洗浄・再検査

洗浄後の残留物は、組立のばらつき、保管環境、試験の判定基準と同じく、プローブカードのコストに影響します。この段階に対応する装置がないと、問題は量産に入ってから表面化します。

装置はIPA噴霧、制御ブラシ、クリーンガスによるブローをレシピに従って行います。そのうえで3方向の画像から、残留物、粒子、曲がったピン、形状異常を判定します。判定しきい値はお客様の受入方法に合わせて定義します。