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주요 수치
- 기동 시간
- 40초기존: APM90A 약 180초, UF200 70초
- 웨이퍼당 지원 다이
- 25만 개기존: APM90A 약 6만, UF200 10만
- 연산 속도
- 3배UF200 기준 · 자료 표기
- 인터페이스
- 중국어기존은 영어／일본어
같은 프로버, 다른 제어 시스템
제어 시스템을 교체해 업그레이드하며 기계 본체와 기존 프로브 카드, 소모품은 그대로 사용합니다. 기동 시간, 웨이퍼당 다이 상한, 인터페이스와 데이터 전송이 바뀝니다.
업그레이드 절차
- 01기종과 상태 확인
원 장비 모델, 제어 시스템 상태, 기존 소모품을 확인하여 업그레이드 범위를 정합니다.
- 02데이터와 인터페이스 확인
MAPPING 데이터 형식과 호스트 시스템 인터페이스를 확인합니다. GPIB／TTL과 네트워크가 해당됩니다.
- 03업그레이드 실시
현장에서 제어 시스템을 교체하고 기계 본체와 프로브 카드·소모품은 유지합니다.
- 04검증
기동 시간, 다이 수, 정렬, MAPPING 출력을 실측 기준으로 확인합니다.
적용 분야
가동 장비의 능력 한계
기계는 아직 쓸 수 있으나 제어 시스템의 다이 상한과 택트가 병목입니다. 업그레이드 후 웨이퍼당 25만 개 다이를 지원하며, 연산 속도는 자료 표기로 UF200의 3배입니다.
인터페이스와 데이터 형식 제약
원 장비는 영어／일본어 UI이며 데이터 전송은 플로피만 또는 플로피와 네트워크입니다. 업그레이드 후에는 중국어 인터페이스가 되고 UF200／UF200A 데이터 형식과 호환됩니다. 데이터는 플로피, 광자기 디스크 MO 또는 네트워크로 전송할 수 있습니다.
기존 소모품 자산 유지
APM90A와 UF200의 프로브 카드와 소모품을 그대로 사용하므로 재구매가 필요 없습니다. 현장에서 제어 시스템을 교체하며 기계 본체는 유지합니다.
자동 정렬과 실시간 MAPPING
패드 자동 정렬, 팁 자동 정렬·세정, 페일 마크 검사. 멀티 프로브와 멀티 bin 출력을 지원하며 LCD 터치 모니터에 MAPPING을 실시간으로 표시합니다. GPIB／TTL 인터페이스로 호스트 시스템과 연동합니다.
업그레이드 대상과 범위
업그레이드 대상은 도쿄정밀 APM90A와 UF200 시리즈 가동 중인 프로버입니다. 4, 5, 6, 8인치 웨이퍼를 지원하며 하위 호환됩니다. 신세대 프로버는 적용 대상이 아닙니다.
UF200의 이전 세대에 해당하는 8인치 전자동 프로버로, 1994–1997년 사이에 한국·일본·대만 지역에 다수 설치되었습니다.
1998년 이후 설치된 TSK 8인치 주력 기종입니다.
업그레이드 기간, 공급 가능 부품 범위와 보증 조건은 장비 상태에 따라 확인합니다.
본문의 원제조사 기종명은 당사가 맡을 수 있는 장비의 범위를 밝히기 위한 것일 뿐, 해당 제조사의 승인·인증·보증을 받았음을 뜻하지 않습니다. 개조와 재생은 당사가 직접 수행하며 그에 따른 책임도 당사가 집니다.
실물 사진사양
전체 사양표 (15개 항목)
| 항목 | 사양 | 설명 |
|---|---|---|
| 업그레이드 대상 | 도쿄정밀 APM90A, UF200 시리즈 가동 중인 프로버 | 기계 본체 유지 |
| 지원 웨이퍼 | 4, 5, 6, 8인치 | 하위 호환 |
| 기동 시간 | uP200A 40초, UF200 70초, APM90A 약 180초 | 자료 비교표 |
| 지원 다이 수 | uP200A 25만, UF200 10만, APM90A 약 6만 | 웨이퍼당 |
| 연산 속도 | UF200의 3배 | 자료 표기 |
| 인터페이스 | 중국어 | 기존은 영어／일본어 |
| 데이터 전송 | 플로피, 광자기 디스크 MO, 네트워크 | 원 장비는 플로피만 또는 플로피와 네트워크 |
| 데이터 형식 | UF200／UF200A 데이터 형식 호환 | APM90A 원 장비는 비호환 |
| 소모품 호환 | APM90A와 UF200 프로브 카드·소모품 호환 | 재구매 불필요 |
| 종합 정밀도 | 5 µm | 자료 표기 |
| 척 | 8인치 니켈／금 가열 척 | 8인치 제어 모듈 포함 |
| 기능 | 패드 자동 정렬, 팁 자동 정렬·세정, 페일 마크 검사, 멀티 프로브, 멀티 bin 출력, 실시간 MAPPING 표시 | LCD 터치 모니터 |
| 인터페이스 | GPIB／TTL | 호스트 시스템 연동 |
| 유틸리티 | 압축 공기 >0.4 MPa, 진공 >-53 kPa, 단상 220 V, 최대 부하 전류 6 A, 최대 소비 1.5 kVA | 설치 조건 충족 필요 |
| 공급 주체 | 상하이 원란 무역상행 / 상하이 루더 집적회로 | 프로브 카드 장비 공급 주체와 다름 |
기동 시간, 지원 다이 수, 데이터 전송, 호환성 비교는 uP200A 제품 카탈로그의 기종 대조표에 근거합니다. 기재되지 않은 지표는 기술 사양서에 따릅니다.
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원 장비 모델,제어 시스템 상태와 기존 소모품을 알려주십시오
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