DeepTouch1000 设备视图；配置与治具按探针卡类型和项目确认。
设备与工程方案
适用场景
适用于以下探针卡制造、测试与维护环节。
高针数探针卡承载
评估加载过程、整体受力与接触状态，支持 HBM 和大型探针卡项目。
针尖位置与一致性
通过 XYZ 数据和图像检查定位偏移、平整度或接触差异。
电性异常复核
将 PCT5801 异常坐标与针尖、针痕和受力证据对齐。
SPECIFICATIONS
主要规格
具体配置根据卡型、接口、现场条件和验收项目确定。
| 项目 | 规格 / 配置 | 说明 |
|---|---|---|
| 负载范围 | 0-1000 kgf | 实际工作点按卡型和接触方案设置 |
| 测量项目 | 针尖 X / Y / Z、接触状态、针痕与受力 | 算法和判定值通过样品验证 |
| 探针卡类型 | 垂直式、悬臂式、MEMS | 配置对应治具、视野和配方 |
| 设备组合 | 可组成 PB5801 工位，并读取 PCT5801 电测数据 | 系统组合按项目选择 |
| 温度能力 | 三温选项 | 温区按设备配置和测试条件确定 |
| 可选能力 | Pin Force / Contact 检查 | 按传感器、卡型与验收方法配置 |
| 数据输出 | XYZ、图像、负载与判定记录 | 支持异常复核和 FAT/SAT |
WORKFLOW
工作流程
卡型与治具确认
明确探针卡结构、基准、加载范围、检查区域和安全条件。
加载与成像
按配方加载并采集针尖、接触或针痕图像。
XYZ 与受力分析
计算位置和受力数据，并标记超出项目阈值的位置。
关联电性结果
与 PCT5801 坐标和判定关联，形成可追踪的复测结论。
FAT / SAT
项目实施
样品评估
确认对象、接口、现状、失效模式和可用于验证的样品。
技术协议
确定配置、量测方法、阈值、节拍、数据接口和双方责任。
FAT 工厂验收
使用约定样品验证功能、重复性、报告和异常处理。
SAT 现场验收
完成现场联调、培训、上下游接口和遗留问题闭环。
CONFIGURATION
配置与验收
以下内容用于说明系统构成、选配项目和最终验收方式。
标准能力
支持最高 1000 kgf 负载和针尖 XYZ 检查。
选配功能
三温、Pin Force 和 Contact 按卡型与测试方法配置。
验收方式
治具、算法、阈值、重复性和任务时间通过真实样品确认。
把卡型、接口和目标交给工程团队
提交样品、现有设备、当前问题和目标节拍；我们将在 1 个工作日内确认收到。