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- 조밀 흡착홀
- 3,000+개홈 흡착을 대체
- 평탄도
- 5µm전면 기준
- 표면 처리
- 금도금뒷면 통전과 내마모 확보
- 구조
- 홈 없음전면 접촉
뒷면 통전이므로 전면이 접촉해야 합니다
뒷면으로 통전하는 소자의 테스트에서는 웨이퍼와 척 톱 사이에 홈이 있어서는 안 됩니다.이 척 톱은 홈 흡착 대신 조밀 흡착홀을 사용하고, 표면은 금도금이며 전면 평탄도는 5 µm입니다.
개념도, 축척 아님. 위는 평면도, 아래는 단면도이며 홈과 홀의 배열은 개념 표현입니다.
적용 분야
MOSFET 뒷면 통전 테스트
소자 뒷면이 척 톱과 전면에서 통전해야 하며 홈 위치에서는 접촉이 빠집니다.그 외 소자는 샘플로 확인합니다.
노후 기종 소모품 교체
가동 중인 APM90A와 UF200 시리즈의 척 교체로, 장비 전체를 바꿀 필요가 없습니다.
테스트 수율 점검
접촉 불량이 특정 위치에 몰릴 때 먼저 유지면 평탄도와 흡착 균일성을 확인합니다.
가동 중 척 톱 수리
척 톱은 프로버의 소모 부품입니다. 가동 중인 척 톱은 세정, 재도금과 평탄도 재측정으로 수리할 수 있습니다.
기종 확인부터 장착 검증까지
- 기종 확인APM90A 또는 UF200 시리즈에 따라 척 톱 치수와 인터페이스를 정하며 시리즈 간 호환되지 않습니다.
- 소자 확인뒷면 통전 방식과 접촉 요건을 확인하며 홀 지름 분포와 도금층은 용도에 따라 선택합니다.
- 제작과 납품기종에 맞춰 제작합니다. 진공면은 별도 보호하며 검사 기록을 함께 제공합니다.
- 장착과 검증현장에서 교체한 뒤 흡착 균일성과 접촉 상태를 재측정하며 실측 접촉 결과를 기준으로 합니다.
사양
전체 사양표 (6개 항목)
| 항목 | 사양 | 설명 |
|---|---|---|
| 흡착홀 수 | 3,000개 이상의 조밀 흡착홀 | 홈 구조를 쓰지 않음 |
| 표면 처리 | 금도금 | 뒷면 통전과 내마모 확보 |
| 평탄도 | 5 µm | 전면 기준 |
| 대응 기종 | 도쿄정밀 ACCRETECH APM90A, UF200 시리즈, UF200A 시리즈, UF200R 시리즈 | 기종 치수에 맞춰 제작하며 시리즈 간 호환되지 않음 |
| 주요 용도 | MOSFET 등 뒷면 통전 소자 테스트 | 그 외는 샘플로 확인 |
| 공급 주체 | 상하이 원란 무역상행 | 장비 본체 공급 주체와 다름 |
수명, 흡착력과 온도 상한은 자료에 제시되어 있지 않으며 사용 조건에 따라 확인합니다. 기재되지 않은 지표는 기술 사양서에 따릅니다.
본문의 원제조사 기종명은 당사가 맡을 수 있는 장비의 범위를 밝히기 위한 것일 뿐, 해당 제조사의 승인·인증·보증을 받았음을 뜻하지 않습니다. 개조와 재생은 당사가 직접 수행하며 그에 따른 책임도 당사가 집니다. 척 톱은 상하이 원란 무역상행이 공급합니다.
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