测试验证PCT5801 · DeepTouch1000 · 母板 · PSTA20K
植针装配植针与激光微焊接
清洗复检清洗与三方向复检
智能存储存储与追溯
探针台服务信息盒 · uP200A · 二手设备
针卡车间MEMS 探针卡制造与验证 · 21 个工位
CP 车间探针台、测试机对接与老机台改造 · 17 个工位APM90A（TSK 8 英寸）
东京精密 8 英寸全自动探针台，1994–1997 年间批量装机。
- 片径
- 4–8英寸
- 综合精度
- 5µm 以内
- 索引时间
- 250ms
- 整机重量
- 约 750kg
CP 车间
按真实机型建模：北排 6 台探针台，南排 4 个测试机对接工位，墙上 4 块看板是信息盒的真实画面。
Probing 产品
量产 1
工程化 1
在研 5
第三方机台
整备供货 6
服务机型 3
代理 1
拖动旋转 · 滚轮缩放 · 点击设备或看板查看
UF200（TSK 8 英寸）
1998 年之后装机的 TSK 8 英寸主力机，按 UF200A 标准整机翻新。
- 片径
- 5 / 6 / 8英寸
- 综合精度
- 5µm
- 启动时间
- 约 70秒
- 单片管芯
- 最大 10万颗
UF200 扫码枪与 LOT 接入
扫码枪经中继把 LOT 写入机台原生条码接口，校验不过不发送。
- 接入
- 原生条码接口
- LOT 校验
- 18字符上限
- 抽取规则
- 正则按现场条码配置
- 机台程序
- 不动
探针台信息盒
外挂在机台之外，读出产量、针卡累计触点与晶圆几何。
- 接入
- 外挂不改本体
- 取数
- 配置卡+ 运行内存
- 画面
- 4页看板
- 来源
- 逐页标注等级
UF3000（ACCRETECH 8/12 英寸）
2005 年之后的 ACCRETECH 12 英寸机型，兼容 8 与 12 英寸晶圆。
- 片径
- 200 / 300mm
- 综合精度
- ±2µm · 公开资料
- 承载台温控
- −40…200°C · 多档
- 平台
- 2002年起
UF3000ex（ACCRETECH 12 英寸）
UF3000 同系列中面向高针数、大接触力探针卡的一档。
- 卡盘力 · 标配
- 300kgf
- 卡盘力 · 高刚性
- 450kgf
- 综合精度
- ±1µm · 公开资料
- 整机重量
- 约 1,650kg
AP3000（ACCRETECH 12 英寸）
机顶 bridge beam 不可拆除，针卡与治具方案按这条边界设计。
本工位是我们的针卡与治具服务对象，机台本身不在供货清单内。
P-12XL（TEL 12 英寸）
东京电子 12 英寸平顶机，2004 年前后装机。
- 片径
- 300 / 200mm
- 综合精度
- X/Y ±4µm · 公开资料
- 卡盘力 · 标配
- 80kgf
- 整机重量
- 约 1,640kg
Advantest V93000 对接位（Docking）
测试头翻转向下，硬对接到探针台的 head plate。
我方供货的 93000 PS400 配置整机翻新，随附一年质保（依 2023 年供货条件）。
Advantest T5833 对接位（Docking）
存储器测试机：测试头面朝下压在探针台的 head plate 上。
我们为该平台自研 motherboard / WMB，含 32 TOM 配置。
Teradyne M5（Magnum 5）对接位（Docking）
电子学集成在本体，经 K52 接口直连探针卡。
销售与维修范围覆盖 Magnum 5，自研探针卡测试方案已适配该平台。
Advantest EVA100 电缆连接位（Cable）
桌面级测试单元放在台架上，一束扁平电缆接上探针台。
我们把 EVA100 用作测试前端，构建插座与探针卡测试方案。
多孔式镀金台盘
3,000 个以上密集吸孔，表面镀金、无沟槽，平坦度 5 µm。
- 吸孔
- 3,000+个
- 表面
- 镀金无沟槽
- 平坦度
- 5µm
- 适配
- APM90A· UF200 系列
生产看板 · 运行总览
同一屏显示这批在跑什么、跑到哪、跑得怎么样。
- 数据
- 只读取自机台计数
- 未取到
- --不推算、不补值
生产看板 · UF200 实时画面
机台原生画面以只读方式镜像到网页与看板。
- 镜像
- 只读原样呈现
- 远程操作
- 选配默认只读
生产看板 · 外挂晶圆图
整片 die 图与各条链路状态放在同一屏。
- 未连链路
- NOT CONNECTED
- 适配器
- READ ONLY
生产看板 · SECS/GEM · EAP 接口
核验机台原生 GEM / HSMS 程序，先划清能确认的接口范围。
- 逐层标注
- 已有证据/ 待推断 / 阻断
- 天车
- 不配备AMHS 属升级方案
老机台改造与接入
不改机台本体，在机台之外补上控制系统、扫码与数据这一层。在桌面浏览器里，可用车间上方的机位按钮直接站到探针台、对接区或看板前环顾。
在役探针台
北排 6 台 8 / 12 英寸探针台。整备供货机逐台核对序列号、配置与状态后交付，在库约 100 台（截至 2026-08）。
示意模型APM90A · 8 英寸
东京精密 UF200 的前一代，1994–1997 年间批量装机。
示意模型UF200 · 8 英寸
在无锡整备基地按 UF200A 标准整机翻新，开启全部功能。
示意模型UF3000 · 8 / 12 英寸
整机翻新、参数复核与现场装机，含常温与高低温配置。
示意模型UF3000ex · 12 英寸
卡盘力标配 300 kgf，高刚性配置 450 kgf，报价前按机复核。
示意模型P-12XL · 12 英寸
卡盘力标配 80 kgf，P-12XLn 为 100 kgf，询价时先确认档位。
示意模型AP3000 · 12 英寸
针卡与治具服务对象，机台本身不在供货清单内。
测试机对接
南排 4 个工位，测试机分别压合或用电缆接到一台探针台上。
示意模型Advantest V93000
93000 PS400 配置整机翻新，随附一年质保。
示意模型Advantest T5833
为该平台自研 motherboard / WMB，含 32 TOM 配置。
示意模型Teradyne Magnum 5
销售与维修，自研探针卡测试方案已适配该平台。
示意模型Advantest EVA100
用作测试前端，构建插座与探针卡测试方案。
本页展示的是二手设备的整备、改造与交付服务。文中出现的原厂机型名称，用于界定我们可以承接的设备范围，不代表获得相应厂商的授权、认证或背书；改造与翻新由我方实施，并由我方承担相应责任。车间为按真实机型与真实画面所作的示意场景，其中天车（OHT）代表升级方案可对接的 AMHS 物料流，不属于本车间配置。扫码枪与信息盒相关内容为我方自研项目，各自所处阶段以页面上的徽标为准。
在研
生产看板
墙上 4 块看板是信息盒的真实画面。所有数字取自机台自身的计数与配置，没取到的一律显示 --，不推算、不补值。
相关内容
把机型、片径与测试平台告诉我们
我们按机型回复可承接范围与方案。