테스트·검증PCT5801 · DeepTouch1000 · 마더보드 · PSTA20K
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세정·재검사세정과 3방향 재검사
스마트 보관보관과 추적
프로버 서비스정보 박스 · uP200A · 중고 장비
프로브 카드 공장MEMS 프로브 카드 제조와 검증 · 21개 공정APM90A (TSK 8인치)
도쿄정밀의 8인치 전자동 프로버로, 1994~1997년에 다수가 설치되었습니다.
- 웨이퍼
- 4–8인치
- 종합 정밀도
- 5µm 이내
- 인덱스 시간
- 250ms
- 본체 중량
- 약 750kg
CP 라인
실제 기종을 기준으로 모델링했습니다. 북쪽 프로버 6대, 남쪽 테스터 도킹 스테이션 4곳, 벽면의 현황판 4개는 정보 박스의 실제 화면입니다.
Probing 제품
양산 1
제품화 진행 1
개발 중 5
타사 장비
정비품 공급 6
서비스 대상 기종 3
대리점 1
드래그로 회전 · 스크롤로 확대·축소 · 장비나 현황판 클릭 시 표시
UF200 (TSK 8인치)
1998년 이후에 설치된 TSK 8인치 주력 기종으로, UF200A 표준 사양으로 전체를 정비합니다.
- 웨이퍼
- 5 / 6 / 8인치
- 종합 정밀도
- 5µm
- 기동 시간
- 약 70초
- 웨이퍼당 다이
- 최대 10만 개
UF200 바코드 스캐너와 LOT 입력
바코드 스캐너가 중계기를 거쳐 LOT를 장비 표준 바코드 인터페이스에 기록하며, 검증을 통과하지 못하면 전송하지 않습니다.
- 연동
- 표준바코드 인터페이스
- LOT 검증
- 18자 상한
- 추출 규칙
- 정규식현장 바코드에 맞춰 설정
- 장비 프로그램
- 변경 없음
프로버 인포메이션 박스
장비 외부에 설치해 생산량, 프로브 카드 누적 접촉 횟수, 웨이퍼 형상을 읽어냅니다.
- 연동
- 외장형본체 변경 없음
- 수집
- 설정 카드+ 런타임 메모리
- 화면
- 4페이지 현황판
- 출처
- 페이지별등급 표기
UF3000 (ACCRETECH 8/12인치)
2005년 이후의 ACCRETECH 12인치 기종으로, 8인치와 12인치 웨이퍼를 모두 지원합니다.
- 웨이퍼
- 200 / 300mm
- 종합 정밀도
- ±2µm · 공개 자료
- 척 톱 온도 제어
- −40…200°C · 다단계
- 플랫폼
- 2002년부터
UF3000ex (ACCRETECH 12 인치)
UF3000 시리즈 가운데 고핀수, 대접촉력 프로브 카드용 등급입니다.
- 척 하중 · 표준
- 300kgf
- 척 하중 · 고강성
- 450kgf
- 종합 정밀도
- ±1µm · 공개 자료
- 본체 중량
- 약 1,650kg
AP3000 (ACCRETECH 12인치)
상부의 bridge beam은 제거할 수 없으며, 프로브 카드와 지그 방안은 이 제약에 맞춰 설계합니다.
이 공정은 당사의 프로브 카드와 지그 서비스 대상이며, 장비 자체는 공급 목록에 포함되지 않습니다.
P-12XL (TEL 12인치)
도쿄일렉트론의 12인치 플랫 톱 기종으로, 2004년 전후에 설치되었습니다.
- 웨이퍼
- 300 / 200mm
- 종합 정밀도
- X/Y ±4µm · 공개 자료
- 척 하중 · 표준
- 80kgf
- 본체 중량
- 약 1,640kg
Advantest V93000 도킹 셀(Docking)
테스트 헤드를 아래로 뒤집어 프로버의 헤드 플레이트에 하드 도킹합니다.
당사가 공급하는 93000 PS400 구성은 전체 정비를 거치며 1년 보증이 포함됩니다(2023년 공급 조건 기준).
Advantest T5833 도킹 셀(Docking)
메모리 테스터로, 테스트 헤드가 아래를 향해 프로버의 헤드 플레이트를 누릅니다.
해당 플랫폼용 motherboard / WMB를 자체 개발했으며 32 TOM 구성을 포함합니다.
Teradyne M5 (Magnum 5) 도킹 스테이션 (Docking)
전자부가 본체에 통합되어 있으며 K52 인터페이스를 통해 프로브 카드에 직결됩니다.
판매와 수리 범위에 Magnum 5가 포함되며, 자체 개발한 프로브 카드 테스트 솔루션을 해당 플랫폼에 적용했습니다.
Advantest EVA100 케이블 연결 스테이션(Cable)
데스크톱형 테스트 유닛을 거치대에 놓고 플랫 케이블 한 다발로 프로버에 연결합니다.
당사는 EVA100을 테스트 프런트엔드로 사용해 소켓과 프로브 카드 테스트 솔루션을 구성합니다.
다공식 금도금 척
3,000개 이상의 촘촘한 흡착 구멍, 금도금 표면, 홈 없음, 평탄도 5 µm입니다.
- 흡착 구멍
- 3,000+개
- 표면
- 금도금홈 없음
- 평탄도
- 5µm
- 적용
- APM90A· UF200 시리즈
생산 현황판 · 가동 종합 화면
이 배치가 무엇을 돌리고 있는지, 어디까지 진행됐는지, 어떤 상태인지를 한 화면에 표시합니다.
- 데이터
- 읽기 전용장비 카운터에서 수집
- 수집 실패
- --추정·보충 없음
생산 현황판 · UF200 실시간 화면
장비 고유 화면을 읽기 전용으로 웹과 현황판에 미러링합니다.
- 미러링
- 읽기 전용원본 그대로 표시
- 원격 조작
- 옵션기본은 읽기 전용
생산 현황판 · 외장형 웨이퍼 맵
웨이퍼 전체의 다이 맵과 각 연결 상태를 한 화면에 표시합니다.
- 미연결 링크
- NOT CONNECTED
- 어댑터
- READ ONLY
생산 현황판 · SECS/GEM · EAP 인터페이스
장비 고유 GEM / HSMS 프로그램을 확인하고, 확인할 수 있는 인터페이스 범위부터 구분합니다.
- 계층별 표기
- 증거 확보/ 추정 대기 / 차단
- OHT
- 미포함AMHS는 업그레이드 방안
노후 장비 개조와 연동
장비 본체는 바꾸지 않고, 장비 외부에 제어 시스템, 바코드, 데이터 계층을 더합니다. 데스크톱 브라우저에서는 라인 위의 시점 버튼으로 프로버, 도킹 구역, 현황판 앞에 서서 둘러볼 수 있습니다.
개념도
개조
uP200A 제어 시스템 업그레이드
APM90A와 UF200 시리즈의 제어 시스템을 교체해 웨이퍼당 25만 개 다이를 지원합니다.
개념 모델프로버 정보 박스
장비 외부에 설치해 생산량, 프로브 카드 누적 접촉 횟수, 웨이퍼 형상을 읽어냅니다.
개념 모델바코드 스캐너와 LOT 입력
판독값을 중계기를 거쳐 장비 표준 바코드 인터페이스에 기록하며, LOT 검증은 18자까지입니다.
개념 모델 · 흡착 구멍은 그리지 않음다공식 금도금 척
3,000개 이상의 흡착 구멍, 금도금, 홈 없음. APM90A와 UF200 시리즈에 적용됩니다.
가동 중인 프로버
북쪽 열의 8 / 12인치 프로버 6대입니다. 정비품 공급 장비는 한 대씩 시리얼 번호, 구성, 상태를 확인한 뒤 인도하며, 재고는 약 100대입니다(2026-08 기준).
개념 모델APM90A · 8인치
도쿄정밀 UF200의 이전 세대로, 1994~1997년에 다수가 설치되었습니다.
개념 모델UF200 · 8인치
우시 정비 거점에서 UF200A 표준 사양으로 전체 정비하고 모든 기능을 활성화합니다.
개념 모델UF3000 · 8 / 12인치
전체 정비, 파라미터 재확인과 현장 설치. 상온 및 고온·저온 구성이 있습니다.
개념 모델UF3000ex · 12인치
척 하중은 표준 300 kgf, 고강성 구성 450 kgf이며 견적 전에 장비마다 확인합니다.
개념 모델P-12XL · 12인치
척 하중은 표준 80 kgf, P-12XLn은 100 kgf이며 문의 시 먼저 사양 등급을 확인합니다.
개념 모델AP3000 · 12인치
프로브 카드와 지그 서비스 대상이며, 장비 자체는 공급 목록에 포함되지 않습니다.
테스터 도킹
남쪽 열의 4개 공정에서 테스터가 각각 프로버 한 대에 도킹하거나 케이블로 연결됩니다.
개념 모델Advantest V93000
93000 PS400 구성 전체 정비, 1년 보증 포함.
개념 모델Advantest T5833
해당 플랫폼용 motherboard / WMB를 자체 개발했으며 32 TOM 구성을 포함합니다.
개념 모델Teradyne Magnum 5
판매와 수리를 맡으며, 자체 개발한 프로브 카드 테스트 솔루션을 해당 플랫폼에 적용했습니다.
개념 모델Advantest EVA100
테스트 프런트엔드로 사용해 소켓과 프로브 카드 테스트 솔루션을 구성합니다.
이 페이지는 중고 장비의 정비, 개조, 인도 서비스를 소개합니다. 본문의 원제조사 기종명은 당사가 맡을 수 있는 장비의 범위를 밝히기 위한 것일 뿐, 해당 제조사의 승인·인증·보증을 받았음을 뜻하지 않습니다. 개조와 재생은 당사가 직접 수행하며 그에 따른 책임도 당사가 집니다. 라인은 실제 기종과 실제 화면을 바탕으로 만든 개념 장면이며, 그중 OHT는 업그레이드 솔루션이 연동할 수 있는 AMHS 자재 흐름을 나타낼 뿐 이 라인의 구성에는 포함되지 않습니다. 바코드 스캐너와 정보 박스는 당사가 자체 개발하는 프로젝트이며, 각 단계는 페이지의 칩 표시를 따릅니다.
개발 중
생산 현황판
벽면의 현황판 4개는 정보 박스의 실제 화면입니다. 모든 수치는 장비 자체의 카운터와 설정에서 가져오며, 가져오지 못한 값은 모두 --로 표시하고 추정하거나 보충하지 않습니다.
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기종에 맞춰 맡을 수 있는 범위와 방안을 회신해 드립니다.