한쪽은 MEMS 프로브 카드의 제조와 검증, 다른 한쪽은 UF200 인포메이션 박스에서 출발해 가동 중인 프로버에 정보화와 EAP 인터페이스를 더하고 현대화 개조와 중고 장비로 이어집니다. 각 라인에는 클릭할 수 있는 작업장이 있습니다.
프로브 카드의 비용은 구매 시점에서 끝나지 않습니다. 조립의 일관성, 세정 후 잔류물, 보관 환경, 테스트 판정 기준 가운데 어느 한 구간에 해당 장비가 없으면 그 문제는 양산에 들어가서야 드러납니다. 이 MEMS 프로브 카드 제조·검증 클린룸은 실제 공정 베이를 기준으로 라인 전체를 재현하고, 어느 구간을 당사 장비가 맡고 어느 구간을 전문 업체가 담당하는지를 표시했습니다. 장비를 클릭하면 확대되어 작업 방식과 해당 제품을 볼 수 있으며, 룸 양끝은 입고와 출하 구역입니다.
UF200 은 1990년대의 장비이고, UF3000 은 2000년대의 장비입니다. 이들 장비가 출하되던 당시의 생산 라인에는 바코드·QR 코드 스캔, RFID 인수인계, MES 와 EAP 접속 같은 요구가 아직 없었습니다. 장비가 고장 난 것이 아니라, 그 시대에 태어난 것입니다. 오늘날 이러한 요구는 현대 fab 과 OSAT 에 들어가기 위한 문턱이 되었고, 아직 충분히 일할 수 있는 장비가 그 때문에 통째로 교체되는 일이 적지 않습니다. 당사의 방식은 노후 장비를 다시 현역으로 되돌리는 것, 즉 폐기가 아니라 업그레이드입니다. UF200 인포메이션 박스를 중심에 두고 소프트웨어에서 하드웨어까지 한 세트로 이 층을 채웁니다. 장비 본체는 개조하지 않고, 장비가 이미 알고 있는 사실을 읽어내어 공장의 시스템으로 넘기는 방식입니다. 그 위에서 스캔과 로트 추적, EAP 와 자동화 물류, 현대화 공장 개조로 범위를 넓히고, 중고 프로버·테스터·부품의 정비 공급을 그 바탕으로 삼습니다. 실제 기종을 기준으로 모델링한 이 CP 작업장이 바로 이러한 방식이 놓이는 자리입니다. 벽의 현황판 4개는 인포메이션 박스의 실제 화면이고, 북쪽 프로버 6대와 남쪽 도킹 스테이션 4곳은 당사가 맡을 수 있는 범위를 나타냅니다. 장비나 현황판을 클릭하면 해당 장비에서 당사가 무엇을 하는지 아래에 표시됩니다.
NAND / NOR / DRAM에서 HBM까지 웨이퍼 전면을 한 번에 접촉하는 방식은 같고 핀 수는 스무 배 가까이 차이 납니다. 척 하중과 PCT5801v2 아키텍처는 상단 기준으로 설계하며 현행 PCT5801 구성은 67,000핀입니다. 여기서 말하는 것은 카드 쪽 핀 수로, 사양에 나오는 테스터 채널 수와는 다른 양입니다.
프로브, 기판, 지그, 비전 정렬, 레시피와 조립 후 검사로 작업 스테이션을 구성합니다.
프로브, 기판과 공정에 맞춰 고정, 기준과 교체 방식을 설계.
니들 위치, 공정 이미지와 이상 위치 확인.
작업 지시, 자재, 작업자, 버전과 결과 저장.
AOI, XYZ, Pin Force와 전기 검사 연계.
고채널 전기 테스트와 하중·팁 XYZ·접촉 상태 검사를 하나의 공정으로 구성합니다.
도통·쇼트·nA급 누설을 판정 기준 10 nA 로 검사. 소요 시간은 기술 사양서에서 약정합니다.
MCW, Relay, FPGA, ASIC, SPI, I²C.
1,024채널 모듈을 motherboard와 tester에 맞춰 조합.
하중, 팁 XYZ, 프로브 마크와 접촉 상태로 전기 이상 확인.
IPA 분무, 제어 브러싱, 청정 가스와 3방향 이미지 검사를 레시피로 관리합니다.
카드에 맞춰 공급 범위와 조건 설정.
브러시, 동작, 접촉과 횟수 관리.
재검사·전기 테스트 전 상태 안정화.
이미지, 판정과 재세정 이력 저장.
환경 제어, RFID와 공장 시스템으로 입고, 출고, 반납과 재고를 관리합니다.
질소, ESD, 온습도와 경보를 카드·설비 조건에 맞춰 설정.
카드 ID, 위치, 상태와 이동 이력 연결.
지시, 상태, 이상과 감사 이력 연계.
수동, AMR, 로봇과 OHT 지원.
고핀수 소켓 테스트, EVA100 애플리케이션과 중고 반도체 장비도 지원합니다.
Advantest EVA100을 테스트 프런트엔드로 삼아 릴레이 매트릭스와 전용 마더보드로 확장하는 소켓 테스터. 고핀수 패키지 소켓의 오픈, 쇼트, 누설, 핀별 접촉 저항을 검사합니다.
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Advantest EVA100 디지털·믹스드 시그널 테스트 시스템: E-Model/P-Model, 128~1024 디지털 채널, 핀별 PPMU/PDPS, 1000 V 고전압 모듈과 500 MHz 오실로스코프. Probing이 애플리케이션 엔지니어링과 테스트 프로그램 개발을 제공합니다.
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ASML 노광기, Accretech/TEL 프로버, Advantest ATE 등의 장비 선정, 구성 확인, 운송과 설치를 지원합니다.
상세 정보 보기적용 분야, 주요 사양, 운영 절차, 프로젝트 진행, 구성과 인수 조건을 제공합니다.