프로브 카드 조립 장비 카테고리 이미지

픽업 · 정렬 · 마이크로 용접 · 용접 후 폐루프 검증

MEMS 프로브 카드 니들 조립 및 레이저 마이크로 용접 장비

장비는 프로브, 기판, 지그, 위치 기준에 맞춰 니들 조립과 마이크로 용접 스테이션을 구성합니다. 프로브는 픽업 그리퍼, 정렬 스테이지, 용접 그리퍼의 3단 인계를 거쳐 레이저 마이크로 용접되며 용접 후 오토포커스 검사로 위치를 확인합니다. 수율을 결정하는 것은 용접 동작 자체가 아니라 용접 직후에 불량을 잡아낼 수 있는지입니다. 그 부분은 PCT5801 전기 검사와 DeepTouch1000 카드 전체 압착 검증이 담당합니다.

프로브 카드 조립 장비 카테고리 이미지. 실제 픽업·정렬·레이저 마이크로 용접 스테이션은 니들 종류, 카드 사양과 샘플에 맞춰 설계합니다.
공정픽업 → 정렬 → 용접
접합레이저 마이크로 용접
용접 후 검사오토포커스 검사
폐루프PCT5801 + DeepTouch1000
각 항목의 문장 설명
공정
3단 그리퍼 인계
접합
접합 상태를 비전으로 확인
용접 후 검사
용접 위치와 접촉면 확인
폐루프
전기와 카드 전체 기계 이중 검증
장비 및 엔지니어링 솔루션

적용 분야

프로브 카드 제작, 테스트와 유지보수의 주요 적용 분야입니다.

신규 카드 도입

수작업 표준화

조립 품질 추적

각 항목의 문장 설명
신규 카드 도입
프로브 형상, 기판과 위치 기준으로 공정 조건과 지그를 만듭니다.
수작업 표준화
작업 순서를 레시피로 관리하고 이미지, 판정과 이상 조치를 기록합니다.
조립 품질 추적
AOI, XYZ, 팁 높이·하중과 전기 결과를 조립 로트에 연결합니다.
SPECIFICATIONS

주요 사양

최종 구성은 카드, 인터페이스, 설치 조건과 인수 항목에 맞춰 결정합니다.

대상MEMS 및 프로젝트 정의 프로브 / 기판 조합니들 종류, 재료, 기준은 샘플로 확인
픽업 스테이션트레이에서 프로브를 꺼내 정렬 스테이지로 이송슬롯 폭과 니들 두께의 틈새는 니들 종류에 따라 설계
정렬 스테이션정렬 스테이지에서 자세와 위치 보정고정단과 가동단의 동일 평면도가 인계 변형을 좌우
용접 스테이션용접 그리퍼로 이재 후 레이저 마이크로 용접 수행에너지와 유지 시간은 레시피로 관리
그리퍼 요건고정단과 가동단, 공압 구동파지 틈새는 니들 두께에 정합: 너무 넓으면 파지력 부족, 너무 좁으면 니들 손상
용접 후 검사오토포커스로 용접 위치 확인웨이퍼 전기 테스트 시 접촉 위치 기준으로도 사용
전체 사양표 보기
항목사양 / 구성비고
레시피와 추적작업 지시, 재료, 작업자, 레시피 버전, 공정 결과버전 추적과 리뷰 지원
조립 후 검증AOI, 프로브 팁 XYZ, Pin Force, 전기 검사인수 방법에 따라 조합 선택
안전동작 범위, 지그 인터록, 이상 정지장비 리스크 평가로 확인
WORKFLOW

운영 절차

  1. 01

    픽업

  2. 02

    정렬

  3. 03

    용접

  4. 04

    검증

각 항목의 문장 설명
픽업
픽업 그리퍼가 트레이에서 프로브를 꺼내 정렬 기준면에 밀착 인계 과정에서 추가 변형을 주지 않는 것이 정밀도의 전제
정렬
정렬 스테이지가 파지하여 자세를 보정 그리퍼의 동일 평면도와 직각도가 핵심 조립 지표
용접
용접 그리퍼가 이재한 뒤 레이저 마이크로 용접 수행 접합 일관성은 비전과 레시피로 관리
검증
오토포커스로 위치 확인 후 PCT5801과 DeepTouch1000으로 연계 조립 단계에서 용접 문제를 특정
FAT / SAT

프로젝트 진행

01

샘플 평가

02

기술 사양서

03

FAT

04

SAT

각 항목의 문장 설명
샘플 평가
대상, 인터페이스, 현재 상태, 불량 유형과 평가용 샘플을 확인합니다.
기술 사양서
장비 구성, 측정 방법, 판정값, 택트, 데이터 연계와 책임 범위를 확정합니다.
FAT
합의한 샘플로 기능, 반복성, 보고서와 이상 처리를 확인합니다.
SAT
현장 연결, 교육, 상하위 인터페이스와 잔여 문제 처리를 완료합니다.
CONFIGURATION

구성 및 인수 조건

시스템 구성, 선택 기능과 인수 조건을 아래에 정리했습니다.

공정 파라미터

위치 정밀도와 UPH는 대상 프로브, 기판, 지그의 샘플 실험으로 결정합니다. 고객 공통의 범용 수치는 대외 공표하지 않습니다.

폐루프 역량

용접 후 전기 검증은 PCT5801이, 카드 전체 압착과 프로브 팁 3차원 검사는 DeepTouch1000이 담당하여 이상을 특정 니들 위치까지 추적합니다.

납품 내용

지그, 알고리즘, 택트, 후검사 조합을 기술 협정서에 명기하고 FAT/SAT에서 검증합니다.

카드 사양과 연결 조건을 알려주십시오

샘플, 기존 장비, 현재 문제와 목표 택트를 보내주십시오. 1영업일 이내에 접수 여부를 안내합니다.