메모리와 HBM: 핀 수, 채널, 압착력
웨이퍼 전체에 한 번에 접촉할 때 HBM 카드의 핀 수는 기본 카드의 20배에 가깝습니다. 이 글에서는 핀 수가 테스터 채널, 테스트 커버리지, 척 하중에 미치는 영향을 설명합니다.
핀 수는 디바이스가 결정합니다
프로브 카드의 핀 수는 피측정 디바이스가 결정합니다. 메모리 프로브 카드는 웨이퍼 전체에 한 번에 접촉하며, 기본 카드는 16,000핀, DRAM 카드는 60,000핀입니다. HBM 카드에서는 핀 수가 기본 카드의 20배에 가깝습니다.
PCT5801 현행 플랫폼의 카드 측 핀 수 용량은 67,000핀입니다. DRAM과 HBM급 카드는 카드 종류, motherboard, tester 인터페이스에 맞춰 별도로 설계합니다. 본문의 핀 수는 모두 카드 측 핀 수를 가리킵니다.
네 가지 값, 하나의 경로
하나의 경로에 네 가지 값이 있습니다. 카드 측 핀 수, 매트릭스 노드, 테스터 채널, 계측 리소스입니다.
모든 핀을 커버하는 테스트
PCT5801의 Open, Short, Leakage, AC 테스트는 전체 핀 또는 전체 채널에 대해 수행합니다. Leakage는 전 핀 대 핀 테스트로 수행하며 판정 기준은 10 nA입니다.
릴레이 매트릭스의 채널 용량은 핀 수 요구에 따라 확장하며, 작업 시간은 핀 수와 구성에 따라 달라집니다. 전기 이상은 카드 위 좌표로 연결하고, 프로브 팁 XYZ, 하중, 접촉 상태로 물리적 원인을 설명합니다.
제어 신호 테스트는 MCW, FPGA, ASIC, I²C, SPI 제어 리소스를 검증합니다. 아날로그 측정은 Kelvin 4단자 방식을 사용하며 DPS 디바이스 전원을 함께 구성합니다.

모든 핀이 기록됩니다
테스트 메인 화면은 DUT, ZIF, 핀 위치별로 모든 핀을 나열합니다. Open 저항과 누설 전류를 각각 판정하여 추적 가능한 리포트를 만듭니다.
카드 전체 압착과 척 하중
웨이퍼 전체에 한 번에 접촉할 때는 카드 전체의 핀이 동시에 접촉합니다. 총 하중은 동시 접촉 핀 수, 핀당 접촉력, overdrive, 안전 계수에 따라 정해집니다.
고핀수 카드는 UF3000, P-12XL 같은 범용 프로버에서 척 하중의 제약을 받습니다. DeepTouch1000은 이를 위해 개발되었으며 척 하중은 1,000 kgf이고 전부하 실측값입니다.
단계적으로 1,000 kgf까지 하중을 가할 때 Z축 직진도는 < 0.2 µm입니다. 척 평면도 편차는 ≤ 10 µm(3 mm 행정)이며 세 번의 가압 결과가 일치합니다.
최종 지원 핀 수는 구체적인 카드 종류와 FAT/SAT 방안에 따라 확정합니다.
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