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关键数字
- 启动时间
- 40秒原机：APM90A 约 180 秒、UF200 70 秒
- 单片支援管芯
- 25万颗原机：APM90A 约 6 万、UF200 10 万
- 运算速度
- 3倍以 UF200 为基准 · 资料标称
- 界面
- 全中文原机为英／日文
同一台探针台，换一套控制系统
升级更换控制系统，保留机械本体与原机针卡、耗材。启动时间、单片管芯上限、界面与数据传输随之改变。
升级流程
- 01确认机型与现状
确认原机型号、控制系统状态与现有耗材，决定可升级范围。
- 02确认数据与接口
确认 MAPPING 数据格式与上位系统接口，涉及 GPIB／TTL 与网络。
- 03实施升级
现场更换控制系统，保留机械本体与针卡耗材。
- 04验证
确认启动时间、管芯数、对准与 MAPPING 输出，以实测为准。
用在哪里
老机型产能受限
机械尚可用，但控制系统的管芯上限与节拍成为瓶颈。升级后单片支持 25 万颗管芯，运算速度资料标称为 UF200 的三倍。
界面与数据格式不便
原机为英／日文界面，数据传输只有软盘或软盘加网络。升级后为全中文界面，兼容 UF200／UF200A 数据格式。数据可经软盘、磁光盘 MO 或网络传输。
保留原有耗材投入
兼容 APM90A 与 UF200 的针卡及耗材，不需重新采购。现场更换控制系统，机械本体保留。
自动对准与实时 MAPPING
压点自动对准，针尖自动对准与清洗，失效标记检查。支持多探针探测与多分 bin 输出，液晶触摸监视器实时显示 MAPPING。GPIB／TTL 接口对接上位系统。
升级对象与范围
升级对象为东京精密 APM90A 与 UF200 系列在役探针台。支持 4、5、6、8 英寸晶圆，向下兼容。新一代探针台不在适用范围内。
APM90A
UF200 的前一代 8 英寸全自动探针台，1994–1997 年间在韩国、日本与台湾地区批量装机。
UF200 系列
1998 年之后装机的 TSK 8 英寸主力机。
升级周期、可用备件范围与保修条件按具体机况确认。
文中出现的原厂机型名称，只用于界定我们可以承接的设备范围，不代表获得相应厂商的授权、认证或背书。改造由我方实施，并由我方承担相应责任。
实拍规格
完整规格表（15 项）
| 项目 | 规格 | 说明 |
|---|---|---|
| 升级对象 | 东京精密 APM90A、UF200 系列在役探针台 | 机械本体保留 |
| 支持晶圆 | 4、5、6、8 英寸 | 向下兼容 |
| 启动时间 | uP200A 40 秒；UF200 70 秒；APM90A 约 180 秒 | 资料对比表 |
| 支援管芯数 | uP200A 25 万；UF200 10 万；APM90A 约 6 万 | 单片 |
| 运算速度 | UF200 的三倍 | 资料标称 |
| 界面 | 全中文 | 原机为英／日文 |
| 数据传输 | 软盘、磁光盘 MO、网络 | 原机仅软盘或软盘加网络 |
| 数据格式 | 兼容 UF200／UF200A 数据格式 | APM90A 原机不兼容 |
| 耗材兼容 | 兼容 APM90A 与 UF200 针卡及耗材 | 不需重新采购 |
| 综合精度 | 5 µm | 资料标称 |
| 承载台 | 8 英寸镍／金可加热承载台 | 配 8 英寸控制模块 |
| 功能 | 压点自动对准、针尖自动对准与清洗、失效标记检查、多探针探测、多分 bin 输出、实时 MAPPING 显示 | 液晶触摸监视器 |
| 接口 | GPIB／TTL | 上位系统对接 |
| 公用工程 | 压缩空气 >0.4 MPa；真空 >-53 kPa；单相 220 V；最大负载电流 6 A；最大功耗 1.5 kVA | 现场条件需满足 |
| 供应主体 | 上海雯澜贸易商行 / 上海录德集成电路有限公司 | 与探针卡设备供货主体不同 |
启动时间、支援管芯数、数据传输与兼容性对比出自 uP200A 产品目录中的机型对照表。未列出的指标以技术协议为准。
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