适配该台盘的探针台

3000+ 密孔 · 无沟槽 · 平坦度 5 μm

多孔式镀金台盘

背面出电的器件测试,晶圆和台盘之间不能有沟槽——沟槽处没有接触,那一片就测不准。这块台盘用 3000 个以上的密集吸孔替代沟槽吸附,表面镀金保证背面导电与耐磨,整面平坦度控制在 5 μm。它是探针台的耗材件,按机型配作。

探针台类别视觉;台盘为其上的承载件,按机型尺寸配作。
吸孔3000+ 密孔
表面镀金
结构无沟槽
平坦度5 μm
逐条文字说明
吸孔
替代沟槽吸附
表面
背面导电与耐磨
结构
全面接触
平坦度
整面
设备与工程方案

适用场景

适用于以下探针卡制造、测试与维护环节。

MOSFET 背面出电测试

老机型耗材替换

测试良率排查

逐条文字说明
MOSFET 背面出电测试
器件背面需与台盘全面导通,沟槽位置会造成接触缺失。
老机型耗材替换
APM90A 与 UF200 系列在役设备的承载台更换。
测试良率排查
接触不良集中在特定位置时,先排查承载面平坦度与吸附均匀性。
SPECIFICATIONS

主要规格

具体配置根据卡型、接口、现场条件和验收项目确定。

吸孔数量3000 个以上密集吸孔不使用沟槽结构
表面处理镀金兼顾背面导电与耐磨
平坦度5 μm整面指标
适配机型东京精密 ACCRETECH APM90A、UF200 系列、UF200A 系列、UF200R 系列按机型尺寸配作
典型用途MOSFET 等背面出电器件测试其他器件按样品确认
供应主体上海雯澜贸易商行与设备本体供货主体不同
WORKFLOW

工作流程

  1. 01

    确认机型

  2. 02

    确认器件

  3. 03

    配作与交付

  4. 04

    装机与验证

逐条文字说明
确认机型
按 APM90A 或 UF200 系列确定台盘尺寸与接口 不同系列不可互换
确认器件
确认背面出电方式与接触要求 决定是否需要镀金面
配作与交付
按机型配作并交付 为耗材件,按使用情况更换
装机与验证
装机后确认吸附均匀性与测试结果 以实测接触结果为准
FAT / SAT

项目实施

01

样品评估

02

技术协议

03

FAT 工厂验收

04

SAT 现场验收

逐条文字说明
样品评估
确认对象、接口、现状、失效模式和可用于验证的样品。
技术协议
确定配置、量测方法、阈值、节拍、数据接口和双方责任。
FAT 工厂验收
使用约定样品验证功能、重复性、报告和异常处理。
SAT 现场验收
完成现场联调、培训、上下游接口和遗留问题闭环。
CONFIGURATION

配置与验收

以下内容用于说明系统构成、选配项目和最终验收方式。

参数出处

3000+ 密孔、镀金、无沟槽、平坦度 5 μm 与适配机型均出自多孔盘介绍资料。

未公开项

寿命、吸附力与温度上限等未在资料中给出,需按使用条件确认。

供应主体

该产品由上海雯澜贸易商行供应,与探针卡设备的供货主体不同。

把卡型、接口和目标交给工程团队

提交样品、现有设备、当前问题和目标节拍;我们将在 1 个工作日内确认收到。