术语与口径
通道数、针数、扫描路径与卡盘力各有定义和条件,这里逐条写明。
术语表
通道与针数
卡侧针数探针卡上的物理针脚数,由被测器件决定。
PCT5801 当前平台的卡侧针数容量为 67,000 pin。这个数说的是卡上的针,与测试机通道数不是同一个量。
同样是整片一次扎针,从 NAND、NOR、DRAM 到 HBM,针数差了将近二十倍。针数由器件决定。
矩阵扫描路径继电器矩阵可依次切换的独立路径,PCT5801 上限 65,536 条。
PCT5801 的继电器矩阵每片 1,024 通道、最多 64 片,可寻址 65,536 个节点。节点依次切换接通,不是同时接通。
67,000 是卡侧针数容量,65,536 是独立扫描路径上限,两者不同量。物理针脚到扫描路径的映射按卡型设计。
PSTA20K 插座测试机沿用同一口径:16,384 为继电器矩阵架构上限,输出是矩阵扫描路径,不等于插座针数。
测试机通道测试机侧的电信号数,不等于探针卡针数。
PCT5801 标配 16,384 通道,最大配置 65,536,指矩阵扫描式测试路径。规格里的通道数不能直接读成针数。
通道容量以每片 1,024 通道的继电器矩阵组织,按卡型与机架配置扩展。最终通道数在样品评估、技术协议与 FAT / SAT 中确定。
同时仪器资源同一时刻真正在量测的仪器单元,随所配仪器而定。
指同一时刻在量测的 PMU、DPS 与数字单元。矩阵节点依次切换,同时在量测的资源由所配单元决定。
PCT5801 的 ATE 资源为 256 pin / unit、最多 4 unit,按目标卡型与测试项目配置。同时资源数不能由通道数或针数推算。
扇出少量测试通道经继电器矩阵与 motherboard 逐级展开到大量接触点。
PSTA20K 的前端是 Advantest EVA100 的 256 个测试通道。经继电器矩阵与按插座定制的 motherboard 逐级扇出。铺到数千至上万个接触点上。
扇出与扫描方式由 pin map 决定,测试结果按 pin map 逐点输出。
压合与载荷
卡盘力探针台卡盘在整卡压合时提供的力。
DeepTouch1000 的卡盘力为 1,000 kgf(约 9.81 kN),满载实测。压合过程中,卡盘力实时显示。
高针数卡在 UF3000 / UF3000ex、P-12XL 等探针台上受卡盘力限制。DeepTouch1000 因此按 1,000 kgf 开发。
卡盘力是设备给出的力。整卡同时接触需要多少力,见代表性计算。
满载实测分级加载到 1,000 kgf,量测直线度、平面度与倾角。
DeepTouch1000 的卡盘力分级加载到 1,000 kgf,量测 Z 轴直线度、卡盘平面度与倾角。三次加载结果一致,结构对称、无非对称变形。
- Z 轴直线度 · 0 ~ 1,000 kgf
- < 0.2µm
- 卡盘平面度偏差 · 3 mm 行程
- ≤ 10µm
- 倾角 · D300 mm 上约 16.2 µm
- ≈ 0.003°
代表性计算按假设工况估算整卡所需压合力,结果是估算值。
高针数整卡同时接触所需的压合力,在代表性工况下估算约 450 kgf。方法:同时接触针数 × 单针目标触压力。单针按 1.5 gf 假设。
- 单针目标触压力 · 假设
- 1.5gf
- 整卡压合力 · 代表性估算
- ≈ 450kgf
- 卡盘力 · 满载实测
- 1,000kgf
450 kgf 是估算值,1,000 kgf 是满载实测值。实际总载荷取决于同时接触针数、单针针力、overdrive 与安全系数。针卡结构、接触行程与工艺条件也会影响总载荷。
状态与供货
产品状态只用三个词:量产、工程化、在研。
量产已量产供货的设备,能力以产品页写明的内容为准。
工程化处于工程化阶段的设备与自研项目。以植针与激光微焊接设备为例,位置精度与 UPH 按样品实验确定。跨客户通用指标不作对外承诺。
在研设计阶段、方案阶段、工程样机与开发中的项目都标为在研。以 ECP1010 为例,规格随设计迭代,尚无量产交付记录。
供货边界链路上哪些工序由 Probing 的设备承担,哪些由专业厂承担。
针卡车间的 21 个工位中,4 台量产、4 台工程化、1 台在研,其余 12 段由专业厂承担。上游的 MEMS 针制造与多层陶瓷空间转换板制造也画在图上,让链路完整。
探针制造、来料分选、空间转换板与 PCB 制造、导板加工、卡体组装、出货包装与重新植针,由专业厂承担。这些工序的设备不在 Probing 的供货范围内。
边界写到具体一步:清洗设备只把卡片判为返工状态,测试设备只做维修后复测;存储系统只到厂内出库与下游交接为止。
第三方机型原厂机型名称只用来界定可承接的设备范围。
UF200、UF3000、P-12XL、V93000 等原厂机型名称,只用于界定可承接的设备范围。提及这些名称,不代表获得相应厂商的授权、认证或背书。改造与翻新由 Probing 实施,并承担相应责任。
Advantest EVA100 为 Advantest 产品,Probing 是其代理与分销商,负责机械集成、应用工程与测试程序开发。除这一代理关系外,提及厂商名称不代表任何授权或背书。
这些机型不标产品状态,按事实写整备供货、改造或服务。
口径与交付
证据等级数字下方的小字:这个数是实测、标称、配置还是设计口径。
站内规格、时间与能力数据都标注口径与证据等级,供技术评估参考。常见的几种写法:
- 满载实测:在满载条件下实测,例如卡盘力 1,000 kgf。
- 标配 / 最大配置:已交付的标准配置与可配置上限,例如 16,384 与 65,536 通道。
- 资料标称:数值出自产品目录等资料,现场以实测为准,例如 uP200A 综合精度 5 µm。
- 截至日期:会变化的数字带日期,例如已安装系统 30 台(截至 2026-08)。
- 设计资料口径:在研产品按设计资料表述,规格随设计迭代。
公开深度网页给能力头条与证据等级,配置细节随项目提供。
产品页给出能力头条与证据等级。模块规格、任务时间与交付配置细节随项目提供。
公开参数以项目技术文件和最终验收范围为准。
技术协议写明配置、量测方法、阈值、节拍、数据接口和双方责任。
技术协议排在样品评估之后、FAT 之前。样品评估先确认对象、接口、现状、失效模式和可用于验证的样品。
正式项目以双方确认的技术协议为准。
FAT / SAT工厂验收与现场验收,用真实样品逐项确认。
FAT 工厂验收使用约定样品,验证功能、重复性、报告和异常处理。SAT 现场验收完成现场联调、培训、上下游接口和遗留问题闭环。
顺序为样品评估 → 技术协议 → FAT → SAT。治具、算法、阈值、重复性与任务时间,通过真实样品在 FAT / SAT 中逐项确认。
测试与接口
漏电判定基准全针对针测试判定漏电的阈值,PCT5801 为 10 nA。
PCT5801 的漏电流测试是全针对针测试,判定基准 10 nA。
判定基准与电流分辨率是两个量。PSTA20K 标注的 0.1 nA,是 500 nA 量程下的电流分辨率。
TDR对信号通道做传输时间量测的交流测试。
PCT5801 的 PBDATA 测试对所有信号通道做传输时间(TDR)量测,任务时间随针数与配置。
在原平台上做 TDR,前提是母板走线长度与阻抗受控。T5833 FULL 配置的母板已同时具备 DC 与 TDR 测试能力。其余平台的交流测试按 ODM 需求逐个定制。
母板 / Motherboard探针卡与测试机之间的那块板,决定压合方式与信号走线。
机械上,母板决定探针卡怎么压合、对准和受力。电气上,它决定信号走多长、阻抗怎么控、能接出多少通道。
PCT5801 的端到端通路是 ATE → 继电器矩阵 → 母板 → 探针卡,任何一环不匹配,整卡测试就做不成。
ZIF / POGOmotherboard 与探针卡之间的触点接口形式。
PCT5801 与 DeepTouch1000 组成合体机时,机顶 head plate 装卡后,由 motherboard 以 ZIF / POGO 触点环压接。
压合结构为 Bridge Beam,接口形式按客户卡型设计。
追溯与工厂系统
Card ID探针卡的身份编号,清洗与存储记录按卡号归档。
清洗前读取 Card ID / RFID,确认卡型、污染位置和允许的清洗方法。卡号、配方、清洗次数、图像、判定与人员按卡记录。
存储系统收货时读取或绑定 RFID,校验卡号、状态、清洗 / 测试结果和目标库位。
RFID识别卡片的标签,关联卡号、库位、状态和移动历史。
卡片经 RFID 绑定身份后,存入环境受控库位。RFID 记录卡片身份、库位、状态、移动与盘点。
频段、标签、读距和防串读通过现场实验确定。
WMS / EAP / MES工厂侧系统:向设备下发任务,接收状态与记录回传。
智能存储系统接收 WMS / EAP / MES 下发的入库、领用、归还和盘点任务,并回传状态、异常和审计记录。字段、权限、心跳、重试、补偿和审计按接口协议。
UF200、UF3000 这类老探针台出厂时,产线还没有 MES 与 EAP 接入要求。信息盒逐跳标出 EAP / MES → HSMS → GEM → 机台的状态,接错在上线前暴露。
数据来源等级探针台信息盒每一页标注的数据出处。
等级分为实时、机台配置快照、本地配置、离线与设计参考。参考级页面自动禁用交互。
例如晶圆几何读自机台配置卡快照,测试计数读自机台运行内存,标注为实时。来源未通的页面自动锁定,不用推断值替代实测值。
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把卡型、接口和目标交给工程团队
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测试验证PCT5801 · DeepTouch1000 · 母板 · PSTA20K
植针装配植针与激光微焊接
清洗复检清洗与三方向复检
智能存储存储与追溯
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