探针台类别视觉；升级对象为 APM90A 与 UF200 系列在役机型。
设备与工程方案
适用场景
适用于以下探针卡制造、测试与维护环节。
老机型产能受限
机械尚可用，但控制系统的管芯上限与节拍成为瓶颈。
界面与数据格式不便
原机为英／日文界面，数据仅能软盘传输。
保留原有耗材投入
希望继续使用原机针卡与耗材，不重新采购。
SPECIFICATIONS
主要规格
具体配置根据卡型、接口、现场条件和验收项目确定。
| 项目 | 规格 / 配置 | 说明 |
|---|---|---|
| 升级对象 | 东京精密 APM90A、UF200 系列在役探针台 | 机械本体保留 |
| 启动时间 | uP200A 40 秒；UF200 70 秒；APM90A 180 秒 | 资料对比表 |
| 支援管芯数 | uP200A 25 万；UF200 10 万；APM90A 6 万 | 单片 |
| 支持晶圆 | 4、5、6、8 英寸 | 向下兼容 |
| 数据传输 | 软盘、磁光盘 MO、网络 | 原机仅软盘或软盘加网络 |
| 数据格式 | 兼容 UF200／UF200A 数据格式 | APM90A 原机不兼容 |
| 耗材兼容 | 兼容 APM90A 与 UF200 针卡及耗材 | 不需重新采购 |
| 综合精度 | 5 μm | 资料标称 |
| 承载台 | 8 英寸镍／金可加热承载台 | 配 8 英寸控制模块 |
| 功能 | 压点自动对准、针尖自动对准与清洗、失效标记检查、多探针探测、多分 bin 输出、实时 MAPPING 显示 | 液晶触摸监视器 |
| 接口 | GPIB／TTL | 上位系统对接 |
| 公用工程 | 压缩空气 >0.4 MPa；真空 >-53 kPa；单相 220 V；最大负载电流 6 A；最大功耗 1.5 kVA | 现场条件需满足 |
| 供应主体 | 上海雯澜贸易商行 / 上海录德集成电路有限公司 | 与探针卡设备供货主体不同 |
WORKFLOW
工作流程
确认原机型号、控制系统状态与现有耗材
决定可升级范围
确认 MAPPING 数据格式与上位系统接口
涉及 GPIB／TTL 与网络
更换控制系统，保留机械本体与针卡耗材
现场实施
确认启动时间、管芯数、对准与 MAPPING 输出
以实测为准
FAT / SAT
项目实施
样品评估
确认对象、接口、现状、失效模式和可用于验证的样品。
技术协议
确定配置、量测方法、阈值、节拍、数据接口和双方责任。
FAT 工厂验收
使用约定样品验证功能、重复性、报告和异常处理。
SAT 现场验收
完成现场联调、培训、上下游接口和遗留问题闭环。
CONFIGURATION
配置与验收
以下内容用于说明系统构成、选配项目和最终验收方式。
参数出处
启动时间、支援管芯数、数据传输与兼容性对比均出自 uP200A 产品目录中的机型对照表。
适用范围
本页面向 APM90A 与 UF200 系列老机型的控制系统升级，不适用于新一代探针台。
未公开项
升级周期、可用备件范围与保修条件按具体机况确认，资料中未给出通用值。
把卡型、接口和目标交给工程团队
提交样品、现有设备、当前问题和目标节拍；我们将在 1 个工作日内确认收到。