이 척 톱을 장착하는 프로버

3000홀 이상 · 홈 없음 · 평탄도 5 μm

다공식 금도금 척 톱

뒷면으로 통전하는 소자는 홈이 있는 척에서 홈 위치마다 접촉이 끊깁니다. 이 척 톱은 홈 대신 3000개가 넘는 조밀 흡착홀로 유지하고, 표면은 뒷면 통전과 내마모를 위해 금도금하며, 전면에서 평탄도 5 μm를 확보합니다. 프로버 소모 부품이며 기종에 맞춰 제작합니다.

프로버 카테고리 이미지. 척 톱은 그 위의 유지 부재로 기종 치수에 맞춰 제작합니다.
흡착홀3000홀 이상홈 흡착을 대체
표면금도금뒷면 통전과 내마모
구조홈 없음전면 접촉
평탄도5 μm전면
장비 및 엔지니어링 솔루션

적용 분야

프로브 카드 제작, 테스트와 유지보수의 주요 적용 분야입니다.

MOSFET 뒷면 통전 테스트

소자 뒷면이 전면에서 통전해야 하며 홈 위치에서 접촉이 빠집니다.

가동 중 장비 소모품 교체

운용 중인 APM90A와 UF200 시리즈의 척 교체.

접촉 불량 원인 분리

불량이 특정 위치에 몰릴 때 먼저 유지면 평탄도와 흡착 균일성을 확인합니다.

SPECIFICATIONS

주요 사양

최종 구성은 카드, 인터페이스, 설치 조건과 인수 항목에 맞춰 결정합니다.

항목사양 / 구성비고
홀 수3000개 이상의 조밀 흡착홀홈 구조를 쓰지 않음
표면 처리금도금뒷면 통전과 내마모 확보
평탄도5 μm전면 기준
대응 기종도쿄정밀 ACCRETECH APM90A, UF200, UF200A, UF200R 시리즈기종 치수에 맞춰 제작
주요 용도MOSFET 등 뒷면 통전 소자 테스트그 외는 샘플로 확인
공급 주체상하이 원란 무역상행장비 본체 공급 주체와 다름
WORKFLOW

운영 절차

기종 확인

APM90A인지 UF200 시리즈인지에 따라 척 치수와 인터페이스 확정

시리즈 간 호환 없음

소자 확인

뒷면 통전 방식과 접촉 요건 확인

금도금 면 필요 여부 판단

제작과 납품

기종에 맞춰 제작해 납품

소모 부품으로 사용 상황에 따라 교체

장착과 검증

장착 후 흡착 균일성과 테스트 결과 확인

실측 접촉 결과 기준

FAT / SAT

프로젝트 진행

01

샘플 평가

대상, 인터페이스, 현재 상태, 불량 유형과 평가용 샘플을 확인합니다.

02

기술 사양서

장비 구성, 측정 방법, 판정값, takt, 데이터 연계와 책임 범위를 확정합니다.

03

FAT

합의한 샘플로 기능, 반복성, 보고서와 이상 처리를 확인합니다.

04

SAT

현장 연결, 교육, 상하위 인터페이스와 잔여 문제 처리를 완료합니다.

CONFIGURATION

구성 및 인수 조건

시스템 구성, 선택 기능과 인수 조건을 아래에 정리했습니다.

출처

홀 수, 금도금, 무홈 구조, 평탄도 5 μm, 대응 기종은 모두 다공 척 제품 자료에 근거합니다.

미공개 항목

수명, 유지력, 상한 온도는 자료에 없으며 사용 조건별로 확인이 필요합니다.

공급 주체

본 제품은 상하이 원란 무역상행이 공급하며 프로브 카드 장비 공급 주체와 다릅니다.

카드 사양과 연결 조건을 알려주십시오

샘플, 기존 장비, 현재 문제와 목표 takt를 보내주십시오. 1영업일 이내에 접수 여부를 안내합니다.