适配该台盘的探针台

3000+ 密孔 · 无沟槽 · 平坦度 5 μm

多孔式镀金台盘

背面出电的器件测试,晶圆和台盘之间不能有沟槽——沟槽处没有接触,那一片就测不准。这块台盘用 3000 个以上的密集吸孔替代沟槽吸附,表面镀金保证背面导电与耐磨,整面平坦度控制在 5 μm。它是探针台的耗材件,按机型配作。

探针台类别视觉;台盘为其上的承载件,按机型尺寸配作。
吸孔3000+ 密孔替代沟槽吸附
表面镀金背面导电与耐磨
结构无沟槽全面接触
平坦度5 μm整面
设备与工程方案

适用场景

适用于以下探针卡制造、测试与维护环节。

MOSFET 背面出电测试

器件背面需与台盘全面导通,沟槽位置会造成接触缺失。

老机型耗材替换

APM90A 与 UF200 系列在役设备的承载台更换。

测试良率排查

接触不良集中在特定位置时,先排查承载面平坦度与吸附均匀性。

SPECIFICATIONS

主要规格

具体配置根据卡型、接口、现场条件和验收项目确定。

项目规格 / 配置说明
吸孔数量3000 个以上密集吸孔不使用沟槽结构
表面处理镀金兼顾背面导电与耐磨
平坦度5 μm整面指标
适配机型东京精密 ACCRETECH APM90A、UF200 系列、UF200A 系列、UF200R 系列按机型尺寸配作
典型用途MOSFET 等背面出电器件测试其他器件按样品确认
供应主体上海雯澜贸易商行与设备本体供货主体不同
WORKFLOW

工作流程

确认机型

按 APM90A 或 UF200 系列确定台盘尺寸与接口

不同系列不可互换

确认器件

确认背面出电方式与接触要求

决定是否需要镀金面

配作与交付

按机型配作并交付

为耗材件,按使用情况更换

装机与验证

装机后确认吸附均匀性与测试结果

以实测接触结果为准

FAT / SAT

项目实施

01

样品评估

确认对象、接口、现状、失效模式和可用于验证的样品。

02

技术协议

确定配置、量测方法、阈值、节拍、数据接口和双方责任。

03

FAT 工厂验收

使用约定样品验证功能、重复性、报告和异常处理。

04

SAT 现场验收

完成现场联调、培训、上下游接口和遗留问题闭环。

CONFIGURATION

配置与验收

以下内容用于说明系统构成、选配项目和最终验收方式。

参数出处

3000+ 密孔、镀金、无沟槽、平坦度 5 μm 与适配机型均出自多孔盘介绍资料。

未公开项

寿命、吸附力与温度上限等未在资料中给出,需按使用条件确认。

供应主体

该产品由上海雯澜贸易商行供应,与探针卡设备的供货主体不同。

把卡型、接口和目标交给工程团队

提交样品、现有设备、当前问题和目标节拍;我们将在 1 个工作日内确认收到。