し個別に採番、輸送中の衝撃と傾きを記録し、到着後に照合します。
整備光学系とアライメントの再校正、針先クリーニングと針跡検査の機能確認、チャック加熱と温調の再測定を行います。
据付据付後に再アライメント、ユーティリティと自動化インタフェースに接続し、検収項目を確認のうえ引き渡します。

中古半導体装置・エンジニアリングサービス

詳細仕様と工程

仕様

露光装置	ASML PAS5500、XT、NXTシリーズ	型式、ソフト・ハード版数、プロセス状態を装置ごとに確認
プローバ	Accretech UF200/UF3000、TEL P-12XL など	コントローラ、オプション、インターフェース、付属品を確認
ATE	Advantest V93000、T5377など	ボード、license、インターフェース、アプリケーション状態を確認
在庫	お問い合わせ時に確認	候補装置のシリアル番号と所在を提示
確認資料	銘板、シリアル、構成、起動・自己診断、欠品、外観	装置状態に応じて提供
納入条件	梱包、輸送、保険、通関、据付、設備、受入	見積書・契約書に責任範囲を記載
技術支援	通電確認、インターフェース整理、データ・ディスクイメージのバックアップと復旧	装置状態と権限に応じて対応
プローバの対応範囲	東京精密 8 インチ APM90A、UF200、UF200A、UF200SA、UF190B、12 インチ UF3000、UF3000ex、UF300、UF300A。東京エレクトロン 8 インチ P-8、P-8XL、12 インチ P-12、P-12XL、P-12XLn	資料に記載された取扱可能範囲であり、在庫リストではありません。機種名は原メーカーの認可または認定を示すものではありません
テスタの対応範囲	Advantest T3347、T5365、T5371、T5375/6/7/7S、T5581、T5588、T5830、T5833、T2000MS、93000、B6700。Teradyne J973、A580、CATALYST、J750、UltraFlex、Magnum 5	同上。Magnum 5 は販売・修理の範囲およびプローブカードソリューションの適合対象であり、装置本体の納入実績は含みません
取引形態	装置は当社が自ら輸入し通関まで行い、中国国内では人民元で直接取引し、13% の増値税専用発票を発行します	価格と見積条件は案件ごとに個別に確認します
装置の調達先	東アジア、東南アジア、欧州、米州の装置ネットワーク	シリアル番号、構成、状態を 1 台ずつ照合します

根拠と納入実績

在庫確認	在庫、構成、状態はお問い合わせ時に対象装置の書面資料で確認します。
装置情報	写真は装置シリーズの識別用です。現物のシリアル、構成、外観を別途提示します。
受入条件	シリアル番号、構成表、状態記録、契約書の受入条項を引渡し基準とします。

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uP200A プローバ制御システム更新

詳細仕様と工程

仕様

更新対象	稼働中の東京精密APM90A、UF200シリーズ	機械本体は残します
起動時間	uP200A 40秒、UF200 70秒、APM90A 180秒	資料の比較表
対応ダイ数	uP200A 25万、UF200 10万、APM90A 6万	ウェーハあたり
対応ウェーハ	4、5、6、8インチ	下位互換
データ転送	フロッピー、光磁気ディスク、ネットワーク	元機はフロッピー、またはフロッピーとネットワーク
データ形式	UF200／UF200A形式に対応	APM90Aの元機は非対応
消耗品互換	APM90AおよびUF200のプローブカード・消耗品に対応	買い直し不要
総合精度	5 μm	資料の表記
チャック	8インチニッケル／金加熱対応チャック	8インチ制御モジュール付き
機能	パッド自動アライメント、針先自動アライメントとクリーニング、フェイルマーク検査、マルチプローブ、マルチbin出力、リアルタイムMAPPING表示	液晶タッチモニタ
インターフェース	GPIB／TTL	上位システム接続
ユーティリティ	圧縮空気 >0.4 MPa、真空 >-53 kPa、単相220 V、最大負荷電流6 A、最大消費1.5 kVA	設置条件を満たす必要があります
供給主体	上海雯澜貿易商行 / 上海録徳集成電路有限公司	プローブカード装置の供給主体とは異なります

根拠と納入実績

出典	起動時間、対応ダイ数、データ転送、互換性の比較はuP200A製品カタログの機種対照表に基づきます。
適用範囲	本ページはAPM90AとUF200シリーズの旧機向け制御システム更新を対象とし、現行世代のプローバには適用されません。
非公開項目	更新期間、供給可能な部品範囲、保証条件は機体の状態によるため、資料に一般値はありません。

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各項目の文章説明

UF3000ex（ACCRETECH 12 インチ）: 耐荷重：チャック荷重は標準 300 kgf、高剛性構成で 450 kgf。同一機種でも構成で一段変わるため、見積前に機体ごとに確認します。同一型式でも構成差があるため、見積前に一台ずつ確認します。外観も UF3000 と一目で区別できます。機体の左前コーナーに藍色の縦帯が入り、白い文字が縦に回して印字され、型式名は右側ローダの黒い光沢パネルへ移り、UF3000 のような大きな中空のブルー字標は本体正面にありません。作業範囲は UF3000 と同じで、全体オーバーホール、パラメータの再確認、現地据付、アフターサービスは新品同等の基準です。在庫の整備済み機には常温仕様と高低温仕様があります。機体の字標は UF3000 EX と表記されます。
露光装置: 型式と状態を確認
プローバ: UF200、UF3000、P-12XLなど
ATE: V93000、T5377など
納入: 装置ごとに条件を明記
生産装置の追加: 必要型式、オプション、設備条件、インターフェースから候補装置を確認します。
保守部品・代替装置: 生産終了装置、既存工程、互換条件に合わせて装置や部品を探します。
海外移設・復旧: 輸送前に装置構成、状態、分解・据付、通電、現場受入の責任範囲を決めます。
顧客の業種分布: 顧客はウェーハファブ、OSAT、設計会社の自社テストライン、プローブカードメーカー、研究機関に及びます。
装置条件の連絡: 型式、用途、必要オプション、地域、予算、希望時期をお知らせください。
候補装置の確認: シリアル、構成、付属品、状態、提供可能な試験記録を確認します。
納入リスト確定: 装置、欠品、輸送、据付、設備、受入条件を見積書・契約書へ記載します。
現場引渡し: 到着、据付、通電、機能確認、残課題の記録を行います。
起動時間: APM90Aは180秒
対応ダイ数: APM90A 6万、UF200 10万
処理速度: 資料の表記
インターフェース: 元は英語・日本語
既設機の能力不足: 機械はまだ使えるが、制御システムのダイ数上限とタクトが制約になっている。
インターフェースとデータ形式の制約: 元機は英語・日本語UIで、データ転送がフロッピーに限られる。
既存消耗品の資産維持: 既存のプローブカードと消耗品を継続使用したい。
機種と状態の確認: 元機の型式、制御システムの状態、既存消耗品を確認更新範囲を決定
データとインターフェースの確認: MAPPINGデータ形式と上位システム接続を確認 GPIB、TTL、ネットワークが対象
更新の実施: 制御システムを交換し、機械本体と消耗品は残す現地で実施
検証: 起動時間、ダイ数、アライメント、MAPPING出力を確認実測によります
装置はそのうちの一区間にすぎません: その一台を見つけるところから、お客様のラインで動き出すまで、この四つの区間を当社が担います。

対応機種

07 · AP3000（ACCRETECH 12 インチ）

機体上部の bridge beam は外せない

ACCRETECH の次世代 300 mm プローバで、公称総合精度は ±0.8 µm / ±1.5 µm、300 mm と 200 mm のベアウェーハに対応します。

ウェーハ200 / 300 mm

総合精度AP3000 ±0.8 µm · AP3000e ±1.5 µm

外形・質量1519×1787×1422 mm・約 1,650 kg

チャック温調常温 / 高温 / 低温 / 低騒音の 4 種

動作のしくみ

ウェーハ投入
アライメント
針当て
データ出力

当社が担う範囲

調達ウェーハサイズ、チャック加圧力、ローダ形式、自動化インタフェースで構成を確認し、標準と選択を分けて明記します。
輸送ローダ、ミニエンバイロメント、ドッキング部品を分解し個別に採番、輸送中の衝撃と傾きを記録し、到着後に照合します。
整備光学系とアライメントの再校正、針先クリーニングと針跡検査の機能確認、チャック加熱と温調の再測定を行います。
据付据付後に再アライメント、ユーティリティと自動化インタフェースに接続し、検収項目を確認のうえ引き渡します。

中古半導体装置・エンジニアリングサービス

詳細仕様と工程

仕様

露光装置	ASML PAS5500、XT、NXTシリーズ	型式、ソフト・ハード版数、プロセス状態を装置ごとに確認
プローバ	Accretech UF200/UF3000、TEL P-12XL など	コントローラ、オプション、インターフェース、付属品を確認
ATE	Advantest V93000、T5377など	ボード、license、インターフェース、アプリケーション状態を確認
在庫	お問い合わせ時に確認	候補装置のシリアル番号と所在を提示
確認資料	銘板、シリアル、構成、起動・自己診断、欠品、外観	装置状態に応じて提供
納入条件	梱包、輸送、保険、通関、据付、設備、受入	見積書・契約書に責任範囲を記載
技術支援	通電確認、インターフェース整理、データ・ディスクイメージのバックアップと復旧	装置状態と権限に応じて対応
プローバの対応範囲	東京精密 8 インチ APM90A、UF200、UF200A、UF200SA、UF190B、12 インチ UF3000、UF3000ex、UF300、UF300A。東京エレクトロン 8 インチ P-8、P-8XL、12 インチ P-12、P-12XL、P-12XLn	資料に記載された取扱可能範囲であり、在庫リストではありません。機種名は原メーカーの認可または認定を示すものではありません
テスタの対応範囲	Advantest T3347、T5365、T5371、T5375/6/7/7S、T5581、T5588、T5830、T5833、T2000MS、93000、B6700。Teradyne J973、A580、CATALYST、J750、UltraFlex、Magnum 5	同上。Magnum 5 は販売・修理の範囲およびプローブカードソリューションの適合対象であり、装置本体の納入実績は含みません
取引形態	装置は当社が自ら輸入し通関まで行い、中国国内では人民元で直接取引し、13% の増値税専用発票を発行します	価格と見積条件は案件ごとに個別に確認します
装置の調達先	東アジア、東南アジア、欧州、米州の装置ネットワーク	シリアル番号、構成、状態を 1 台ずつ照合します

根拠と納入実績

在庫確認	在庫、構成、状態はお問い合わせ時に対象装置の書面資料で確認します。
装置情報	写真は装置シリーズの識別用です。現物のシリアル、構成、外観を別途提示します。
受入条件	シリアル番号、構成表、状態記録、契約書の受入条項を引渡し基準とします。

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各項目の文章説明

AP3000（ACCRETECH 12 インチ）: シングル/デュアルローダと AMHS 自動化、針先クリーニング、FFU ミニエンバイロメント、常温/高温（200 ℃ まで）チャック、HF jig と hinge manipulator のテスタインタフェース、プローブカード自動交換などはオプションです。機体上部の開口には固定式の bridge beam があり、プローブカードを保持してドッキング荷重を受けます。取り外せないため、プローブカードと治具の設計はこの制約を前提にする必要があり、当社の実案件でも低温要求を満たしつつこれを回避しました。本ステーションは当社がカード・治具ソリューションを提供する対象で、装置そのものは当社の販売リストには入っていません。
露光装置: 型式と状態を確認
プローバ: UF200、UF3000、P-12XLなど
ATE: V93000、T5377など
納入: 装置ごとに条件を明記
生産装置の追加: 必要型式、オプション、設備条件、インターフェースから候補装置を確認します。
保守部品・代替装置: 生産終了装置、既存工程、互換条件に合わせて装置や部品を探します。
海外移設・復旧: 輸送前に装置構成、状態、分解・据付、通電、現場受入の責任範囲を決めます。
顧客の業種分布: 顧客はウェーハファブ、OSAT、設計会社の自社テストライン、プローブカードメーカー、研究機関に及びます。
装置条件の連絡: 型式、用途、必要オプション、地域、予算、希望時期をお知らせください。
候補装置の確認: シリアル、構成、付属品、状態、提供可能な試験記録を確認します。
納入リスト確定: 装置、欠品、輸送、据付、設備、受入条件を見積書・契約書へ記載します。
現場引渡し: 到着、据付、通電、機能確認、残課題の記録を行います。
装置はそのうちの一区間にすぎません: その一台を見つけるところから、お客様のラインで動き出すまで、この四つの区間を当社が担います。

量産供給

08 · P-12XL（TEL 12 インチ）

同じ機種名でも異なるチャック荷重を、先に特定してお渡しする

東京エレクトロンの 12 インチフラットトップ機で、2004 年前後に納入されました。

ウェーハ300 / 200 mm

総合精度X/Y ±4 µm・Z ±5 µm（公開資料の公称値）

Z 軸耐荷重980 N（100 kgf）

外形1450×1230×1522.5 mm・約 1,640 kg

動作のしくみ

ウェーハ投入
アライメント
針当て
データ出力

当社が担う範囲

調達ウェーハサイズ、チャック加圧力、ローダ形式、自動化インタフェースで構成を確認し、標準と選択を分けて明記します。
輸送ローダ、ミニエンバイロメント、ドッキング部品を分解し個別に採番、輸送中の衝撃と傾きを記録し、到着後に照合します。
整備光学系とアライメントの再校正、針先クリーニングと針跡検査の機能確認、チャック加熱と温調の再測定を行います。
据付据付後に再アライメント、ユーティリティと自動化インタフェースに接続し、検収項目を確認のうえ引き渡します。

中古半導体装置・エンジニアリングサービス

詳細仕様と工程

仕様

露光装置	ASML PAS5500、XT、NXTシリーズ	型式、ソフト・ハード版数、プロセス状態を装置ごとに確認
プローバ	Accretech UF200/UF3000、TEL P-12XL など	コントローラ、オプション、インターフェース、付属品を確認
ATE	Advantest V93000、T5377など	ボード、license、インターフェース、アプリケーション状態を確認
在庫	お問い合わせ時に確認	候補装置のシリアル番号と所在を提示
確認資料	銘板、シリアル、構成、起動・自己診断、欠品、外観	装置状態に応じて提供
納入条件	梱包、輸送、保険、通関、据付、設備、受入	見積書・契約書に責任範囲を記載
技術支援	通電確認、インターフェース整理、データ・ディスクイメージのバックアップと復旧	装置状態と権限に応じて対応
プローバの対応範囲	東京精密 8 インチ APM90A、UF200、UF200A、UF200SA、UF190B、12 インチ UF3000、UF3000ex、UF300、UF300A。東京エレクトロン 8 インチ P-8、P-8XL、12 インチ P-12、P-12XL、P-12XLn	資料に記載された取扱可能範囲であり、在庫リストではありません。機種名は原メーカーの認可または認定を示すものではありません
テスタの対応範囲	Advantest T3347、T5365、T5371、T5375/6/7/7S、T5581、T5588、T5830、T5833、T2000MS、93000、B6700。Teradyne J973、A580、CATALYST、J750、UltraFlex、Magnum 5	同上。Magnum 5 は販売・修理の範囲およびプローブカードソリューションの適合対象であり、装置本体の納入実績は含みません
取引形態	装置は当社が自ら輸入し通関まで行い、中国国内では人民元で直接取引し、13% の増値税専用発票を発行します	価格と見積条件は案件ごとに個別に確認します
装置の調達先	東アジア、東南アジア、欧州、米州の装置ネットワーク	シリアル番号、構成、状態を 1 台ずつ照合します

根拠と納入実績

在庫確認	在庫、構成、状態はお問い合わせ時に対象装置の書面資料で確認します。
装置情報	写真は装置シリーズの識別用です。現物のシリアル、構成、外観を別途提示します。
受入条件	シリアル番号、構成表、状態記録、契約書の受入条項を引渡し基準とします。

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各項目の文章説明

P-12XL（TEL 12 インチ）: WAPP 針クリーニングモジュール、SACC プローブカード自動ローディング、12 インチの金/ニッケルメッキ高低温チャック（低温はオプション）、針跡検査を備えます。チャック荷重は P-12XL が標準 80 kgf、P-12XLn/n+ が 100 kgf（オプション 200 kgf）で、見積依頼の際はどちらの仕様かを先に確認する必要があります。TEL 系の 8 インチ以上のプローバについて、当社は装置の据付と調整、治具の改造を提供します。同シリーズは精度で分かれます。P-12XL は X/Y ±4 µm、P-12XLn は ±2.5 µm、リニアスケール付きの P-12XLn+ は ±1.8 µm です。
露光装置: 型式と状態を確認
プローバ: UF200、UF3000、P-12XLなど
ATE: V93000、T5377など
納入: 装置ごとに条件を明記
生産装置の追加: 必要型式、オプション、設備条件、インターフェースから候補装置を確認します。
保守部品・代替装置: 生産終了装置、既存工程、互換条件に合わせて装置や部品を探します。
海外移設・復旧: 輸送前に装置構成、状態、分解・据付、通電、現場受入の責任範囲を決めます。
顧客の業種分布: 顧客はウェーハファブ、OSAT、設計会社の自社テストライン、プローブカードメーカー、研究機関に及びます。
装置条件の連絡: 型式、用途、必要オプション、地域、予算、希望時期をお知らせください。
候補装置の確認: シリアル、構成、付属品、状態、提供可能な試験記録を確認します。
納入リスト確定: 装置、欠品、輸送、据付、設備、受入条件を見積書・契約書へ記載します。
現場引渡し: 到着、据付、通電、機能確認、残課題の記録を行います。
装置はそのうちの一区間にすぎません: その一台を見つけるところから、お客様のラインで動き出すまで、この四つの区間を当社が担います。

量産供給

09 · Advantest V93000 ドッキングステーション（Docking）

テストヘッドを反転して下向きにし、head plate へハードドッキング

V93000 は計測カードをテストヘッド内に集約しており、従来型の大型電装キャビネットを持ちません。

ドッキングDirect-Probe でヘッドプレートに硬結合

カード基準面180×300 mm、平面度 30 µm 以内

ドッキング再現性針高変化 2 µm 未満

構造pogo tower なし

動作のしくみ

ヘッド搭載
圧接
ウェーハ試験
結果出力

当社が担う範囲

調達ドッキング方式（テストヘッド搭載かケーブル接続か）でプローバとの組み合わせを確認し、必要な接続部品まで含めて提示します。
輸送テストヘッド、キャビネット、ケーブル束を個別採番して輸送し、到着時の部品欠品を防ぎます。
整備ケーブル束と風路の整備、フィルタ交換を行い、通電自己診断の合格後に出荷します。
据付プローバと組み合わせて据付、ドッキングと通信を完了し、お客様のテストプログラムで一度実機確認します。

中古半導体装置・エンジニアリングサービス

詳細仕様と工程

仕様

露光装置	ASML PAS5500、XT、NXTシリーズ	型式、ソフト・ハード版数、プロセス状態を装置ごとに確認
プローバ	Accretech UF200/UF3000、TEL P-12XL など	コントローラ、オプション、インターフェース、付属品を確認
ATE	Advantest V93000、T5377など	ボード、license、インターフェース、アプリケーション状態を確認
在庫	お問い合わせ時に確認	候補装置のシリアル番号と所在を提示
確認資料	銘板、シリアル、構成、起動・自己診断、欠品、外観	装置状態に応じて提供
納入条件	梱包、輸送、保険、通関、据付、設備、受入	見積書・契約書に責任範囲を記載
技術支援	通電確認、インターフェース整理、データ・ディスクイメージのバックアップと復旧	装置状態と権限に応じて対応
プローバの対応範囲	東京精密 8 インチ APM90A、UF200、UF200A、UF200SA、UF190B、12 インチ UF3000、UF3000ex、UF300、UF300A。東京エレクトロン 8 インチ P-8、P-8XL、12 インチ P-12、P-12XL、P-12XLn	資料に記載された取扱可能範囲であり、在庫リストではありません。機種名は原メーカーの認可または認定を示すものではありません
テスタの対応範囲	Advantest T3347、T5365、T5371、T5375/6/7/7S、T5581、T5588、T5830、T5833、T2000MS、93000、B6700。Teradyne J973、A580、CATALYST、J750、UltraFlex、Magnum 5	同上。Magnum 5 は販売・修理の範囲およびプローブカードソリューションの適合対象であり、装置本体の納入実績は含みません
取引形態	装置は当社が自ら輸入し通関まで行い、中国国内では人民元で直接取引し、13% の増値税専用発票を発行します	価格と見積条件は案件ごとに個別に確認します
装置の調達先	東アジア、東南アジア、欧州、米州の装置ネットワーク	シリアル番号、構成、状態を 1 台ずつ照合します

根拠と納入実績

在庫確認	在庫、構成、状態はお問い合わせ時に対象装置の書面資料で確認します。
装置情報	写真は装置シリーズの識別用です。現物のシリアル、構成、外観を別途提示します。
受入条件	シリアル番号、構成表、状態記録、契約書の受入条項を引渡し基準とします。

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各項目の文章説明

Advantest V93000 ドッキングステーション（Docking）: ウェーハソート時は manipulator がテストヘッドをインタフェース面が下を向くように反転させ、プローバの head plate の上で保持してハードドッキングします。プローブカードはテストヘッドのインタフェースへ直接取り付けられ、pogo tower を経由しません。脇のサポートラックが電源と水冷を供給し、太いケーブル束がテストヘッド後部へ接続されます。当社が供給する 93000 PS400 構成は次の条件でご提供します。全体オーバーホール済み、1 年保証付き、納入後に PCI-E コントロールカードの現地アップグレードを装置メーカーが実施（2023 年時点の供給条件、最終的には契約内容によります）。本ステーションではテストヘッドを UF3000 にドッキングしています。
露光装置: 型式と状態を確認
プローバ: UF200、UF3000、P-12XLなど
ATE: V93000、T5377など
納入: 装置ごとに条件を明記
生産装置の追加: 必要型式、オプション、設備条件、インターフェースから候補装置を確認します。
保守部品・代替装置: 生産終了装置、既存工程、互換条件に合わせて装置や部品を探します。
海外移設・復旧: 輸送前に装置構成、状態、分解・据付、通電、現場受入の責任範囲を決めます。
顧客の業種分布: 顧客はウェーハファブ、OSAT、設計会社の自社テストライン、プローブカードメーカー、研究機関に及びます。
装置条件の連絡: 型式、用途、必要オプション、地域、予算、希望時期をお知らせください。
候補装置の確認: シリアル、構成、付属品、状態、提供可能な試験記録を確認します。
納入リスト確定: 装置、欠品、輸送、据付、設備、受入条件を見積書・契約書へ記載します。
現場引渡し: 到着、据付、通電、機能確認、残課題の記録を行います。
装置はそのうちの一区間にすぎません: その一台を見つけるところから、お客様のラインで動き出すまで、この四つの区間を当社が担います。

対応機種

10 · Advantest T5833 ドッキングステーション（Docking）

メモリテストラインが必要とする基板は、当社が自社で製作する

メモリテスタの標準的な構成です。オフホワイトのメインフレームキャビネットが壁沿いに並び、その 1 台ごとに手前へプローバが 1 台。

ドッキングヘッドを下向きに圧合

本体キャビネット約 850×1050×1650 mm

テストヘッド約 830×990×630 mm

レイアウトキャビネットは壁側、プローバは手前

動作のしくみ

ヘッド搭載
圧接
ウェーハ試験
結果出力

当社が担う範囲

調達ドッキング方式（テストヘッド搭載かケーブル接続か）でプローバとの組み合わせを確認し、必要な接続部品まで含めて提示します。
輸送テストヘッド、キャビネット、ケーブル束を個別採番して輸送し、到着時の部品欠品を防ぎます。
整備ケーブル束と風路の整備、フィルタ交換を行い、通電自己診断の合格後に出荷します。
据付プローバと組み合わせて据付、ドッキングと通信を完了し、お客様のテストプログラムで一度実機確認します。

中古半導体装置・エンジニアリングサービス

詳細仕様と工程

仕様

露光装置	ASML PAS5500、XT、NXTシリーズ	型式、ソフト・ハード版数、プロセス状態を装置ごとに確認
プローバ	Accretech UF200/UF3000、TEL P-12XL など	コントローラ、オプション、インターフェース、付属品を確認
ATE	Advantest V93000、T5377など	ボード、license、インターフェース、アプリケーション状態を確認
在庫	お問い合わせ時に確認	候補装置のシリアル番号と所在を提示
確認資料	銘板、シリアル、構成、起動・自己診断、欠品、外観	装置状態に応じて提供
納入条件	梱包、輸送、保険、通関、据付、設備、受入	見積書・契約書に責任範囲を記載
技術支援	通電確認、インターフェース整理、データ・ディスクイメージのバックアップと復旧	装置状態と権限に応じて対応
プローバの対応範囲	東京精密 8 インチ APM90A、UF200、UF200A、UF200SA、UF190B、12 インチ UF3000、UF3000ex、UF300、UF300A。東京エレクトロン 8 インチ P-8、P-8XL、12 インチ P-12、P-12XL、P-12XLn	資料に記載された取扱可能範囲であり、在庫リストではありません。機種名は原メーカーの認可または認定を示すものではありません
テスタの対応範囲	Advantest T3347、T5365、T5371、T5375/6/7/7S、T5581、T5588、T5830、T5833、T2000MS、93000、B6700。Teradyne J973、A580、CATALYST、J750、UltraFlex、Magnum 5	同上。Magnum 5 は販売・修理の範囲およびプローブカードソリューションの適合対象であり、装置本体の納入実績は含みません
取引形態	装置は当社が自ら輸入し通関まで行い、中国国内では人民元で直接取引し、13% の増値税専用発票を発行します	価格と見積条件は案件ごとに個別に確認します
装置の調達先	東アジア、東南アジア、欧州、米州の装置ネットワーク	シリアル番号、構成、状態を 1 台ずつ照合します

根拠と納入実績

在庫確認	在庫、構成、状態はお問い合わせ時に対象装置の書面資料で確認します。
装置情報	写真は装置シリーズの識別用です。現物のシリアル、構成、外観を別途提示します。
受入条件	シリアル番号、構成表、状態記録、契約書の受入条項を引渡し基準とします。

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PCT5801 プローブカード試験システム

詳細仕様と工程

仕様

カード側ピン数	現行プラットフォーム容量 67,000 pin、PCT5801v2 アーキテクチャ目標 300,000 pin	v2 は PinForce と針先 XYZ を計画し、DeepTouch の機械検証データと関連付け可能
ATEリソース	256 pin / unit、最大4 unit	対象カードと試験項目に応じて構成
リレーマトリクス	1,024 チャネル / 枚、最大64枚	ピン数要求に応じて拡張
Motherboard接続	ZIF / POGO、Bridge Beam	接続形式は顧客カードに合わせて設計
制御リソース	Relay / FPGA / ASICカスタム制御、MCW（T5830 / T5833）、SPIおよびI²C（M5 / M7）	制御方式はテスタ機種に整合
アナログ試験	Kelvin四端子測定、DPSデバイス電源	高精度アナログ測定用
構成可能な試験リソース	電流モジュール、電圧電流ソースメジャー、デジタルI/O、任意波形発生器とデジタイザ、信号キャプチャモジュール	試験項目により選択
仮想計測器	ソースメジャー、デジタイザ、オシロ・スペクトラム解析、Pin Map表示	ソフトウェア計測パネル
操作画面	グラフィカルでカスタマイズ可能なGUI	試験フローと表示を運用に合わせて調整
チャネルの定義	仕様上の試験チャネル数はテスタ側の電気信号数であり、プローブカードのピン数とは一致しません	チャネル数をそのままピン数として読まないための注記
デジタル性能	標準 16,384 チャネル、最大構成 65,536（マトリクス走査式テストパス）	チャネルはテスタ側の走査信号でありプローブカードのピン数ではありません。同時に動作する計測リソースは搭載ユニットによります
ソフトウェアツール	グラフィカルシーケンスプログラマ、デジタルベクタ編集・デバッガ、ロジックアナライザ、仮想計測パネル、Shmoo デバッガ、VI カーブレポートの自動生成	システムに付属
データとレポート	レシピ体系は再利用と保管に対応し、レポートを自動生成	データ連携は技術仕様書で取り決めます
設置と環境	空冷、動作温度 15 ~ 30 ℃、相対湿度 30 ~ 70 %、AC 220 V 50/60 Hz	基本構成の公称値で、構成により変わります

根拠と納入実績

対応テスタ機種	納入済：Advantest T5830（440/480）、T5833（520）、V93000、Teradyne Magnum 5。製作中：Advantest T5221、CCTech C16/P16/P16+、Teradyne UltraFlex。開発中：XB1152、TM8000、SM0X00、M7、T5825。
交流測定	PBDATA 測定は全信号チャネルの伝送時間（TDR）を測定します。所要時間はピン数と構成により、技術仕様書で取り決めます。
能力上の位置づけ	同一システムアーキテクチャの中でDC、TDR、ロジック制御、機械検査をカバーし、ATE・リレーマトリクス・計測リソースの構成に応じて統合的に実行します。汎用のプローブカードアナライザは通常その一部のみを対象とします。
出展実績	2025 年の Semicon China（上海）、Semicon 東南アジア（シンガポール）、SWTest（米国）にいずれも実機を出展しました。
プラットフォーム中立	システムはお客様の tester、motherboard、プローブカード、工場インタフェースに合わせて構成し、特定のプローブカードメーカーや ATE プラットフォームには縛られません。品質・コスト・納期は商務契約で定めます。
ピンと走査パス	カード物理ピンからマトリクス走査パスへのマッピングはカード種別ごとに設計します。67,000 はカード側ピン容量、65,536 は独立走査パス上限で、別の量です。300,000 ピンへ拡張する PCT5801v2 アーキテクチャは技術面談でご紹介します。
本ページの情報深度	本ページは能力のヘッドラインと証拠等級を示します。モジュール仕様・所要時間・納入構成の詳細は技術仕様書で提示します。

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各項目の文章説明

Advantest T5833 ドッキングステーション（Docking）: 灰色の平たいテストヘッドが面を下に向けて、プローバ上面の head plate に水平に載ります。太いケーブル束はキャビネット前面下部から出て、床の上で弧を描きながらテストヘッド後端へ接続されます。同シリーズのメインフレームキャビネットは約 850 (W)×1050 (D)×1650 (H) mm、シングルタワーのテストヘッドは約 830×990×630 mm です。当社はこのプラットフォーム向けに motherboard/WMB を自社開発しており（32 TOM 構成を含む）。本ステーションは AP3000 にドッキングしており、ヘッドはその固定式 bridge beam の上に降ります。
露光装置: 型式と状態を確認
プローバ: UF200、UF3000、P-12XLなど
ATE: V93000、T5377など
納入: 装置ごとに条件を明記
生産装置の追加: 必要型式、オプション、設備条件、インターフェースから候補装置を確認します。
保守部品・代替装置: 生産終了装置、既存工程、互換条件に合わせて装置や部品を探します。
海外移設・復旧: 輸送前に装置構成、状態、分解・据付、通電、現場受入の責任範囲を決めます。
顧客の業種分布: 顧客はウェーハファブ、OSAT、設計会社の自社テストライン、プローブカードメーカー、研究機関に及びます。
装置条件の連絡: 型式、用途、必要オプション、地域、予算、希望時期をお知らせください。
候補装置の確認: シリアル、構成、付属品、状態、提供可能な試験記録を確認します。
納入リスト確定: 装置、欠品、輸送、据付、設備、受入条件を見積書・契約書へ記載します。
現場引渡し: 到着、据付、通電、機能確認、残課題の記録を行います。
カード側ピン数: 現行プラットフォーム容量。v2 アーキテクチャ目標 300,000
ATEリソース: フル機能ATEフロントエンド
リレーマトリクス: モジュール式チャネル拡張
カード接続: Bridge Beam圧接構造
出荷・修理後の電気検査: Open、Short、Leakage、制御リソースを確認し、追跡可能な結果を作成します。
ATE投入前の確認: 生産testerを使用する前に、motherboard、チャネル、基本電気状態を確認します。
高チャネル化: 1,024チャネルモジュールを単位に、カードとラック構成に合わせて拡張します。
Open試験: 全ピン開放状態で全チャネルの導通を確認
Short試験: 全ピンをショートプレートに接触させチャネル間短絡を確認
Leakage試験: 全ピン対ピン測定、判定基準 10 nA
Control試験: MCW / FPGA / ASIC / I²C / SPI 制御リソースの検証
装置はそのうちの一区間にすぎません: その一台を見つけるところから、お客様のラインで動き出すまで、この四つの区間を当社が担います。

対応機種

11 · Teradyne M5（Magnum 5）ドッキングステーション（Docking）

テスト回路は本体内、プローブカードへ直結

Magnum シリーズはテスト回路をテスタ本体に内蔵しており、独立した大型キャビネットを持ちません。

ドッキング本体をプローバに圧合

構造電子部は本体内蔵

プローブカードK52 でプローブカード直結

レイアウト独立キャビネットなし

動作のしくみ

ヘッド搭載
圧接
ウェーハ試験
結果出力

当社が担う範囲

調達ドッキング方式（テストヘッド搭載かケーブル接続か）でプローバとの組み合わせを確認し、必要な接続部品まで含めて提示します。
輸送テストヘッド、キャビネット、ケーブル束を個別採番して輸送し、到着時の部品欠品を防ぎます。
整備ケーブル束と風路の整備、フィルタ交換を行い、通電自己診断の合格後に出荷します。
据付プローバと組み合わせて据付、ドッキングと通信を完了し、お客様のテストプログラムで一度実機確認します。

中古半導体装置・エンジニアリングサービス

詳細仕様と工程

仕様

露光装置	ASML PAS5500、XT、NXTシリーズ	型式、ソフト・ハード版数、プロセス状態を装置ごとに確認
プローバ	Accretech UF200/UF3000、TEL P-12XL など	コントローラ、オプション、インターフェース、付属品を確認
ATE	Advantest V93000、T5377など	ボード、license、インターフェース、アプリケーション状態を確認
在庫	お問い合わせ時に確認	候補装置のシリアル番号と所在を提示
確認資料	銘板、シリアル、構成、起動・自己診断、欠品、外観	装置状態に応じて提供
納入条件	梱包、輸送、保険、通関、据付、設備、受入	見積書・契約書に責任範囲を記載
技術支援	通電確認、インターフェース整理、データ・ディスクイメージのバックアップと復旧	装置状態と権限に応じて対応
プローバの対応範囲	東京精密 8 インチ APM90A、UF200、UF200A、UF200SA、UF190B、12 インチ UF3000、UF3000ex、UF300、UF300A。東京エレクトロン 8 インチ P-8、P-8XL、12 インチ P-12、P-12XL、P-12XLn	資料に記載された取扱可能範囲であり、在庫リストではありません。機種名は原メーカーの認可または認定を示すものではありません
テスタの対応範囲	Advantest T3347、T5365、T5371、T5375/6/7/7S、T5581、T5588、T5830、T5833、T2000MS、93000、B6700。Teradyne J973、A580、CATALYST、J750、UltraFlex、Magnum 5	同上。Magnum 5 は販売・修理の範囲およびプローブカードソリューションの適合対象であり、装置本体の納入実績は含みません
取引形態	装置は当社が自ら輸入し通関まで行い、中国国内では人民元で直接取引し、13% の増値税専用発票を発行します	価格と見積条件は案件ごとに個別に確認します
装置の調達先	東アジア、東南アジア、欧州、米州の装置ネットワーク	シリアル番号、構成、状態を 1 台ずつ照合します

根拠と納入実績

在庫確認	在庫、構成、状態はお問い合わせ時に対象装置の書面資料で確認します。
装置情報	写真は装置シリーズの識別用です。現物のシリアル、構成、外観を別途提示します。
受入条件	シリアル番号、構成表、状態記録、契約書の受入条項を引渡し基準とします。

製品詳細を見る →

PCT5801 プローブカード試験システム

詳細仕様と工程

仕様

カード側ピン数	現行プラットフォーム容量 67,000 pin、PCT5801v2 アーキテクチャ目標 300,000 pin	v2 は PinForce と針先 XYZ を計画し、DeepTouch の機械検証データと関連付け可能
ATEリソース	256 pin / unit、最大4 unit	対象カードと試験項目に応じて構成
リレーマトリクス	1,024 チャネル / 枚、最大64枚	ピン数要求に応じて拡張
Motherboard接続	ZIF / POGO、Bridge Beam	接続形式は顧客カードに合わせて設計
制御リソース	Relay / FPGA / ASICカスタム制御、MCW（T5830 / T5833）、SPIおよびI²C（M5 / M7）	制御方式はテスタ機種に整合
アナログ試験	Kelvin四端子測定、DPSデバイス電源	高精度アナログ測定用
構成可能な試験リソース	電流モジュール、電圧電流ソースメジャー、デジタルI/O、任意波形発生器とデジタイザ、信号キャプチャモジュール	試験項目により選択
仮想計測器	ソースメジャー、デジタイザ、オシロ・スペクトラム解析、Pin Map表示	ソフトウェア計測パネル
操作画面	グラフィカルでカスタマイズ可能なGUI	試験フローと表示を運用に合わせて調整
チャネルの定義	仕様上の試験チャネル数はテスタ側の電気信号数であり、プローブカードのピン数とは一致しません	チャネル数をそのままピン数として読まないための注記
デジタル性能	標準 16,384 チャネル、最大構成 65,536（マトリクス走査式テストパス）	チャネルはテスタ側の走査信号でありプローブカードのピン数ではありません。同時に動作する計測リソースは搭載ユニットによります
ソフトウェアツール	グラフィカルシーケンスプログラマ、デジタルベクタ編集・デバッガ、ロジックアナライザ、仮想計測パネル、Shmoo デバッガ、VI カーブレポートの自動生成	システムに付属
データとレポート	レシピ体系は再利用と保管に対応し、レポートを自動生成	データ連携は技術仕様書で取り決めます
設置と環境	空冷、動作温度 15 ~ 30 ℃、相対湿度 30 ~ 70 %、AC 220 V 50/60 Hz	基本構成の公称値で、構成により変わります

根拠と納入実績

対応テスタ機種	納入済：Advantest T5830（440/480）、T5833（520）、V93000、Teradyne Magnum 5。製作中：Advantest T5221、CCTech C16/P16/P16+、Teradyne UltraFlex。開発中：XB1152、TM8000、SM0X00、M7、T5825。
交流測定	PBDATA 測定は全信号チャネルの伝送時間（TDR）を測定します。所要時間はピン数と構成により、技術仕様書で取り決めます。
能力上の位置づけ	同一システムアーキテクチャの中でDC、TDR、ロジック制御、機械検査をカバーし、ATE・リレーマトリクス・計測リソースの構成に応じて統合的に実行します。汎用のプローブカードアナライザは通常その一部のみを対象とします。
出展実績	2025 年の Semicon China（上海）、Semicon 東南アジア（シンガポール）、SWTest（米国）にいずれも実機を出展しました。
プラットフォーム中立	システムはお客様の tester、motherboard、プローブカード、工場インタフェースに合わせて構成し、特定のプローブカードメーカーや ATE プラットフォームには縛られません。品質・コスト・納期は商務契約で定めます。
ピンと走査パス	カード物理ピンからマトリクス走査パスへのマッピングはカード種別ごとに設計します。67,000 はカード側ピン容量、65,536 は独立走査パス上限で、別の量です。300,000 ピンへ拡張する PCT5801v2 アーキテクチャは技術面談でご紹介します。
本ページの情報深度	本ページは能力のヘッドラインと証拠等級を示します。モジュール仕様・所要時間・納入構成の詳細は技術仕様書で提示します。

製品詳細を見る →

各項目の文章説明

Teradyne M5（Magnum 5）ドッキングステーション（Docking）: ウェーハソートでは K52 インタフェースでプローブカードへ直結し、pogo tower は使用せず、本体が面を下に向けてプローバの上に押し当てられます。V93000 と同種のドッキング形態ですが、筐体はより角張っています。当社の販売・保守の範囲は Teradyne Magnum 5（および J750、UltraFlex などの機種）を含み、自社開発のプローブカード検査ソリューションは M5 プラットフォームに対応済みです。本ステーションが示しているのはドッキング形態です。本ステーションは P-12XL にドッキングしています。
露光装置: 型式と状態を確認
プローバ: UF200、UF3000、P-12XLなど
ATE: V93000、T5377など
納入: 装置ごとに条件を明記
生産装置の追加: 必要型式、オプション、設備条件、インターフェースから候補装置を確認します。
保守部品・代替装置: 生産終了装置、既存工程、互換条件に合わせて装置や部品を探します。
海外移設・復旧: 輸送前に装置構成、状態、分解・据付、通電、現場受入の責任範囲を決めます。
顧客の業種分布: 顧客はウェーハファブ、OSAT、設計会社の自社テストライン、プローブカードメーカー、研究機関に及びます。
装置条件の連絡: 型式、用途、必要オプション、地域、予算、希望時期をお知らせください。
候補装置の確認: シリアル、構成、付属品、状態、提供可能な試験記録を確認します。
納入リスト確定: 装置、欠品、輸送、据付、設備、受入条件を見積書・契約書へ記載します。
現場引渡し: 到着、据付、通電、機能確認、残課題の記録を行います。
カード側ピン数: 現行プラットフォーム容量。v2 アーキテクチャ目標 300,000
ATEリソース: フル機能ATEフロントエンド
リレーマトリクス: モジュール式チャネル拡張
カード接続: Bridge Beam圧接構造
出荷・修理後の電気検査: Open、Short、Leakage、制御リソースを確認し、追跡可能な結果を作成します。
ATE投入前の確認: 生産testerを使用する前に、motherboard、チャネル、基本電気状態を確認します。
高チャネル化: 1,024チャネルモジュールを単位に、カードとラック構成に合わせて拡張します。
Open試験: 全ピン開放状態で全チャネルの導通を確認
Short試験: 全ピンをショートプレートに接触させチャネル間短絡を確認
Leakage試験: 全ピン対ピン測定、判定基準 10 nA
Control試験: MCW / FPGA / ASIC / I²C / SPI 制御リソースの検証
装置はそのうちの一区間にすぎません: その一台を見つけるところから、お客様のラインで動き出すまで、この四つの区間を当社が担います。

量産供給

12 · Advantest EVA100 ケーブル接続ステーション（Cable）

架台の上の小型筐体から、フラットケーブル 1 束をプローバへ

EVA100 はベンチトップ型のテストユニットです。

外形363×472×206 mm

質量8.2–19.4 kg

接続吊り下げ搭載またはケーブル

形態卓上テストユニット

動作のしくみ

ケーブル接続
針当て
デバイス試験
データ出力

当社が担う範囲

調達ドッキング方式（テストヘッド搭載かケーブル接続か）でプローバとの組み合わせを確認し、必要な接続部品まで含めて提示します。
輸送テストヘッド、キャビネット、ケーブル束を個別採番して輸送し、到着時の部品欠品を防ぎます。
整備ケーブル束と風路の整備、フィルタ交換を行い、通電自己診断の合格後に出荷します。
据付プローバと組み合わせて据付、ドッキングと通信を完了し、お客様のテストプログラムで一度実機確認します。

Advantest EVA100 アプリケーション・テストエンジニアリング

詳細仕様と工程

仕様

機種構成	E-Model エンジニアリング型；P-Model 量産型	テストユニットは E-Model 1 台；P-Model 最大 4 台
デジタルチャンネル	E-Model 128ch（DM64×2）；P-Model 256~1024ch	base rate 100 Mbps、ダブルクロック 200 MHz
Pattern memory	128 MW；SCAN チャンネルリンクで最大 2 GW	サブルーチン、フェイル解析、デジタルキャプチャ用メモリを含む
DM64 モジュールあたりのリソース	PPMU 64ch（−1.25~+7 V、±32 mA）；DPS 4ch（−6~+7 V、−400~+500 mA）；VPP 16ch 最大 13.5 V；TMU 8ch 最大 200 MHz	ほかに PDPS 64ch（−1.25~+7 V、±64 mA、並列動作）、CPMU、18 bit AWG/DGT、リファレンス電源
アナログソース・メジャーモジュール	AVI 6ch：±64 V または −32~+96 V、最大 ±500 mA；MVI 2ch：±128 V、電流測定最大 5 A；HVI 1ch：1000 V フローティング出力	AVI/MVI の電流測定最小分解能 62.5 pA
波形発生・取り込み	LF：AWG 200 ksps/24 bit、DGT 625 ksps/24 bit；HF：AWG 512 Msps/16 bit、DGT 250 Msps/16 bit	HF 正弦波 0.1 Hz~200 MHz、最大 6 Vpp、低歪み <−100 dB @ 1 MHz
オシロスコープ	SCAP 4ch：1 Gsps、帯域 500 MHz（PB 直結 50 Ω。BNC 1 MΩ 入力は 300 MHz）、チャンネルあたり 8000 サンプル	高速サンプリングモード 2 Gsps/2ch
プロトコル・インターフェース制御	I2C、SPI、JTAG と任意プロトコル；GCM 8ch、レジスタマップに基づきデバイスを制御	オプションで SENT、PSI5、CAN/CANFD/LIN に対応
電源・制御インターフェース	E-Model：100–240 V 単相、PCIe インターフェース；P-Model：200 V 単相、光ファイバーインターフェース	ACDC Box が 48 V DC でテストユニットに給電
寸法・重量	テストユニット Mini 220×472×206 mm / Standard 363×472×206 mm、約 8.2~19.4 kg	ACDC Box、AC-CONT、ワークステーションは別途
適用デバイス	MCU、小規模 FPGA/ASIC、標準ロジック、指紋 IC、デジタルセンサー、Flash、および LDO、DC-DC、オペアンプなどのアナログデバイス	デジタル・アナログモジュールは構成例に基づき組み合わせ
ソフトウェア	Measurement Atelier；オプションで System Software Pro、STILReader Plus、CATVert VCD と量産環境ツール	Windows 10、グラフィカルな開発・デバッグ
エンジニアリング納入	環境確認、インターフェースボード、テストプログラム、Golden sample、レポート、トレーニング	範囲は技術契約書で明確にします

根拠と納入実績

パラメータの出典	本ページのハードウェアパラメータは Advantest 公開カタログ「EVA100」（Bulletin No. EVA100-A11C、2020 年 1 月、簡体字中国語版）に基づきます。カタログには、製品仕様と外観は予告なく変更される場合があると記載されています。
自社開発と代理の境界	EVA100 は Advantest の製品です。Probing はその代理店・ディストリビューターとして、メカニカルインテグレーション、アプリケーションエンジニアリング、テストプログラム開発を担当します。
構成の確認	実際のボード、計測リソース、ソフトウェア機能は対象システムの実機構成に基づきます。納入範囲は技術契約書で定義します。

製品詳細を見る →

各項目の文章説明

Advantest EVA100 ケーブル接続ステーション（Cable）: 標準ユニットは 363 (W)×472 (D)×206 (H) mm、8.2–19.4 kg で、黒い筐体に前枠はマゼンタ、上面はオープンなカードケージになっています。プローバとの公式な接続方法は 2 通りあり、吊り下げ治具でテストユニットを head plate の直下に取り付ける方法と、本ステーションのようなケーブル接続です。後者ではテストユニットをプローバ脇の架台に置き、ユニット上面のパフォーマンスボード部から出したフラットケーブル束を、プローバのカードホルダに挿した Cable Connection PB へ接続します。当社は EVA100 をテストフロントエンドとして、ソケットおよびプローブカードの検査ソリューションを構築しています。本ステーションの EVA100 は UF200 とケーブルで接続しています。
機種: エンジニアリング開発型 / 量産型
デジタルチャンネル: 100 Mbps、ダブルクロック 200 MHz
ピンごとのリソース: DM64 モジュールあたり 64 チャンネル
アナログ・高圧: AVI · MVI · HVI モジュール
デバイステストプログラム開発: MCU、ロジック、PMIC、センサーなどのデバイスを対象に、仕様書、ボード、テストリソースからテスト項目と判定値を構築します。
エンジニアリング検証と故障解析: バーチャル計測器、シーケンス、Shmoo で電圧・電流・タイミング・マージンの問題を特定します。
CP/FT フロー移行: 装置リソース、インターフェースボード、テストプログラム、データ出力を整理し、検収可能な移行にまとめます。
システムとデバイスの棚卸し: EVA100 の構成、ボード、インターフェース、デバイス仕様、既存プログラムを確認します。
テスト項目とリソースのマッピング: 仕様項目を電源、デジタル、ミックスドシグナル、クロックの各リソースにマッピングします。
プログラム開発とデバッグ: シーケンス、タイミング、レベル、デバイスブロック、Shmoo で検証を完了します。
Golden sample と納入: 既知サンプルで結果を照合し、レポート、バージョン管理、現地トレーニングを完了します。
装置はそのうちの一区間にすぎません: その一台を見つけるところから、お客様のラインで動き出すまで、この四つの区間を当社が担います。

量産供給

13 · ポーラス金メッキチャックトップ

ウェーハが平坦に吸着しないなら、替えるのはチャックであって装置ではない

MOSFET 検査向けのポーラス金メッキチャックトップです。

真空孔3,000+

表面金めっき・溝なし

平坦度5 µm

適合APM90A・UF200 シリーズ

動作のしくみ

機種に合わせ製作
現地交換
吸着再確認
引き渡し

当社が担う範囲

調達装置のチャック取合いとデバイス工程に合わせて製作し、穴配置とめっきを用途で選定します。
輸送吸着面を個別保護し、検査記録を添付して出荷します。
整備稼働中のチャックも再生可能です。清掃、再めっき、平坦度の再測定を行います。
据付現地で交換し、吸着均一性と接触状態を再確認します。

多孔式金メッキチャックトップ

詳細仕様と工程

仕様

吸引孔数	3000孔以上の密集吸引孔	溝構造は用いません
表面処理	金メッキ	裏面導通と耐摩耗を両立
平坦度	5 μm	全面の指標
対応機種	東京精密ACCRETECH APM90A、UF200、UF200A、UF200Rシリーズ	機種寸法に合わせて製作
主な用途	MOSFETなど裏面導通デバイスの試験	その他はサンプルで確認
供給主体	上海雯澜貿易商行	装置本体の供給主体とは異なります

根拠と納入実績

出典	孔数、金メッキ、溝なし構造、平坦度5 μm、対応機種はいずれも多孔チャック製品資料に基づきます。
非公開項目	寿命、保持力、上限温度は資料に記載がなく、使用条件ごとに確認が必要です。
供給主体	本製品は上海雯澜貿易商行が供給し、プローブカード装置の供給主体とは異なります。

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各項目の文章説明

ポーラス金メッキチャックトップ: 3000 個以上の高密度な吸着孔、金メッキ表面、溝のない構造で、平坦度は 5 µm。東京精密（ACCRETECH）APM90A および UF200／UF200A／UF200R シリーズのチャックインタフェースに適合します。交換後は当社が吸着力、平坦度、温度分布を再確認し、装置全体の受け入れ検査に合わせて引き渡します。
吸引孔: 溝吸着に代わる方式
表面: 裏面導通と耐摩耗
構造: 全面接触
平坦度: 全面
MOSFETの裏面導通試験: デバイス裏面が全面で導通する必要があり、溝の位置で接触が欠けます。
既設機の消耗部品交換: 稼働中のAPM90AおよびUF200シリーズのチャック交換。
接触不良の切り分け: 不良が特定位置に集中する場合、まず保持面の平坦度と吸着の均一性を確認します。
機種の確認: APM90AかUF200シリーズかでチャック寸法とインターフェースを確定シリーズ間で互換はありません
デバイスの確認: 裏面導通の方式と接触要件を確認金メッキ面の要否を判断
製作と納入: 機種に合わせて製作し納入消耗部品として使用状況に応じて交換
装着と検証: 装着後に吸着の均一性と試験結果を確認実測の接触結果によります
装置はそのうちの一区間にすぎません: その一台を見つけるところから、お客様のラインで動き出すまで、この四つの区間を当社が担います。

同一システムの 1 / 4 ページ目 · UF200 情報化の結果

エンジニアリング機

14 · 生産ボード · 稼働概要

装置が持つ事実を、現場の壁に

このページは「いまどうなっているか」に答えます。

段階エンジニアリング試作機

接続外付け式、本体は無改造

データ取得設定カード + 稼働メモリ

誠実性ページ単位で出所等級を表示

動作のしくみ

読み取り専用
ページ単位
現場に表示
記録が残る

いま何が流れているかLOT / WAFER / DEVICE と装置状態を同一画面に表示し、装置前に行かずに把握できます
どこまで進んだかウェーハ進捗、測定済みダイ数、現在座標で残りが一目で分かります
調子はどうか歩留まり、スループット、実時間トレンドで異常が先に現れます
ユニット自体は健全か採取ユニットの温度と電源も表示し、データが途切れた原因を切り分けられます

実際の画面

実機のスクリーンショットです。内部識別子（アドレス、装置番号、内部コンポーネント名）はマスク処理しています。

プローバ情報ボックス

詳細仕様と工程

仕様

製品段階	エンジニアリング試作機、自社開発	ページごとにデータ出所の等級を表示
接続方式	外付け式の取得ユニット。装置の制御プログラムは改変しません	一方を装置に直結、一方を工場ネットワークへ。物理的に分離しています
画面と操作	装置画面を取得してブラウザに表示し、操作を返送できます	取得も返送も外部インターフェースで、装置のプログラムには入りません
ウェーハジオメトリ	サイズ、X/Yインデックス、行数と列数、有効ダイ数	装置の設定カードのスナップショットから読み出し
テストカウンタ	総数、測定済み、パス、フェイル、再測定、スキップ、マーキング	装置の稼働メモリから読み出し、リアルタイムと表示します
プローブカードカウンタ	累計タッチダウン回数と針クリーニング回数	装置の元パラメータを項目ごとに無損失でデコード
バーコード入力	USBバーコードスキャナを中継経由で装置本来のバーコードポートへ書き込み	プローバ用バーコードスキャナとLOT取り込みの項目を参照
データ出所の表示	各ページにリアルタイム / 装置設定スナップショット / ローカル設定 / オフライン / 設計参考の等級を表示	参考級のページは操作を自動で無効化します
モジュール誠実性規約	各モジュールが実装済み項目、推定しない項目、外部依存を宣言します	算出できない指標は明示的に宣言し、近似値は出しません
インターフェース言語	中国語 / 日本語 / 英語 / 韓国語	多言語の現場向け
ハードウェア形態	組込み演算ユニットと、画面取得および入出力の周辺機器で構成	具体的な構成と設置形態は現場で確認します

根拠と納入実績

段階の基準	すべてのページにデータ出所の等級を表示し、出所が確立できないページは値を埋めずに自動でロックします。ページ上の成熟度バッジは、まだエンジニアリング段階であることを示しています。
接続の範囲	取得は外付け式で、装置本体の制御プログラムは改変しません。読み出せる項目は機種とそのインターフェースによりますので、1台ごとに調査して確認します。
データの範囲	ページはデータ出所の等級で表示し、経路が確立していないモジュールはロックしたままにします。推定値を実測値の代わりに置くことはせず、本ユニットの役割はデータの取得と提示までで、工場システムへの報告を代行するものではありません。
能力の範囲	すべてのページにデータ出所の等級を表示し、出所が確立できないページは値を埋めずに自動でロックします。ページ上の成熟度バッジは、まだエンジニアリング段階であることを示しています。

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各項目の文章説明

生産ボード · 稼働概要: ボードに表示しているのはインフォメーションボックスの稼働概要ページです。現場が知りたい三つのこと——このロットは何を流しているか、どこまで進んだか、出来はどうか——を一画面にまとめています。LOT / WAFER / DEVICE と装置ステータス、ウェーハの進捗と測定済みダイ数、BIN 分布、ウェーハとレシピ、ボックス自身のヘルスを並べ、右側には装置のリアルタイム画面を同期表示します。数値はすべて装置自身のカウンタと設定から取得したもので、取得できなかった項目は一律 -- と表示し、推算も値の補完も行いません。現場の壁に掲げる数値は、問い詰められても持ちこたえられるものでなければならないからです。
段階: データ出所を等級で明示
接続: 一方は装置、一方は工場ネットワーク
データ取得: ジオメトリ、カウンタ、カード回数
誠実性: 出所が確認できなければロック
旧型機のデータ化: 現代的なデータインターフェースを持たない稼働中のプローバから、読み出せる稼働事実を取り出します。
プローブカード使用履歴の把握: プローブカードの累計タッチダウン回数と針クリーニング回数を読み出し、カード交換と洗浄の判断材料にします。
装置状態のリモート確認: 工場ネットワーク側から装置の画面と稼働カウンタを確認でき、装置まで足を運ぶ回数を減らせます。
機種とインターフェースの調査: 装置の型式、使用できるインターフェース、工場ネットワークの条件を確認します。
取得経路の検証: 設定カード、稼働カウンタ、バーコード経路が読み通せるかを一つずつ確かめます。
現場での試運転: 実際の生産タクトのもとで、データの内容と稼働の安定性を観察します。
納入内容の定義: 検証結果に基づき、取得範囲、設置形態、運用保守の方式を決めます。

同一システムの 2 / 4 ページ目 · UF200 情報化の結果

エンジニアリング機

15 · 生産ボード · UF200 リアルタイム画面

装置画面をそのままミラーリング

このページは「装置がいま何をしているか」に答えます。

段階エンジニアリング試作機

接続外付け式、本体は無改造

データ取得設定カード + 稼働メモリ

誠実性ページ単位で出所等級を表示

動作のしくみ

読み取り専用
ページ単位
現場に表示
記録が残る

そのまま鏡像ウェーハサイズ、フラット方向、INDEX X/Y、YIELD と GROSS を装置の表示のまま映します
アラームもそのまま装置自身が出すアラーム行を書き換えずにそのまま表示します
読み取り専用装置への書き込みや動作への介入は行いません
遠隔で確認装置の前に行かなくても、いま何をしているかが分かります

実際の画面

プローバ情報ボックス

詳細仕様と工程

仕様

製品段階	エンジニアリング試作機、自社開発	ページごとにデータ出所の等級を表示
接続方式	外付け式の取得ユニット。装置の制御プログラムは改変しません	一方を装置に直結、一方を工場ネットワークへ。物理的に分離しています
画面と操作	装置画面を取得してブラウザに表示し、操作を返送できます	取得も返送も外部インターフェースで、装置のプログラムには入りません
ウェーハジオメトリ	サイズ、X/Yインデックス、行数と列数、有効ダイ数	装置の設定カードのスナップショットから読み出し
テストカウンタ	総数、測定済み、パス、フェイル、再測定、スキップ、マーキング	装置の稼働メモリから読み出し、リアルタイムと表示します
プローブカードカウンタ	累計タッチダウン回数と針クリーニング回数	装置の元パラメータを項目ごとに無損失でデコード
バーコード入力	USBバーコードスキャナを中継経由で装置本来のバーコードポートへ書き込み	プローバ用バーコードスキャナとLOT取り込みの項目を参照
データ出所の表示	各ページにリアルタイム / 装置設定スナップショット / ローカル設定 / オフライン / 設計参考の等級を表示	参考級のページは操作を自動で無効化します
モジュール誠実性規約	各モジュールが実装済み項目、推定しない項目、外部依存を宣言します	算出できない指標は明示的に宣言し、近似値は出しません
インターフェース言語	中国語 / 日本語 / 英語 / 韓国語	多言語の現場向け
ハードウェア形態	組込み演算ユニットと、画面取得および入出力の周辺機器で構成	具体的な構成と設置形態は現場で確認します

根拠と納入実績

段階の基準	すべてのページにデータ出所の等級を表示し、出所が確立できないページは値を埋めずに自動でロックします。ページ上の成熟度バッジは、まだエンジニアリング段階であることを示しています。
接続の範囲	取得は外付け式で、装置本体の制御プログラムは改変しません。読み出せる項目は機種とそのインターフェースによりますので、1台ごとに調査して確認します。
データの範囲	ページはデータ出所の等級で表示し、経路が確立していないモジュールはロックしたままにします。推定値を実測値の代わりに置くことはせず、本ユニットの役割はデータの取得と提示までで、工場システムへの報告を代行するものではありません。
能力の範囲	すべてのページにデータ出所の等級を表示し、出所が確立できないページは値を埋めずに自動でロックします。ページ上の成熟度バッジは、まだエンジニアリング段階であることを示しています。

製品詳細を見る →

各項目の文章説明

生産ボード · UF200 リアルタイム画面: 装置本来の画面を読み取り専用でウェブとボードへミラーリングします。DEVICE、WAFER SIZE と FLAT DIR.、INDEX X/Y、YIELD と GROSS、LOT #、CHUCK HEIGHT、そして装置自身が出すアラーム行まで、すべてそのまま表示し、書き換えも見栄えの調整も行いません。執務室のエンジニアが見る画面と、装置の前に立つ作業者が見る画面が同一であるため、判断を読み替える手間が生じません。遠隔操作はオプション機能で、既定は読み取り専用です。まず見えるようにし、操作はその次、という順序をとっています。
段階: データ出所を等級で明示
接続: 一方は装置、一方は工場ネットワーク
データ取得: ジオメトリ、カウンタ、カード回数
誠実性: 出所が確認できなければロック
旧型機のデータ化: 現代的なデータインターフェースを持たない稼働中のプローバから、読み出せる稼働事実を取り出します。
プローブカード使用履歴の把握: プローブカードの累計タッチダウン回数と針クリーニング回数を読み出し、カード交換と洗浄の判断材料にします。
装置状態のリモート確認: 工場ネットワーク側から装置の画面と稼働カウンタを確認でき、装置まで足を運ぶ回数を減らせます。
機種とインターフェースの調査: 装置の型式、使用できるインターフェース、工場ネットワークの条件を確認します。
取得経路の検証: 設定カード、稼働カウンタ、バーコード経路が読み通せるかを一つずつ確かめます。
現場での試運転: 実際の生産タクトのもとで、データの内容と稼働の安定性を観察します。
納入内容の定義: 検証結果に基づき、取得範囲、設置形態、運用保守の方式を決めます。

同一システムの 3 / 4 ページ目 · UF200 情報化の結果

エンジニアリング機

16 · 生産ボード · 外付けウェーハマップ

ウェーハ 1 枚分のダイマップとリンク状態を 1 画面で

このページは「ウェーハ全面の結果と各経路の接続」に答えます。

段階エンジニアリング試作機

接続外付け式、本体は無改造

データ取得設定カード + 稼働メモリ

誠実性ページ単位で出所等級を表示

動作のしくみ

読み取り専用
ページ単位
現場に表示
記録が残る

ウェーハ全面を再現index X/Y とグリッドサイズからダイマップを描き出します
左列で運転を見るレシピ、ロット進捗、BIN カウントを PASS / FAIL / RETEST に分けて表示します
右列で経路を見る工場自動化、ホスト、搬送、生産、歩留まりの各経路の接続状態を個別に表示します
一画面を班全体で現場の壁に掛けて共有でき、小さな装置画面に人が集まる必要がありません

実際の画面

プローバ情報ボックス

詳細仕様と工程

仕様

製品段階	エンジニアリング試作機、自社開発	ページごとにデータ出所の等級を表示
接続方式	外付け式の取得ユニット。装置の制御プログラムは改変しません	一方を装置に直結、一方を工場ネットワークへ。物理的に分離しています
画面と操作	装置画面を取得してブラウザに表示し、操作を返送できます	取得も返送も外部インターフェースで、装置のプログラムには入りません
ウェーハジオメトリ	サイズ、X/Yインデックス、行数と列数、有効ダイ数	装置の設定カードのスナップショットから読み出し
テストカウンタ	総数、測定済み、パス、フェイル、再測定、スキップ、マーキング	装置の稼働メモリから読み出し、リアルタイムと表示します
プローブカードカウンタ	累計タッチダウン回数と針クリーニング回数	装置の元パラメータを項目ごとに無損失でデコード
バーコード入力	USBバーコードスキャナを中継経由で装置本来のバーコードポートへ書き込み	プローバ用バーコードスキャナとLOT取り込みの項目を参照
データ出所の表示	各ページにリアルタイム / 装置設定スナップショット / ローカル設定 / オフライン / 設計参考の等級を表示	参考級のページは操作を自動で無効化します
モジュール誠実性規約	各モジュールが実装済み項目、推定しない項目、外部依存を宣言します	算出できない指標は明示的に宣言し、近似値は出しません
インターフェース言語	中国語 / 日本語 / 英語 / 韓国語	多言語の現場向け
ハードウェア形態	組込み演算ユニットと、画面取得および入出力の周辺機器で構成	具体的な構成と設置形態は現場で確認します

根拠と納入実績

段階の基準	すべてのページにデータ出所の等級を表示し、出所が確立できないページは値を埋めずに自動でロックします。ページ上の成熟度バッジは、まだエンジニアリング段階であることを示しています。
接続の範囲	取得は外付け式で、装置本体の制御プログラムは改変しません。読み出せる項目は機種とそのインターフェースによりますので、1台ごとに調査して確認します。
データの範囲	ページはデータ出所の等級で表示し、経路が確立していないモジュールはロックしたままにします。推定値を実測値の代わりに置くことはせず、本ユニットの役割はデータの取得と提示までで、工場システムへの報告を代行するものではありません。
能力の範囲	すべてのページにデータ出所の等級を表示し、出所が確立できないページは値を埋めずに自動でロックします。ページ上の成熟度バッジは、まだエンジニアリング段階であることを示しています。

製品詳細を見る →

各項目の文章説明

生産ボード · 外付けウェーハマップ: 外付け大型ディスプレイの画面です。左列にレシピ、稼働状況、BIN カウント、中央には index X/Y とグリッドサイズからウェーハ 1 枚分のダイマップを再構成し、右列に FAB AUTO、HOST AUTO、物流、生産、歩留まりの各リンクの状態を並べます。ウェーハ全面の分布とリンクの状態を同一画面に置くことで、異常の原因が工程側にあるのかインタフェース側にあるのかを一目で切り分けられます。接続されていないリンクは一律 NOT CONNECTED と表示し、アダプタ側には READ ONLY と明記します。見栄えのために、接続されていないものをオンラインとして表示することはありません。
段階: データ出所を等級で明示
接続: 一方は装置、一方は工場ネットワーク
データ取得: ジオメトリ、カウンタ、カード回数
誠実性: 出所が確認できなければロック
旧型機のデータ化: 現代的なデータインターフェースを持たない稼働中のプローバから、読み出せる稼働事実を取り出します。
プローブカード使用履歴の把握: プローブカードの累計タッチダウン回数と針クリーニング回数を読み出し、カード交換と洗浄の判断材料にします。
装置状態のリモート確認: 工場ネットワーク側から装置の画面と稼働カウンタを確認でき、装置まで足を運ぶ回数を減らせます。
機種とインターフェースの調査: 装置の型式、使用できるインターフェース、工場ネットワークの条件を確認します。
取得経路の検証: 設定カード、稼働カウンタ、バーコード経路が読み通せるかを一つずつ確かめます。
現場での試運転: 実際の生産タクトのもとで、データの内容と稼働の安定性を観察します。
納入内容の定義: 検証結果に基づき、取得範囲、設置形態、運用保守の方式を決めます。

同一システムの 4 / 4 ページ目 · UF200 情報化の結果

エンジニアリング機

17 · 生産ボード · SECS/GEM · EAP インタフェース

EAP につながるかどうかを、先にはっきりさせる

このページは「自動化が本当につながるか」に答えます。

段階エンジニアリング試作機

接続外付け式、本体は無改造

データ取得設定カード + 稼働メモリ

誠実性ページ単位で出所等級を表示

動作のしくみ

読み取り専用
ページ単位
現場に表示
記録が残る

装置側に何があるかを検証ネイティブの GEM / HSMS プログラム、データ辞書、稼働ログを直接確認します
外部と装置側を分けて表示外部ホストの設定と現在のセッション状態を別欄に分け、未接続が一目で分かります
ホップごとに状態表示EAP / MES → HSMS → GEM → 装置の各ホップを個別に表示し、誤接続を稼働前に発見します
三つの作業モード設計、検証、シャドウを分け、確認してから本番に進めます

実際の画面

プローバ情報ボックス

詳細仕様と工程

仕様

製品段階	エンジニアリング試作機、自社開発	ページごとにデータ出所の等級を表示
接続方式	外付け式の取得ユニット。装置の制御プログラムは改変しません	一方を装置に直結、一方を工場ネットワークへ。物理的に分離しています
画面と操作	装置画面を取得してブラウザに表示し、操作を返送できます	取得も返送も外部インターフェースで、装置のプログラムには入りません
ウェーハジオメトリ	サイズ、X/Yインデックス、行数と列数、有効ダイ数	装置の設定カードのスナップショットから読み出し
テストカウンタ	総数、測定済み、パス、フェイル、再測定、スキップ、マーキング	装置の稼働メモリから読み出し、リアルタイムと表示します
プローブカードカウンタ	累計タッチダウン回数と針クリーニング回数	装置の元パラメータを項目ごとに無損失でデコード
バーコード入力	USBバーコードスキャナを中継経由で装置本来のバーコードポートへ書き込み	プローバ用バーコードスキャナとLOT取り込みの項目を参照
データ出所の表示	各ページにリアルタイム / 装置設定スナップショット / ローカル設定 / オフライン / 設計参考の等級を表示	参考級のページは操作を自動で無効化します
モジュール誠実性規約	各モジュールが実装済み項目、推定しない項目、外部依存を宣言します	算出できない指標は明示的に宣言し、近似値は出しません
インターフェース言語	中国語 / 日本語 / 英語 / 韓国語	多言語の現場向け
ハードウェア形態	組込み演算ユニットと、画面取得および入出力の周辺機器で構成	具体的な構成と設置形態は現場で確認します

根拠と納入実績

段階の基準	すべてのページにデータ出所の等級を表示し、出所が確立できないページは値を埋めずに自動でロックします。ページ上の成熟度バッジは、まだエンジニアリング段階であることを示しています。
接続の範囲	取得は外付け式で、装置本体の制御プログラムは改変しません。読み出せる項目は機種とそのインターフェースによりますので、1台ごとに調査して確認します。
データの範囲	ページはデータ出所の等級で表示し、経路が確立していないモジュールはロックしたままにします。推定値を実測値の代わりに置くことはせず、本ユニットの役割はデータの取得と提示までで、工場システムへの報告を代行するものではありません。
能力の範囲	すべてのページにデータ出所の等級を表示し、出所が確立できないページは値を埋めずに自動でロックします。ページ上の成熟度バッジは、まだエンジニアリング段階であることを示しています。

製品詳細を見る →

各項目の文章説明

生産ボード · SECS/GEM · EAP インタフェース: 自動化接続で最も高くつくのは、インタフェースそのものではなく、誤った前提でつないだことに後から気づくことです。このページは装置本来の GEM/HSMS プログラム、データディクショナリ、稼働ログを直接検証し、外部 Host の設定と現在のセッション状態を分けて表示します。プロトコルのトポロジ上では、EAP/MES、HSMS、GEM と装置側のそれぞれに「証拠あり / 推定待ち / 遮断または異常」を表示し、証拠がなければ結論は出しません。まず、確実に確認できるインタフェースの範囲を切り分けます。AMHS、E84、AGV/OHT などの自動化連携はアップグレードパッケージ側の接続能力であり、当工場に天井搬送（OHT）は配備していません。
段階: データ出所を等級で明示
接続: 一方は装置、一方は工場ネットワーク
データ取得: ジオメトリ、カウンタ、カード回数
誠実性: 出所が確認できなければロック
旧型機のデータ化: 現代的なデータインターフェースを持たない稼働中のプローバから、読み出せる稼働事実を取り出します。
プローブカード使用履歴の把握: プローブカードの累計タッチダウン回数と針クリーニング回数を読み出し、カード交換と洗浄の判断材料にします。
装置状態のリモート確認: 工場ネットワーク側から装置の画面と稼働カウンタを確認でき、装置まで足を運ぶ回数を減らせます。
機種とインターフェースの調査: 装置の型式、使用できるインターフェース、工場ネットワークの条件を確認します。
取得経路の検証: 設定カード、稼働カウンタ、バーコード経路が読み通せるかを一つずつ確かめます。
現場での試運転: 実際の生産タクトのもとで、データの内容と稼働の安定性を観察します。
納入内容の定義: 検証結果に基づき、取得範囲、設置形態、運用保守の方式を決めます。

本ページは中古装置のオーバーホール、改造および納入サービスについて記載しています。本文中のメーカー機種名は当社が対応可能な装置の範囲を示すためのものであり、メーカーによる許諾、認証または推奨を受けていることを示すものではありません。改造とオーバーホールは当社が実施し、相応の責任も当社が負います。工場のシーンは実機と実際の画面をもとにしたイメージ再現であり、天井搬送（OHT）はアップグレードパッケージが接続しうる AMHS 物流を表すもので、当工場の設備ではありません。バーコードリーダーとインフォメーションボックスに関する内容は当社の自社開発案件であり、それぞれの進行段階はページ上のバッジのとおりです。

ご希望の機種をお知らせください

機種、ウェーハサイズ、テスタプラットフォームをお知らせいただければ、お引き受けできる範囲をご返信します。

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