PCT5801高チャネルプローブカード電気試験システム

高チャネル電気試験と物理検証

メモリ用プローブカード試験システム

NAND、NOR、DRAM、HBM向けプローブカードを対象に、PCT5801による電気試験とDeepTouch1000による針先・荷重検査を一つの工程にまとめます。tester、prober、motherboardとの接続を含め、製造後や修理後の確認から異常解析まで対応します。

現行の高チャネル構成は16,384チャネルです。motherboardとインターフェースはカード仕様に合わせて設計します。
標準構成16,384 チャネル
リーク試験nA級
測定時間の目安Open / Short / Leakage / 制御 / TDR
システム構成PCT5801 + DeepTouch
各項目の文章説明
標準構成
テスタチャネルの標準構成。最大構成 65,536
リーク試験
レンジと判定値はカード仕様に合わせて設定
測定時間の目安
所要時間はピン数と構成により、技術仕様書で取り決めます
システム構成
電気異常を針先位置・荷重・接触状態と照合
装置・エンジニアリングソリューション

適用分野

プローブカードの製造、試験、保守における主な適用分野です。

出荷・修理後の確認

HBMワンタッチダウン評価

電気異常の原因解析

各項目の文章説明
出荷・修理後の確認
Open、Short、Leakage、制御リソース、インターフェースを検査し、結果をカード単位で保存します。
HBMワンタッチダウン評価
高ピン数motherboardとtester/prober構成に合わせ、チャネル割り当てとワンタッチダウン動作を確認します。
電気異常の原因解析
異常チャネルを特定し、針先XYZ、荷重、針痕、接触状態の結果と照合します。
SPECIFICATIONS

主な仕様

最終構成は、カード、インターフェース、設置条件、受入項目に合わせて決定します。

対象NAND、NOR、DRAM、HBMHBM構成はカード、motherboard、tester仕様に合わせて設計
基本試験Open、Short、nA級Leakageレンジ、判定値、測定ポイントは技術仕様書で確定
制御リソースMCW、Relay、FPGA、ASIC、SPI、I²Cボードとtesterインターフェースに応じて選択
高速・波形項目PBDATA、TDR、AC対応ハードウェアを含むオプション構成
チャネル規模標準 16,384 チャネル、最大構成 65,53660k DRAM / 300k HBM はカード側ピン数の拡張構成(チャネル数ではありません)。対象カードごとに個別検討
代表的な測定時間Open / Short / Leakage / 制御 / TDR所要時間はピン数と構成により、技術仕様書で取り決めます
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項目仕様・構成補足
testerT5830、T5833、M5、V93000 P16など現場のtesterとmotherboard仕様を確認
proberUF3000 / UF3000ex 与 TEL P-12XL機械・電気・自動化インターフェースを個別設計
WORKFLOW

運用フロー

  1. 01

    カードと接続条件の確認

  2. 02

    電気試験

  3. 03

    物理検査

  4. 04

    報告と再試験

各項目の文章説明
カードと接続条件の確認
カード種類、ピン数、tester、prober、motherboard、制御リソース、受入項目を整理します。
電気試験
Open、Short、Leakage、MCW、制御項目と選択した高速項目を実行し、元データを保存します。
物理検査
異常位置について針先XYZ、荷重、針痕、接触状態を確認します。
報告と再試験
設定版数、試験結果、処置内容、再試験結果をまとめ、FAT/SATに使用します。
FAT / SAT

導入プロセス

01

サンプル評価

02

技術仕様書

03

FAT

04

SAT

各項目の文章説明
サンプル評価
対象、インターフェース、現状、不良モード、評価用サンプルを確認します。
技術仕様書
装置構成、測定方法、判定値、タクト、データ連携、責任範囲を確定します。
FAT
合意したサンプルで機能、繰返し精度、報告書、異常処理を確認します。
SAT
現場接続、教育、上流・下流インターフェース、残課題の対応を完了します。
CONFIGURATION

構成・受入条件

システム構成、選択機能、受入条件を以下に示します。

導入実績

2026年8月時点で 30 台のシステムを設置済み(中国本土・韓国)。

拡張方針

16,384 チャネルが標準構成、最大構成は 65,536。60k DRAM / 300k HBM はカード・motherboard・テスタインタフェースに合わせて個別設計します。

受入条件

チャネル数、レンジ、判定値、インターフェース、測定時間は技術仕様書とFAT/SAT項目で確定します。

カード仕様と接続条件をお知らせください

サンプル、既存装置、現在の課題、目標タクトをお送りください。1営業日以内に受領をご連絡します。