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在研

信息盒探针台外挂式数据采集单元

信息盒外挂于在役探针台，读出晶圆几何与测试计数，送上 4 页看板。

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示意图：UF200 探针台顶部外挂一台信息盒，一路线缆直连机台，另一路接厂网，送往看板、EAP 与 MES；机台本体不动 信息盒 外挂在机台之外 一路直连机台 只读取数 一路接厂网 看板 · EAP · MES UF200 探针台 · 本体不动 示意图：UF200 探针台顶部外挂一台信息盒，一路线缆直连机台，另一路接厂网，送往看板、EAP 与 MES；机台本体不动 信息盒 直连机台 接厂网 示意图，非实拍 · 形态按现场机型确认

关键信息

接入
外挂式不改机台本体与控制程序
取数
默认只读远程操作为选配
生产看板
4页运行总览、实时画面、晶圆图与 EAP 接口
数据来源
逐页标注来源不明即锁定

一路连机台，一路连厂网

信息盒从机台配置卡与运行内存读出数据，机台画面只读镜像。另一路接厂网，送上生产看板；到 EAP / MES 的每一跳单独标状态。

数据通路示意：信息盒一路直连 UF200 探针台，只读取出晶圆几何、测试计数、针卡计数与机台画面；另一路接厂网，送进 4 页生产看板，并把到 EAP / MES 的链路逐跳标状态；每页标注数据来源等级 Probing 自研 机台与厂内系统 UF200 探针台 机台本体与控制程序不动 晶圆几何 读自机台配置卡快照 测试计数 读自运行内存，标注为实时 针卡计数 按原始参数逐项无损解码 机台画面 原生画面，只读镜像 直连机台 只读 探针台信息盒 在研 外挂采集单元，不改机台程序 机台侧与厂网侧物理分离 逐页标注来源等级 来源不明即锁定 接厂网 生产看板（4 页） 运行总览 · UF200 实时画面 外挂晶圆图 SECS/GEM · EAP 接口 EAP / MES HSMS → GEM → 机台 逐跳标状态 每页标注来源等级 实时 机台配置快照 本地配置 离线 设计参考 参考级页面自动禁用交互 数据通路示意（竖排）：信息盒一路直连 UF200 探针台，只读取出晶圆几何、测试计数、针卡计数与机台画面；另一路接厂网，送进 4 页生产看板，并把到 EAP / MES 的链路逐跳标状态；每页标注数据来源等级 Probing 自研 机台与厂内系统 UF200 探针台 机台本体与控制程序不动 晶圆几何 配置卡快照 测试计数 运行内存 · 实时 针卡计数 原始参数逐项解码 机台画面 只读镜像 直连机台 只读 探针台信息盒 在研 外挂采集单元，不改机台程序 机台侧与厂网侧物理分离 逐页标注来源等级 来源不明即锁定 接厂网 生产看板 · 4 页 运行总览 UF200 实时画面 外挂晶圆图 EAP 接口 EAP / MES HSMS → GEM → 机台 逐跳标状态 每页标注来源等级 · 参考级页面禁用交互 实时 机台配置快照 本地配置 离线 设计参考
示意图：蓝色为信息盒与它的看板页面。到 EAP / MES 的链路（虚线）经 HSMS、GEM 到机台，逐跳标注已有证据、待推断、阻断或异常。

看板画面

同一套系统的 4 页。CP 车间墙上的四块看板，用的就是这些实机画面。

在车间中查看看板 →
运行总览页实机截图：LOT、晶圆进度、良率与盒子健康等卡片，右侧为 UF200 实时画面
运行总览LOT / WAFER / DEVICE、晶圆进度、BIN 分布与盒子健康同屏。右侧同步机台实时画面，没取到的数字一律显示 --。
UF200 实时画面实机截图：机台原生画面，显示 DEVICE、WAFER SIZE、INDEX X/Y、YIELD 与 LOT 等字段
UF200 实时画面机台原生画面以只读方式镜像到网页与看板。机台自己弹出的告警行原样呈现，不改写。
外挂晶圆图实机截图：中间为整片 die 图，左列为配方、运行与 BIN 计数，右列为各条链路状态
外挂晶圆图按 index X/Y 与网格尺寸还原整片 die 图，右列逐条标出各链路状态。没连上的链路写 NOT CONNECTED。
SECS/GEM · EAP 接口页实机截图：EAP / MES、HSMS、GEM 与 UF200 的通信拓扑，每一跳标注状态
SECS/GEM · EAP 接口外部 Host 配置与当前会话状态分开显示。协议拓扑上每一跳分别标注：已有证据、待推断、阻断或异常。

画面为实机截图，内部标识（地址、设备编号、内部组件名）已做遮蔽处理。

用在哪里

老机台数据化

为没有现代数据接口的在役探针台提供可读出的运行事实。产量、机台状态与告警直接送进看板与厂网，联网不必换掉整台设备。

针卡使用追溯

读出针卡累计触点次数与清针次数，为换卡与清洗决策提供依据。数值按机台原始参数逐项无损解码。

远端查看机台状态

在厂网侧查看机台画面与运行计数，减少往返机台前的次数。办公室里看到的与机台前是同一屏。

EAP 接入前核验

直接核对机台原生 GEM / HSMS 程序、数据字典与运行日志。EAP / MES 到机台的每一跳单独标状态，接错在上线前暴露。

在研，按现场逐台确认

信息盒目前在研，看板画面为实机截图。可读项目取决于机型与接口，需要逐台勘察确认。

每一页都标注数据来源等级，来源未通的页面自动锁定。不以推断值替代实测值，不承诺合规认证或工厂系统代报能力。

从勘察到交付定义

  1. 机型与接口勘察确认机台型号、可用接口与厂网条件。
  2. 取数通道验证逐条验证配置卡、运行计数与条码通道能否读通。
  3. 现场试运行在真实生产节奏下观察数据与稳定性。
  4. 交付定义按验证结果确定采集范围、部署形态与运维方式。

规格

完整规格表（11 项）
项目规格说明
产品状态在研，自研每页标注数据来源等级
接入方式外挂式采集单元，不改动机台控制程序一路直连机台、一路接厂网，物理分离
画面与操作机台画面采集并在网页端呈现，可回送操作回送操作为选配，默认只读；采集与回送均为外部接口，不进入机台程序
晶圆几何尺寸、X/Y 步进、行列数、有效管芯数读自机台配置卡快照
测试计数总数、已测、通过、失败、复测、跳过、打点读自机台运行内存，标注为实时
针卡计数累计触点次数与清针次数按机台原始参数逐项无损解码
条码接入USB 扫码枪经中继写入机台原生条码接口见扫码枪与 LOT 接入
数据来源标注每页标注实时 / 机台配置快照 / 本地配置 / 离线 / 设计参考等级参考级页面自动禁用交互
模块声明每个模块声明已实现项、未推断项与外部依赖无法计算的指标显式声明，不给近似值
界面语言中文 / 日文 / 英文 / 韩文面向多语现场
硬件形态ARM64 嵌入式计算单元 + 采集与串口外设具体型号与部署形态按现场确认

未列出的指标以技术协议为准。

文中的原厂机型名称只用于界定可承接的设备范围，不代表获得原厂授权、认证或背书。信息盒为我方自研项目，所处阶段以页面标签为准。

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扫码枪与 LOT 接入USB 扫码枪经中继，把 LOT 写进机台原生条码接口。 探针台服务老探针台的信息盒、扫码与控制系统升级，以及二手设备。 在 CP 车间中查看04 号工位；墙上四块看板是信息盒的真实画面。

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