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测试验证

PCT5801 与 DeepTouch1000 做整卡电测与压合。

卡盘力 1,000 kgf · 满载实测

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PCT5801 与 DeepTouch1000 合体机模型 示意模型

高针数探针卡的整卡验证

从 NAND、DRAM 到 HBM，整片一次扎针所需的针数差了将近二十倍。高针数卡在 UF3000、P-12XL 等通用探针台上受卡盘力限制。ATE、继电器矩阵、母板与探针卡任何一环不匹配，整卡测试都无法完成。

PCT5801 做端到端电性检查，覆盖开路、短路、漏电（判定基准 10 nA）、控制资源与 TDR。DeepTouch1000 以 1,000 kgf 卡盘力完成整卡压合，并做针尖三维检测。两台组成合体机时，异常通道直接对到卡上坐标。母板按测试机平台 ODM 设计，PSTA20K 把同一套架构用在封装插座上。

从测试机到卡盘，一条通路

测试机经继电器矩阵和母板接到探针卡，探针台卡盘从下方整卡压合。蓝色部分由 Probing 供货。

测试通路示意：PCT5801 的 ATE 经继电器矩阵和适配母板接到探针卡，探针卡装在 DeepTouch1000 的 head plate 上，卡盘从下方整卡压合 Probing 供货 被测探针卡 ATE 继电器矩阵 适配母板 head plate 探针卡 整卡压合 卡盘 DeepTouch1000 PCT5801 测试系统 ATE 256 pin/unit × 最多 4 unit 继电器矩阵 1,024 ch/片 × 最多 64 片 测试机通道 标配 16,384，最大 65,536 被测探针卡 垂直、悬臂与 MEMS 探针卡 卡侧 67,000 pin · 当前平台 探针卡适配母板 ZIF / POGO 触点环压接探针卡 适配 T5830、T5833、M5、V93000 最高 4,000 pin · V93000 配置 DeepTouch1000 探针台 卡盘力 1,000 kgf · 满载实测 满载 Z 轴直线度 < 0.2 µm 针尖 XYZ 三维检测 相互对应，用于定位和复验 PCT5801 异常通道坐标 DeepTouch1000 针尖 XYZ 与负载
示意图：按 PCT5801 与 DeepTouch1000 合体机绘制，比例不按实物。通道数与针数的口径见术语与口径。左右滑动可看完整图。

设备

DeepTouch1000 探针卡专用探针台渲染图渲染图
量产

DeepTouch1000 探针卡专用探针台

以 1,000 kgf 卡盘力完成整卡压合，并做针尖 XYZ 三维检测。

卡盘力 · 满载实测
1,000kgf
满载 Z 轴直线度
< 0.2µm
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探针卡适配母板接触区：环形压合面与按通道分组的接触件接触区 · 实拍
量产

探针卡适配母板

按测试机平台与卡型 ODM 设计制造，接触结构与走线一起交付。

最高通道 · V93000 配置
4,000pin
测试覆盖 · T5833 FULL
DC + TDR
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PSTA20K 插座测试机主机设备类别视觉
量产

PSTA20K 插座测试机

在处理器装机前，逐针检查封装插座的开路、短路、漏电与接触电阻。

插座通道 · 产品定位
5,000通道以上
电流分辨率 · 500 nA 量程
0.1nA
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在研

  • 在研ECP1010 IC 基板检测机 →埋入式芯片 PCB 的全自动电性测试：自动上下料、视觉对位、压合接触与内嵌 ATE。
  • 在研CMOS 图像传感器测试方案 →基于 Advantest EVA100，每个工位一块 APU 图像处理板，算法在工位本地执行。EVA100 是 Advantest 的产品，Probing 是其代理与分销商并负责机械集成。

文中出现的原厂机型名称（UF3000、P-12XL、T5830、T5833、M5、V93000、EVA100），用于界定可承接的设备范围，不代表获得相应厂商的授权、认证或背书。

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存储器探针卡测试系统PCT5801 与 DeepTouch1000 组成的整套方案：NAND、NOR、DRAM 与 HBM 探针卡，标配 16,384 通道。 植针装配取针、矫正与激光微焊接，焊后检测与 PCT5801、DeepTouch1000 组成闭环。 技术与应用NAND、DRAM 与 HBM 探针卡的针数规模。

把卡型、接口和目标交给工程团队

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