試験・検証

NAND、DRAMからHBMまで、ウェーハ全面を一度で当てるのに必要なピン数は二十倍近く異なります。高ピン数カードは、UF3000、P-12XLなどの汎用プローバではチャック荷重が制約になります。ATE、リレーマトリクス、マザーボード、プローブカードのどれか一つでも合わないと、カード全体の試験は成立しません。

PCT5801はOpen、Short、リーク（判定基準 10 nA）、制御リソース、TDRまでのエンドツーエンド電気検査を行います。DeepTouch1000は1,000 kgfのチャック荷重でカード全体を圧接し、針先三次元検査を行います。2台で一体機を構成すると、異常チャネルはカード上の座標に直接対応づけられます。マザーボードはテスタープラットフォームに合わせてODM設計し、PSTA20Kは同じアーキテクチャをパッケージソケットに適用したものです。