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메모리와 HBM: 핀 수, 채널, 압착력

웨이퍼 전체에 한 번에 접촉할 때 HBM 카드의 핀 수는 기본 카드의 20배에 가깝습니다. 이 글에서는 핀 수가 테스터 채널, 테스트 커버리지, 척 하중에 미치는 영향을 설명합니다.

기술 문서NAND, NOR, DRAM, HBM 프로브 카드 대상관련 장비: PCT5801 · DeepTouch1000

핀 수는 디바이스가 결정합니다

프로브 카드의 핀 수는 피측정 디바이스가 결정합니다. 메모리 프로브 카드는 웨이퍼 전체에 한 번에 접촉하며, 기본 카드는 16,000핀, DRAM 카드는 60,000핀입니다. HBM 카드에서는 핀 수가 기본 카드의 20배에 가깝습니다.

PCT5801 현행 플랫폼의 카드 측 핀 수 용량은 67,000핀입니다. DRAM과 HBM급 카드는 카드 종류, motherboard, tester 인터페이스에 맞춰 별도로 설계합니다. 본문의 핀 수는 모두 카드 측 핀 수를 가리킵니다.

웨이퍼 전체 일괄 접촉 시 디바이스에 필요한 핀 수: 기본 카드 16,000, DRAM 카드 60,000, HBM 카드는 기본 카드의 20배에 가까움. 파란 점선은 PCT5801 현행 플랫폼의 카드 측 핀 수 용량 67,000디바이스 필요 핀 수 · 웨이퍼 전체 일괄 접촉기본 카드16,000DRAM 카드60,000HBM 카드약 20배PCT5801 현행 플랫폼 카드 측 핀 수 용량 67,000
웨이퍼 전체 일괄 접촉 시 디바이스에 필요한 핀 수: 기본 카드 16,000, DRAM 카드 60,000, HBM 카드는 기본 카드의 20배에 가까움. 파란 점선은 PCT5801 현행 플랫폼의 카드 측 핀 수 용량 67,000디바이스 필요 핀 수 · 웨이퍼 전체 일괄 접촉기본 카드16,000DRAM 카드60,000HBM 카드약 20배PCT5801 현행 플랫폼카드 측 핀 수 용량 67,000
개념도: 막대 길이는 디바이스에 필요한 핀 수의 비율로 그렸으며, 파란 점선은 PCT5801 현행 플랫폼의 카드 측 핀 수 용량입니다.

네 가지 값, 하나의 경로

하나의 경로에 네 가지 값이 있습니다. 카드 측 핀 수, 매트릭스 노드, 테스터 채널, 계측 리소스입니다.

네 가지 값, 하나의 경로: 카드 측 핀 수 67,000 pin(PCT5801 현행 플랫폼 용량) → 매트릭스 노드 65,536(1,024 / 장 × 최대 64장) → 테스터 채널 16,384(표준 구성, 최대 구성 65,536) → 계측 리소스(PMU, DPS, 디지털 유닛, 탑재한 유닛에 따라 결정)프로브 카드PCT5801 테스트 시스템PMUDPS디지털 유닛카드 측 핀 수67,000 pinPCT5801 현행 플랫폼 용량피측정 디바이스가 결정매트릭스 노드65,5361,024 / 장 × 최대 64장순차 연결, 동시 아님테스터 채널16,384표준 구성최대 구성 65,536계측 리소스구성에 따름PMU · DPS · 디지털 유닛동시 측정, 탑재 유닛이 결정네 숫자는 기준이 달라 바꿔 쓸 수 없습니다
네 가지 값, 하나의 경로: 카드 측 핀 수 67,000 pin(PCT5801 현행 플랫폼 용량) → 매트릭스 노드 65,536(1,024 / 장 × 최대 64장) → 테스터 채널 16,384(표준 구성, 최대 구성 65,536) → 계측 리소스(PMU, DPS, 디지털 유닛, 탑재한 유닛에 따라 결정)카드 측 핀 수67,000 pinPCT5801 현행 플랫폼 용량피측정 디바이스가 결정매트릭스 노드65,5361,024 / 장 × 최대 64장순차 연결, 동시 아님테스터 채널16,384표준 구성최대 구성 65,536PMUDPS디지털 유닛계측 리소스구성에 따름PMU · DPS · 디지털 유닛동시 측정, 탑재 유닛이 결정네 숫자는 기준이 달라 바꿔 쓸 수 없습니다
개념도: 수치는 PCT5801 현행 플랫폼 기준입니다.

핀과 스캔 경로

카드 측 핀 수와 스캔 경로는 서로 다른 값이며, 정의는 용어 페이지를 참조하십시오.

채널과 계측 리소스

테스터 채널과 계측 리소스의 산정 기준은 용어 페이지에서 정의합니다.

모든 핀을 커버하는 테스트

PCT5801의 Open, Short, Leakage, AC 테스트는 전체 핀 또는 전체 채널에 대해 수행합니다. Leakage는 전 핀 대 핀 테스트로 수행하며 판정 기준은 10 nA입니다.

릴레이 매트릭스의 채널 용량은 핀 수 요구에 따라 확장하며, 작업 시간은 핀 수와 구성에 따라 달라집니다. 전기 이상은 카드 위 좌표로 연결하고, 프로브 팁 XYZ, 하중, 접촉 상태로 물리적 원인을 설명합니다.

제어 신호 테스트는 MCW, FPGA, ASIC, I²C, SPI 제어 리소스를 검증합니다. 아날로그 측정은 Kelvin 4단자 방식을 사용하며 DPS 디바이스 전원을 함께 구성합니다.

개념도: 앞의 다섯 항목은 PCT5801이, 프로브 팁 XYZ는 DeepTouch1000이 수행합니다. 핀 수와 비율은 실물과 다릅니다.
PCT5801 테스트 메인 화면 캡처: DUT, ZIF, 핀 위치별로 핀마다 Open 저항과 누설 전류를 나열
PCT5801 테스트 메인 화면 · 캡처

모든 핀이 기록됩니다

테스트 메인 화면은 DUT, ZIF, 핀 위치별로 모든 핀을 나열합니다. Open 저항과 누설 전류를 각각 판정하여 추적 가능한 리포트를 만듭니다.

카드 전체 압착과 척 하중

웨이퍼 전체에 한 번에 접촉할 때는 카드 전체의 핀이 동시에 접촉합니다. 총 하중은 동시 접촉 핀 수, 핀당 접촉력, overdrive, 안전 계수에 따라 정해집니다.

고핀수 카드는 UF3000, P-12XL 같은 범용 프로버에서 척 하중의 제약을 받습니다. DeepTouch1000은 이를 위해 개발되었으며 척 하중은 1,000 kgf이고 전부하 실측값입니다.

단계적으로 1,000 kgf까지 하중을 가할 때 Z축 직진도는 < 0.2 µm입니다. 척 평면도 편차는 ≤ 10 µm(3 mm 행정)이며 세 번의 가압 결과가 일치합니다.

최종 지원 핀 수는 구체적인 카드 종류와 FAT/SAT 방안에 따라 확정합니다.

카드 전체 동시 접촉 개념도: 척이 아래에서 압착하며 총 하중은 동시 접촉 핀 수, 핀당 접촉력, overdrive, 안전 계수에 따라 정해짐프로브 카드척척 하중접촉 핀 수핀당 접촉력overdrive총 하중을 정하는 요소:동시 접촉 핀 수 · 핀당 접촉력 · overdrive · 안전 계수
척 하중 비교: DeepTouch1000 척 하중 1,000 kgf, 전부하 실측척 하중 · kgf01,000DeepTouch10001,000 kgf · 전부하 실측약 9.81 kNUF3000, P-12XL 등 범용 프로버:고핀수 카드는 척 하중에 제약을 받음
개념도: 압착 개념도는 축척이 아니며, 척 하중 비교의 막대 길이는 비율에 맞춰 그렸습니다.

카드 종류, 핀 수, 테스터 플랫폼을 알려 주십시오

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