
探针台类别视觉;采集单元形态与接入方式按现场机型确认。
设备与工程方案
适用场景
适用于以下探针卡制造、测试与维护环节。
老机台数据化
为没有现代数据接口的在役探针台提供可读出的运行事实。
针卡使用追溯
读出针卡累计触点次数与清针次数,为换卡与清洗决策提供依据。
远端查看机台状态
在厂网侧查看机台画面与运行计数,减少往返机台前的次数。
SPECIFICATIONS
主要规格
具体配置根据卡型、接口、现场条件和验收项目确定。
| 项目 | 规格 / 配置 | 说明 |
|---|---|---|
| 产品阶段 | 工程样机,自研 | 自有工程机连续运行;无客户交付记录 |
| 接入方式 | 外挂式采集单元,不改动机台控制程序 | 一路直连机台、一路接厂网,物理分离 |
| 画面与操作 | 机台画面采集并在网页端呈现,可回送操作 | 采集与回送均为外部接口,不进入机台程序 |
| 晶圆几何 | 尺寸、X/Y 步进、行列数、有效管芯数 | 读自机台配置卡快照 |
| 测试计数 | 总数、已测、通过、失败、复测、跳过、打点 | 读自机台运行内存,标注为实时 |
| 针卡计数 | 累计触点次数与清针次数 | 按机台原始参数逐项无损解码 |
| 条码接入 | USB 扫码枪经中继写入机台原生条码接口 | 见扫码枪与 LOT 接入项目 |
| 数据来源标注 | 每页标注 实时 / 机台配置快照 / 本地配置 / 离线 / 设计参考 等级 | 参考级页面自动禁用交互 |
| 模块诚实性契约 | 每个模块声明已实现项、未推断项与外部依赖 | 无法计算的指标显式声明而不给近似值 |
| 界面语言 | 中文 / 日文 / 英文 / 韩文 | 面向多语现场 |
| 硬件形态 | ARM64 嵌入式计算单元 + 采集与串口外设 | 具体型号与部署形态按现场确认 |
WORKFLOW
工作流程
机型与接口勘察
确认机台型号、可用接口与厂网条件。
取数通道验证
逐条验证配置卡、运行计数与条码通道能否读通。
现场试运行
在真实生产节奏下观察数据与稳定性。
交付定义
按验证结果确定采集范围、部署形态与运维方式。
FAT / SAT
项目实施
样品评估
确认对象、接口、现状、失效模式和可用于验证的样品。
技术协议
确定配置、量测方法、阈值、节拍、数据接口和双方责任。
FAT 工厂验收
使用约定样品验证功能、重复性、报告和异常处理。
SAT 现场验收
完成现场联调、培训、上下游接口和遗留问题闭环。
CONFIGURATION
配置与验收
以下内容用于说明系统构成、选配项目和最终验收方式。
阶段口径
自有工程机上可连续运行并产出真实记录(含针卡累计触点与清针次数、晶圆几何与实时计数),但尚无客户现场交付,故按工程样机表述。
接入边界
采集为外挂式,不修改机台本体控制程序;可读项目取决于机型与其接口,需逐台勘察确认。
数据边界
页面按数据来源分级标注,未打通的模块保持锁定;不以推断值替代实测值,不承诺任何合规认证或工厂系统代报能力。
把卡型、接口和目标交给工程团队
提交样品、现有设备、当前问题和目标节拍;我们将在 1 个工作日内确认收到。
