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プローバサービス

APM90AとUF200シリーズに、バーコード読取、工場ネットワーク、生産ボードのインターフェースを追加します。

プローバ整備工場:稼働中のUFシリーズをここで点検・整備し、データインターフェースを追加します プローバ整備工場 · 実機撮影

旧型装置の壁は制御システムとインターフェース

UF200は1990年代、UF3000は2000年代の装置です。出荷当時、生産ラインにはバーコード読取、RFID受け渡し、MES・EAPといった要求がありませんでした。現在これらは現代のfabやOSATに入る条件となり、まだ使える装置が丸ごと入れ替えられています。

UF200インフォメーションボックスを中核に、装置本体を変えずに、その外側にこの層を追加します。装置自身が知っている事実を読み出し、工場のシステムに接続します。さらに、バーコード読取とロット追跡、EAPと自動搬送へ広げます。

APM90AとUF200の制御システムは一式でアップグレードでき、ステージ(ウェーハ保持台)は単独で交換できます。

その土台は、中古のプローバ、テスター、部品の整備供給で、装置ごとに確認して納入します。試験側では、Advantest EVA100を試験フロントエンドとして、ソケットとプローブカードの試験ソリューションを構築します。

装置から工場ネットワークまでのデータ経路

バーコードリーダーはLOTを装置本来のバーコードポートに書き込みます。インフォメーションボックスは読取のみで、装置自身が知っている事実を生産ボードと工場ネットワークに送ります。

データ経路の図:バーコードリーダーと中継器が稼働中プローバの本来のバーコードポートに書き込み、プローバ情報ボックスは読取のみを行って生産ボードに送り、EAP / MESまでのリンク状態を区間ごとに表示する Probing自社開発 装置と工場システム バーコードリーダーと中継器 製品化中 正規表現でLOT抽出 · 検証 ≤ 18文字 検証不合格は送信せず、ログのみ 本来のバーコードポートへ書込 稼働中のプローバ UF200 · APM90Aなど ウェーハ形状 · 試験カウント カード累積接触回数 · クリーニング回数 装置画面 装置本体は変更しない 読取のみ 書き戻さない プローバ情報ボックス 開発中 外付け採取ユニット 一方は装置へ、他方は工場網へ 出所不明はロック 外付けの層、装置プログラムは変更しない 工場ネットワーク 生産ボード(4ページ) 稼働概要 · UF200 リアルタイム画面 外付けウェーハマップ · EAPインターフェース(開発中) EAP / MES HSMS · GEM、区間ごとに状態表示
データ経路の図(縦配置):バーコードリーダーと中継器が稼働中プローバの本来のバーコードポートに書き込み、プローバ情報ボックスは読取のみを行って生産ボードに送り、EAP / MESまでのリンク状態を区間ごとに表示する バーコードリーダーと中継器 製品化中 正規表現でLOT抽出 · 検証 ≤ 18文字 検証不合格は送信せず、ログのみ 本来のバーコードポートへ書込 稼働中のプローバ 装置本体は変更しない UF200 · APM90Aなど ウェーハ形状 · 試験カウント カード累積接触回数 · クリーニング回数 装置画面 読取のみ · 書き戻さない プローバ情報ボックス 開発中 外付け採取ユニット、装置プログラムは変更しない 一方は装置へ、他方は工場網へ 出所不明はロック 工場ネットワーク 生産ボード(4ページ) 稼働概要 · UF200 リアルタイム画面 外付けウェーハマップ · EAPインターフェース(開発中) EAP / MES HSMS · GEM、区間ごとに状態表示 Probing自社開発 装置と工場システム
イメージ図:バーコードリーダーの読取値は中継器を経由して装置本来のバーコードポートに書き込まれます。インフォメーションボックスは装置の外側に取り付けて読取のみを行い、生産ボードに接続し、EAP / MESまでの各区間の状態を個別に表示します。バーコード接続は製品化中、インフォメーションボックスとEAPインターフェースは開発中です。

製品とサービス

いずれもCP工場に対応する工程があります。

CP工場を見る →
APM90A プローバ工場モデルイメージモデル
改造

uP200A 制御システムアップグレード

APM90AとUF200シリーズの制御システムを交換し、機械本体とプローブカード消耗品は引き続き使用します。

起動時間 · APM90A 元の装置 180秒
40秒
1枚あたり対応ダイ数 · UF200 元の装置 10万
25万個
情報ボックスの外付けウェーハマップ画面(実機画面、内部識別は伏せています):indexとグリッドサイズからウェーハ全体のダイマップを再現し、左列にレシピ、稼働、BINカウントを表示実機画面
開発中

プローバ情報ボックス

外付け採取ユニットで生産数、カード累積接触回数、ウェーハ形状を読み出し、工場ネットワークと生産ボードに接続します。

UF200とバーコードリーダーのブラケットの工場モデルイメージモデル
製品化中

バーコードリーダーとLOT取り込み

バーコードリーダーが中継器を介してLOTを装置本来のバーコードポートに書き込みます。検証不合格の場合は送信しません。

LOT検証 · 長さ上限
18文字
バーコードリーダー · ブランド・型式は限定しません
USBHIDキーボードモード
UF3000ex プローバ工場モデルイメージモデル
整備品供給

中古装置とエンジニアリングサービス

プローバ、テスター、部品を、シリアル番号、構成、状態を一台ずつ確認して納入します。

在庫整備機 · 2026年8月時点
約 100台
プローバ ウェーハ径
8 / 12インチ
EVA100ケーブル接続部の工場モデル:試験ユニットはプローバ横の架台に設置イメージモデル
代理店・アプリケーションエンジニアリング

EVA100 アプリケーションと試験エンジニアリング

ボードとデバイス仕様に基づいてEVA100の試験プログラムを開発し、CP、FT、故障解析をカバーします。

デジタルチャネル · E-Model〜P-Model
128~1024ch
デジタルチャネル · base rate
100Mbps

本文中のメーカー機種名は当社が対応可能な装置の範囲を示すためのものであり、メーカーによる許諾、認証または推奨を受けていることを示すものではありません。改造とオーバーホールは当社が実施し、相応の責任も当社が負います。Advantest EVA100はAdvantestの製品で、Probingは代理店・販売店として機械的な統合を担当します。バーコードリーダーとインフォメーションボックスは当社の自社開発案件で、進行段階はラベルのとおりです。

機種、ウェーハ径、試験プラットフォームをお知らせください

機種ごとに、対応可能な範囲とご提案を回答します。

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