APM90A(TSK 8 インチ)
東京精密の8インチ全自動プローバで、1994〜1997年に多数が設置されました。
- ウェーハ径
- 4–8インチ
- 総合精度
- 5µm 以内
- インデックス時間
- 250ms
- 本体質量
- 約 750kg
実際の機種に基づいてモデル化しています。北側にプローバ6台、南側にテスタのドッキング4か所、壁面の生産ボード4枚は情報ボックスの実画面です。
ドラッグで回転 · スクロールでズーム · 装置または生産ボードをクリックで表示
東京精密の8インチ全自動プローバで、1994〜1997年に多数が設置されました。
1998年以降に設置されたTSKの8インチ主力機で、UF200A標準仕様で全体を整備しています。
バーコードリーダーが中継器経由でLOTを装置標準のバーコードインタフェースに書き込み、検証に通らない場合は送信しません。
装置の外側に取り付け、生産数、プローブカードの累積接触回数、ウェーハ形状情報を読み出します。
2005年以降のACCRETECH 12インチ機で、8インチと12インチのウェーハに対応します。
UF3000シリーズの中で、多ピン・大接触力のプローブカード向けの機種です。
上部のブリッジビームは取り外せないため、プローブカードと治具の方式はこの制約に合わせて設計します。
この工程は当社のプローブカードと治具のサービス対象で、装置本体は供給品目に含まれません。
東京エレクトロンの12インチ機で、2004年前後に設置されました。
テストヘッドを下向きに反転させ、プローバのヘッドプレートにドッキングします。
当社が供給する93000 PS400構成は全体を整備し、1年間の保証を付けます(2023年の供給条件による)。
メモリテスタで、テストヘッドを下向きにしてプローバのヘッドプレートに押し当てます。
このプラットフォーム向けに、32 TOM構成を含むマザーボード / WMBを自社開発しています。
エレクトロニクスが本体に統合されており、K52インタフェースでプローブカードに直接接続します。
販売と保守の範囲にMagnum 5を含み、自社開発のプローブカード試験方式もこのプラットフォームに対応しています。
卓上型の試験ユニットをラックに置き、フラットケーブル1本でプローバに接続します。
当社はEVA100を試験フロントエンドとして使い、ソケットとプローブカードの試験方式を構築します。
3,000個以上の吸着孔を密に配置し、表面は金メッキで溝がなく、平坦度は5 µmです。
同じ画面で、このロットが何を処理し、どこまで進み、どのような状態かを確認できます。

装置標準の画面を読み取り専用でWebページと生産ボードにミラーリングします。

ウェーハ全体のダイマップと各リンクの状態を同じ画面に表示します。

装置標準のGEM / HSMSプログラムを確認し、まず確認できるインタフェースの範囲を切り分けます。

装置本体は改造せず、装置の外側に制御システム、バーコード入力、データの層を追加します。デスクトップのブラウザでは、工場上部の視点ボタンでプローバ、ドッキングエリア、生産ボードの前へ直接移動して見渡せます。
APM90AとUF200シリーズの制御システムを入れ替え、1ウェーハあたり25万ダイに対応します。
イメージモデル装置の外側に取り付け、生産数、プローブカードの累積接触回数、ウェーハ形状情報を読み出します。
イメージモデル読み取り値を中継器経由で装置標準のバーコードインタフェースに書き込みます。LOT検証の上限は18文字です。
イメージモデル · 吸着孔は省略3,000個以上の吸着孔、金メッキで溝なし。APM90AとUF200シリーズに適合します。
北側に8 / 12インチのプローバ6台。整備品は1台ずつシリアル番号、構成、状態を確認してから納入します。在庫は約100台です(2026年8月時点)。
イメージモデル東京精密UF200の前世代機で、1994〜1997年に多数が設置されました。
イメージモデル無錫の整備拠点でUF200A標準仕様に全体を整備し、全機能を有効にします。
イメージモデル全体の整備、パラメータの再確認、現地設置を行います。常温と高低温の構成があります。
イメージモデルチャック力は標準300 kgf、高剛性構成450 kgfで、見積前に1台ずつ確認します。
イメージモデルチャック力は標準80 kgf、P-12XLnは100 kgfです。お問い合わせの際は仕様区分を先にご確認ください。
イメージモデルプローブカードと治具のサービス対象で、装置本体は供給品目に含まれません。
南側の4か所で、テスタをそれぞれプローバにドッキングまたはケーブルで接続します。
イメージモデル93000 PS400構成を全体整備し、1年間の保証を付けます。
イメージモデルこのプラットフォーム向けに、32 TOM構成を含むマザーボード / WMBを自社開発しています。
イメージモデル販売と保守を行い、自社開発のプローブカード試験方式もこのプラットフォームに対応しています。
イメージモデル試験フロントエンドとして使い、ソケットとプローブカードの試験方式を構築します。
このページで紹介しているのは、中古装置の整備・改造・納入サービスです。本文中のメーカー機種名は当社が対応可能な装置の範囲を示すためのものであり、メーカーによる許諾、認証または推奨を受けていることを示すものではありません。改造とオーバーホールは当社が実施し、相応の責任も当社が負います。工場は実際の機種と実画面に基づくイメージ場面で、天井搬送(OHT)はアップグレード案が接続できるAMHSの物流を表しており、この工場の構成には含まれません。バーコードスキャナと情報ボックスに関する内容は当社の自社開発プロジェクトで、それぞれの段階はページ上のバッジのとおりです。
壁面の4枚のボードは情報ボックスの実画面です。数値はすべて装置自身のカウンタと設定から取得し、取得できなかった項目は--と表示して、推定も補完もしません。

機種に応じて、対応可能な範囲と方式をご回答します。