让在役的老探针台,接上现代 fab 与 OSAT 的要求

UF200 是 1990 年代的机器,UF3000 是 2000 年代的机器。它们出厂时,产线还没有条码与二维码扫描、RFID 交接、MES 与 EAP 接入这些要求——不是机台坏了,是它生在那个年代。今天这些要求成了进现代 fab 与 OSAT 的门槛,很多还能干活的机器因此被整台换掉。我们的做法是让老设备焕发青春:升级,而不是淘汰。以 UF200 信息盒为核心,从软件到硬件成套补上这一层——不改机台本体,把它自己知道的事读出来接进厂里的系统,再往外接扫码与批次追溯、EAP 与自动化物流、现代化工厂改造,并以二手探针台、测试机与配件的整备供应作为底盘。这间按真实机型建模的 CP 车间就是落点:墙上四块看板是信息盒的真实画面,北排六台探针台与南排四个对接工位说明我们能接手的范围。点击任一台设备或看板,下方会说明我们在这台机器上做什么。

8 量产供货 · 3 服务机型 · 1 工程化 · 5 工程样机

拖动旋转 · 滚轮缩放 · 点击设备或看板看说明

这间 CP 车间由什么组成,我们接哪几段

工位17
在役机型APM90A → P-12XL
改机台本体不改
对外接口厂网 · MES / EAP
  1. 在役老机
  2. 外挂一层
  3. 读出事实
  4. 接进厂网
  5. 上看板
逐条文字说明
这间 CP 车间由什么组成,我们接哪几段
17 个工位:6 台探针台、4 个测试机对接工位、1 套外挂信息化系统的四个页面、扫码接入与台盘配件。量产供货 8、工程化 1、服务机型 3、工程样机 5。

让老设备焕发青春:升级,而不是淘汰

UF200 是 1990 年代的机器,UF3000 是 2000 年代的机器。不是机台坏了,是它生在那个年代——出厂时产线还没有扫码、RFID 交接、MES 与 EAP 这些要求。今天这些成了进现代 fab 与 OSAT 的门槛,很多还能干活的机器因此被整台换掉。

  1. 你有一台还能干活的老机
  2. 外挂一层,不动本体
  3. 事实接进厂网
  4. 扫码 · RFID · EAP 补齐
  5. 达到现代 fab 的要求
逐条文字说明
机台本体不动
外挂一层采集单元,不改机台程序、不写回机台。
把事实读出来
产量、针卡累计触点、晶圆几何接进厂网与看板。
再往外接
扫码与批次追溯、EAP 与自动化物流、现代化工厂改造。
底盘是整备供应
二手探针台、测试机与配件,按机复核后交付。

点击任一台设备或墙上的生产看板,下方显示做法与对应产品。

量产供货

01 · APM90A(TSK 8 英寸)

还能用的老机台,不必整台换掉

东京精密 APM90A 是 UF200 的前一代 8 英寸全自动探针台,1994–1997 年间在韩国、日本与台湾地区批量装机。

片径4–8 英寸
综合精度5 µm 以内
索引时间250 ms
外形 · 重量1092×1101×880 mm · 约 750 kg

它怎么工作

  1. 上片
  2. 对准
  3. 扎针
  4. 出数据

我们负责什么

  • 供货这一代机器的热卡盘、多孔盘、低温卡盘、自动换卡、GP-IB 全是选件——同型号两台可以完全不同。我们逐台核对选件清单,不按型号推定。
  • 物流整机约 750 kg、约 1.1 m 见方,可整机吊装。拆机前固定清单与状态记录,光学件与承载台单独包装,按目的地安排运输与清关。
  • 翻新整机清洁、气路与真空复检、易损件更换,承载台平坦度与吸附均匀性复测。这一代的存储介质早已停产,换件常牵动配套部件与系统重装,这段工作量我们提前算进去。
  • 安装装机要压缩空气与真空两路厂务同时到位——到货前先确认现场条件,再做就位、调平、通电、联机与逐项验收。

半导体二手设备与工程服务

完整规格与流程

规格

光刻设备ASML PAS5500、XT、NXT 家族型号、软硬件版本和工艺状态逐机确认
探针台Accretech UF200/UF3000、TEL P-12XL 等控制器、选件、接口和附件逐机确认
ATEAdvantest V93000、T5377 等板卡、license、接口和应用状态逐机确认
库存状态询盘时确认提供候选设备的序列号和所在信息
核验资料铭牌、序列号、配置、开机/自检、缺件和外观记录按设备实际条件提供
交付条件包装、物流、保险、报关、安装、厂务与验收责任和条件在报价/合同中明确
工程服务通电检查、接口梳理、数据/镜像备份与恢复支持按设备状态和授权范围执行
探针台范围东京精密 8 英寸 APM90A、UF200、UF200A、UF200SA、UF190B;12 英寸 UF3000、UF3000ex、UF300、UF300A。东京电子 8 英寸 P-8、P-8XL;12 英寸 P-12、P-12XL、P-12XLn资料所载可处理范围,非在库清单;机型名称不表示原厂授权或认证
测试机范围Advantest T3347、T5365、T5371、T5375/6/7/7S、T5581、T5588、T5830、T5833、T2000MS、93000、B6700;Teradyne J973、A580、CATALYST、J750、UltraFlex、Magnum 5同上;Magnum 5 为销售与维修范围及探针卡方案适配,不含整机交付记录
交易方式设备由我方自行进口并完成清关,境内以人民币直接交易并开具 13% 增值税专用发票价格与报价条件按项目单独确认
设备来源东亚、东南亚、欧洲与美洲的设备网络逐台核对序列号、配置与状态

依据与交付记录

库存确认库存、配置和状态以询盘时的具体设备书面资料为准。
设备信息页面图片用于说明设备家族;具体序列号、配置和外观另行提供。
验收依据序列号、配置清单、状态记录和合同验收条款共同构成交付依据。
查看产品详情 →

uP200A 探针台控制系统升级

完整规格与流程

规格

升级对象东京精密 APM90A、UF200 系列在役探针台机械本体保留
启动时间uP200A 40 秒;UF200 70 秒;APM90A 180 秒资料对比表
支援管芯数uP200A 25 万;UF200 10 万;APM90A 6 万单片
支持晶圆4、5、6、8 英寸向下兼容
数据传输软盘、磁光盘 MO、网络原机仅软盘或软盘加网络
数据格式兼容 UF200/UF200A 数据格式APM90A 原机不兼容
耗材兼容兼容 APM90A 与 UF200 针卡及耗材不需重新采购
综合精度5 μm资料标称
承载台8 英寸镍/金可加热承载台配 8 英寸控制模块
功能压点自动对准、针尖自动对准与清洗、失效标记检查、多探针探测、多分 bin 输出、实时 MAPPING 显示液晶触摸监视器
接口GPIB/TTL上位系统对接
公用工程压缩空气 >0.4 MPa;真空 >-53 kPa;单相 220 V;最大负载电流 6 A;最大功耗 1.5 kVA现场条件需满足
供应主体上海雯澜贸易商行 / 上海录德集成电路有限公司与探针卡设备供货主体不同

依据与交付记录

参数出处启动时间、支援管芯数、数据传输与兼容性对比均出自 uP200A 产品目录中的机型对照表。
适用范围本页面向 APM90A 与 UF200 系列老机型的控制系统升级,不适用于新一代探针台。
未公开项升级周期、可用备件范围与保修条件按具体机况确认,资料中未给出通用值。
查看产品详情 →
逐条文字说明
APM90A(TSK 8 英寸)
原生机台启动约 180 秒、界面为英/日文、以软盘传输数据、单片支持约 6 万颗管芯。我们对这一代机台做的是控制系统升级:升级后启动约 40 秒、单片支持 25 万颗管芯、全中文界面,并保持与原机针卡、耗材与数据格式兼容。铭牌写作 A-PM-90A。这类 1990 年代的机器最容易被当作淘汰对象,但只要控制系统与信息化这两层补齐,它仍然能在现代产线上干活。
光刻
具体型号和状态询盘核对
探针台
UF200、UF3000、P-12XL 等家族
测试机
V93000、T5377 等项目范围
交付
逐台设备确认
产线补充设备
按目标型号、选件、厂务和接口核对可用设备。
备件与替代方案
按停产机型、现有工艺和兼容条件查找设备或备件。
跨地区搬迁与恢复
在物流前固定清单、状态、拆装、通电和现场验收责任。
客户行业分布
客户覆盖晶圆厂、封测厂、设计公司自有测试线、探针卡制造商与科研院所。
提交设备需求
说明型号、用途、关键选件、地区、预算和时间窗口。
核对候选设备
确认序列号、配置、附件、状态和可提供的测试记录。
固定交付清单
在报价/合同中写清设备、缺件、物流、安装、厂务和验收。
现场交接
按约定完成到货、安装、通电、功能核对和问题清单。
启动时间
APM90A 为 180 秒
支援管芯
APM90A 6 万、UF200 10 万
运算速度
资料标称
界面
原机为英/日文
老机型产能受限
机械尚可用,但控制系统的管芯上限与节拍成为瓶颈。
界面与数据格式不便
原机为英/日文界面,数据仅能软盘传输。
保留原有耗材投入
希望继续使用原机针卡与耗材,不重新采购。
确认机型与现状
确认原机型号、控制系统状态与现有耗材 决定可升级范围
确认数据与接口
确认 MAPPING 数据格式与上位系统接口 涉及 GPIB/TTL 与网络
实施升级
更换控制系统,保留机械本体与针卡耗材 现场实施
验证
确认启动时间、管芯数、对准与 MAPPING 输出 以实测为准
机器只是其中一段
从找到这一台,到它在你的产线上跑起来,中间这四段由我们接。
量产供货

02 · UF200(TSK 8 英寸)

把等设备的时间,前置到我们的车间

1998 年之后装机的 TSK 8 英寸主力机:适用 5/6/8 英寸晶圆,综合精度 5 µm,8 英寸镍/金可加热承载台,GPIB/TTL 接口,启动约 70 秒,单片最大 10 万颗管芯。

片径5 / 6 / 8 英寸
综合精度5 µm
接口GPIB / TTL
Z 轴承载60 kg

它怎么工作

  1. 上片
  2. 对准
  3. 扎针
  4. 出数据

我们负责什么

  • 供货这一代机器的热卡盘、多孔盘、低温卡盘、自动换卡、GP-IB 全是选件——同型号两台可以完全不同。我们逐台核对选件清单,不按型号推定。
  • 物流整机约 750 kg、约 1.1 m 见方,可整机吊装。拆机前固定清单与状态记录,光学件与承载台单独包装,按目的地安排运输与清关。
  • 翻新整机清洁、气路与真空复检、易损件更换,承载台平坦度与吸附均匀性复测。这一代的存储介质早已停产,换件常牵动配套部件与系统重装,这段工作量我们提前算进去。
  • 安装装机要压缩空气与真空两路厂务同时到位——到货前先确认现场条件,再做就位、调平、通电、联机与逐项验收。

半导体二手设备与工程服务

完整规格与流程

规格

光刻设备ASML PAS5500、XT、NXT 家族型号、软硬件版本和工艺状态逐机确认
探针台Accretech UF200/UF3000、TEL P-12XL 等控制器、选件、接口和附件逐机确认
ATEAdvantest V93000、T5377 等板卡、license、接口和应用状态逐机确认
库存状态询盘时确认提供候选设备的序列号和所在信息
核验资料铭牌、序列号、配置、开机/自检、缺件和外观记录按设备实际条件提供
交付条件包装、物流、保险、报关、安装、厂务与验收责任和条件在报价/合同中明确
工程服务通电检查、接口梳理、数据/镜像备份与恢复支持按设备状态和授权范围执行
探针台范围东京精密 8 英寸 APM90A、UF200、UF200A、UF200SA、UF190B;12 英寸 UF3000、UF3000ex、UF300、UF300A。东京电子 8 英寸 P-8、P-8XL;12 英寸 P-12、P-12XL、P-12XLn资料所载可处理范围,非在库清单;机型名称不表示原厂授权或认证
测试机范围Advantest T3347、T5365、T5371、T5375/6/7/7S、T5581、T5588、T5830、T5833、T2000MS、93000、B6700;Teradyne J973、A580、CATALYST、J750、UltraFlex、Magnum 5同上;Magnum 5 为销售与维修范围及探针卡方案适配,不含整机交付记录
交易方式设备由我方自行进口并完成清关,境内以人民币直接交易并开具 13% 增值税专用发票价格与报价条件按项目单独确认
设备来源东亚、东南亚、欧洲与美洲的设备网络逐台核对序列号、配置与状态

依据与交付记录

库存确认库存、配置和状态以询盘时的具体设备书面资料为准。
设备信息页面图片用于说明设备家族;具体序列号、配置和外观另行提供。
验收依据序列号、配置清单、状态记录和合同验收条款共同构成交付依据。
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uP200A 探针台控制系统升级

完整规格与流程

规格

升级对象东京精密 APM90A、UF200 系列在役探针台机械本体保留
启动时间uP200A 40 秒;UF200 70 秒;APM90A 180 秒资料对比表
支援管芯数uP200A 25 万;UF200 10 万;APM90A 6 万单片
支持晶圆4、5、6、8 英寸向下兼容
数据传输软盘、磁光盘 MO、网络原机仅软盘或软盘加网络
数据格式兼容 UF200/UF200A 数据格式APM90A 原机不兼容
耗材兼容兼容 APM90A 与 UF200 针卡及耗材不需重新采购
综合精度5 μm资料标称
承载台8 英寸镍/金可加热承载台配 8 英寸控制模块
功能压点自动对准、针尖自动对准与清洗、失效标记检查、多探针探测、多分 bin 输出、实时 MAPPING 显示液晶触摸监视器
接口GPIB/TTL上位系统对接
公用工程压缩空气 >0.4 MPa;真空 >-53 kPa;单相 220 V;最大负载电流 6 A;最大功耗 1.5 kVA现场条件需满足
供应主体上海雯澜贸易商行 / 上海录德集成电路有限公司与探针卡设备供货主体不同

依据与交付记录

参数出处启动时间、支援管芯数、数据传输与兼容性对比均出自 uP200A 产品目录中的机型对照表。
适用范围本页面向 APM90A 与 UF200 系列老机型的控制系统升级,不适用于新一代探针台。
未公开项升级周期、可用备件范围与保修条件按具体机况确认,资料中未给出通用值。
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逐条文字说明
UF200(TSK 8 英寸)
我们在无锡工厂按 UF200A 标准做整机翻新并开启全部功能,系统版本可按客户指定;原生操作界面为英/日文,中文化操作系统为我方自有。高低温装置、Wafer ID OCR、圆形/方形清针机构、打点装置与远程操作可按需加装。这一代机器出厂时没有条码扫描、RFID 交接与 MES/EAP 接入的概念,我们用信息盒与扫码接入把这一层补上,机台不必因为接口过时而被换掉。
光刻
具体型号和状态询盘核对
探针台
UF200、UF3000、P-12XL 等家族
测试机
V93000、T5377 等项目范围
交付
逐台设备确认
产线补充设备
按目标型号、选件、厂务和接口核对可用设备。
备件与替代方案
按停产机型、现有工艺和兼容条件查找设备或备件。
跨地区搬迁与恢复
在物流前固定清单、状态、拆装、通电和现场验收责任。
客户行业分布
客户覆盖晶圆厂、封测厂、设计公司自有测试线、探针卡制造商与科研院所。
提交设备需求
说明型号、用途、关键选件、地区、预算和时间窗口。
核对候选设备
确认序列号、配置、附件、状态和可提供的测试记录。
固定交付清单
在报价/合同中写清设备、缺件、物流、安装、厂务和验收。
现场交接
按约定完成到货、安装、通电、功能核对和问题清单。
启动时间
APM90A 为 180 秒
支援管芯
APM90A 6 万、UF200 10 万
运算速度
资料标称
界面
原机为英/日文
老机型产能受限
机械尚可用,但控制系统的管芯上限与节拍成为瓶颈。
界面与数据格式不便
原机为英/日文界面,数据仅能软盘传输。
保留原有耗材投入
希望继续使用原机针卡与耗材,不重新采购。
确认机型与现状
确认原机型号、控制系统状态与现有耗材 决定可升级范围
确认数据与接口
确认 MAPPING 数据格式与上位系统接口 涉及 GPIB/TTL 与网络
实施升级
更换控制系统,保留机械本体与针卡耗材 现场实施
验证
确认启动时间、管芯数、对准与 MAPPING 输出 以实测为准
机器只是其中一段
从找到这一台,到它在你的产线上跑起来,中间这四段由我们接。
工程化

03 · UF200 扫码枪与 LOT 接入

批次追溯从第一步就不能错

批次号靠人手敲进探针台,错一个字符,整批数据就记到别的批次名下,代价落在之后的复测与追溯上。

阶段工程化
接入原生条码接口
规则正则抽取 LOT
校验18 字符上限

它怎么工作

  1. 扫码
  2. 取 LOT 段
  3. 校验
  4. 写入机台
  • 批次号不再靠手敲扫码枪的读数经中继写入机台原生的条码接口,录入这一步不再依赖人。
  • 长条码只取需要的那一段含批次、片号与日期的长条码,按现场在用的格式配置抽取规则,只取 LOT 段。
  • 错的挡在门外只有通过校验的字段才进入机台,错一个字符不会变成整批数据记错批次。
  • 每次进机都留痕扫码记录保留在中继侧,可回溯每一次进机的原始条码。

我们负责什么

  • LOT 人工输入替代
  • 混合条码抽取
  • 扫码留痕
  1. 01接口确认
  2. 02规则配置
  3. 03试运行
  4. 04交付定义

探针台扫码枪与 LOT 接入

完整规格与流程

规格

项目阶段工程化,自研校验规则按机台字段口径配置
接入路径USB 扫码枪 → 中继 → 探针台原生条码接口不经过按键模拟通路
扫码枪兼容通用 USB HID 键盘模式扫码枪不锁定品牌型号,具备自动探测
规则模型正则 pattern + 替换 + 优先级 + 大写/去空格按优先级取第一条命中
规则生成扫一枪后拖选 LOT 段自动生成规则带即时预览与测试输入
LOT 校验长度 ≤18,允许 A–Z 0–9 与. _ -,首位字母或数字与探针台原生 LOT 字段口径对齐
失败策略无规则则原样透传;规则命中但校验不过则不发送拒绝的扫码只写日志
规则下发快照文件原子替换,中继热加载改规则不需要重启服务
追溯记录条码 / LOT / 片号 / 设备 / 操作员 / 处置状态记录只能由采集器写入

依据与交付记录

阶段与证据部署形态与操作界面按现场语言配置,校验规则按各机台自己的字段口径配置。
接入边界只写入机台原生条码接口,不改动探针台本体控制程序;是否可用取决于该机型是否具备该接口。
数据边界扫码记录由采集器写入,不支持人工补录;LOT 是否被机台接受以机台侧记录为准。
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逐条文字说明
UF200 扫码枪与 LOT 接入
这一站把录入交给条码:扫码枪的读数经中继写入探针台原生的条码接口,抽取规则按现场在用的条码格式配置,只有通过校验的字段才进入机台,不合格的读数停在机台之外并留下原因。原机控制程序不动,操作工少一道最容易出错的动作。
阶段
按机台字段口径校验
接入
不模拟按键
规则
命中一条即生效
校验
与机台原生字段对齐
LOT 人工输入替代
以扫码替代键入,减少批次号录入错误。
混合条码抽取
从含批次、片号、日期的长条码中只取 LOT 段。
扫码留痕
扫码记录留在中继日志中,可回溯每次进机的原始条码。
接口确认
确认机台条码接口位置与现场扫码枪。
规则配置
扫真实条码,拖选 LOT 段生成规则并预览结果。
试运行
以真实批次验证抽取与校验结果,观察拒绝记录。
交付定义
在验证结果基础上确定部署范围与运维方式。
工程样机

04 · 探针台信息盒

老机台接进现代产线的那一层

老探针台的动作还很准,麻烦在于它的事实出不来:产量、针卡累计触点、晶圆几何都留在机台里,抄一遍要人力,不抄就随设备一起报废。

阶段工程样机
接入外挂式,不改本体
取数配置卡 + 运行内存
诚实性逐页标注来源等级

它怎么工作

  1. 外挂不改本体
  2. 读出事实
  3. 接进厂网
  4. 上看板
  • 不动机台本体外挂式采集单元:一路连机台、一路连厂网。不改机台程序,也不写回机台。
  • 把机台知道的事读出来晶圆几何、管芯计数、针卡累计触点与清针次数——这些数原本只留在机台里,随设备一起报废。
  • 老机台第一次进得了厂网产量、机台状态与告警能送进看板与厂网,不用人抄,也不用为了联网换掉整台设备。
  • 来源不明就锁定每一页都标注数据的来源等级;取不到的字段直接说明取不到,不推算、不凑数。

我们负责什么

  • 老机台数据化
  • 针卡使用追溯
  • 远端查看机台状态
  1. 01机型与接口勘察
  2. 02取数通道验证
  3. 03现场试运行
  4. 04交付定义

探针台信息盒

完整规格与流程

规格

产品阶段工程样机,自研每页标注数据来源等级
接入方式外挂式采集单元,不改动机台控制程序一路直连机台、一路接厂网,物理分离
画面与操作机台画面采集并在网页端呈现,可回送操作采集与回送均为外部接口,不进入机台程序
晶圆几何尺寸、X/Y 步进、行列数、有效管芯数读自机台配置卡快照
测试计数总数、已测、通过、失败、复测、跳过、打点读自机台运行内存,标注为实时
针卡计数累计触点次数与清针次数按机台原始参数逐项无损解码
条码接入USB 扫码枪经中继写入机台原生条码接口见扫码枪与 LOT 接入项目
数据来源标注每页标注 实时 / 机台配置快照 / 本地配置 / 离线 / 设计参考 等级参考级页面自动禁用交互
模块诚实性契约每个模块声明已实现项、未推断项与外部依赖无法计算的指标显式声明而不给近似值
界面语言中文 / 日文 / 英文 / 韩文面向多语现场
硬件形态ARM64 嵌入式计算单元 + 采集与串口外设具体型号与部署形态按现场确认

依据与交付记录

阶段口径每一页都标注数据来源等级,来源未通的页面自动锁定而不是补值;页面上的成熟度徽标说明它仍在工程阶段。
接入边界采集为外挂式,不修改机台本体控制程序;可读项目取决于机型与其接口,需逐台勘察确认。
数据边界页面按数据来源分级标注,未打通的模块保持锁定;不以推断值替代实测值,不承诺任何合规认证或工厂系统代报能力。
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逐条文字说明
探针台信息盒
信息盒是挂在机台之外的采集单元,一路连机台、一路连厂网,把机台自己知道的事读出来交给产线,并把画面接到网页端,机台本体与控制程序不动。每一页都标注数据来源等级,来源未通的页面自动锁定,而不是填一个看起来合理的数字。
阶段
每页标注来源等级
接入
一路机台、一路厂网
取数
晶圆几何、计数、针卡次数
诚实性
来源不明即锁定
老机台数据化
为没有现代数据接口的在役探针台提供可读出的运行事实。
针卡使用追溯
读出针卡累计触点次数与清针次数,为换卡与清洗决策提供依据。
远端查看机台状态
在厂网侧查看机台画面与运行计数,减少往返机台前的次数。
机型与接口勘察
确认机台型号、可用接口与厂网条件。
取数通道验证
逐条验证配置卡、运行计数与条码通道能否读通。
现场试运行
在真实生产节奏下观察数据与稳定性。
交付定义
按验证结果确定采集范围、部署形态与运维方式。
量产供货

05 · UF3000(ACCRETECH 8/12 英寸)

12 英寸的产能缺口,用在库整备机补上

2005 年之后的 ACCRETECH 12 英寸机型,兼容 8 英寸与 12 英寸晶圆:12 英寸镀镍可加热承载台、自动上卡、针尖自动清洗与自动对准、针痕检测,承载能力按配置分档,公开资料标称总精度 ±2 µm——这两项都按机复核后写进配置单。

片径200 / 300 mm
综合精度±2 µm(公开资料)
承载台温控可加热,多档 −40…200 °C
世代平台 2002 年起

它怎么工作

  1. 上片
  2. 对准
  3. 扎针
  4. 出数据

我们负责什么

  • 供货按片径、卡盘力、loader 形式与自动化接口核对整机配置,标配与选配分开写清。
  • 物流loader、迷你环境与对接件分件拆装编号,运输过程记录震动与倾斜,到厂逐件复核。
  • 翻新光学与对准系统复校,针尖清洗与针痕检测模块功能确认,承载台加热与温控复测。
  • 安装就位后重新对准,接厂务与自动化接口,按验收项逐条确认后交付。

半导体二手设备与工程服务

完整规格与流程

规格

光刻设备ASML PAS5500、XT、NXT 家族型号、软硬件版本和工艺状态逐机确认
探针台Accretech UF200/UF3000、TEL P-12XL 等控制器、选件、接口和附件逐机确认
ATEAdvantest V93000、T5377 等板卡、license、接口和应用状态逐机确认
库存状态询盘时确认提供候选设备的序列号和所在信息
核验资料铭牌、序列号、配置、开机/自检、缺件和外观记录按设备实际条件提供
交付条件包装、物流、保险、报关、安装、厂务与验收责任和条件在报价/合同中明确
工程服务通电检查、接口梳理、数据/镜像备份与恢复支持按设备状态和授权范围执行
探针台范围东京精密 8 英寸 APM90A、UF200、UF200A、UF200SA、UF190B;12 英寸 UF3000、UF3000ex、UF300、UF300A。东京电子 8 英寸 P-8、P-8XL;12 英寸 P-12、P-12XL、P-12XLn资料所载可处理范围,非在库清单;机型名称不表示原厂授权或认证
测试机范围Advantest T3347、T5365、T5371、T5375/6/7/7S、T5581、T5588、T5830、T5833、T2000MS、93000、B6700;Teradyne J973、A580、CATALYST、J750、UltraFlex、Magnum 5同上;Magnum 5 为销售与维修范围及探针卡方案适配,不含整机交付记录
交易方式设备由我方自行进口并完成清关,境内以人民币直接交易并开具 13% 增值税专用发票价格与报价条件按项目单独确认
设备来源东亚、东南亚、欧洲与美洲的设备网络逐台核对序列号、配置与状态

依据与交付记录

库存确认库存、配置和状态以询盘时的具体设备书面资料为准。
设备信息页面图片用于说明设备家族;具体序列号、配置和外观另行提供。
验收依据序列号、配置清单、状态记录和合同验收条款共同构成交付依据。
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逐条文字说明
UF3000(ACCRETECH 8/12 英寸)
我们做整机翻新、参数复核与现场装机;在库整备机包含常温与高低温配置。12 英寸这一代同样早于现代信息化要求,升级路径与 8 英寸一致:先把数据接出来,再谈 EAP 与自动化物流的对接。
光刻
具体型号和状态询盘核对
探针台
UF200、UF3000、P-12XL 等家族
测试机
V93000、T5377 等项目范围
交付
逐台设备确认
产线补充设备
按目标型号、选件、厂务和接口核对可用设备。
备件与替代方案
按停产机型、现有工艺和兼容条件查找设备或备件。
跨地区搬迁与恢复
在物流前固定清单、状态、拆装、通电和现场验收责任。
客户行业分布
客户覆盖晶圆厂、封测厂、设计公司自有测试线、探针卡制造商与科研院所。
提交设备需求
说明型号、用途、关键选件、地区、预算和时间窗口。
核对候选设备
确认序列号、配置、附件、状态和可提供的测试记录。
固定交付清单
在报价/合同中写清设备、缺件、物流、安装、厂务和验收。
现场交接
按约定完成到货、安装、通电、功能核对和问题清单。
机器只是其中一段
从找到这一台,到它在你的产线上跑起来,中间这四段由我们接。
量产供货

06 · UF3000ex(300 kg 卡盘力)

高针数针卡要的压合力

UF3000 同系列中面向高针数、大接触力探针卡的一档。

片径200 / 300 mm
综合精度±1 µm
外形 · 重量1525×1622×967 mm · 约 1,650 kg
世代2007 年世代

它怎么工作

  1. 上片
  2. 对准
  3. 扎针
  4. 出数据

我们负责什么

  • 供货按片径、卡盘力、loader 形式与自动化接口核对整机配置,标配与选配分开写清。
  • 物流loader、迷你环境与对接件分件拆装编号,运输过程记录震动与倾斜,到厂逐件复核。
  • 翻新光学与对准系统复校,针尖清洗与针痕检测模块功能确认,承载台加热与温控复测。
  • 安装就位后重新对准,接厂务与自动化接口,按验收项逐条确认后交付。

半导体二手设备与工程服务

完整规格与流程

规格

光刻设备ASML PAS5500、XT、NXT 家族型号、软硬件版本和工艺状态逐机确认
探针台Accretech UF200/UF3000、TEL P-12XL 等控制器、选件、接口和附件逐机确认
ATEAdvantest V93000、T5377 等板卡、license、接口和应用状态逐机确认
库存状态询盘时确认提供候选设备的序列号和所在信息
核验资料铭牌、序列号、配置、开机/自检、缺件和外观记录按设备实际条件提供
交付条件包装、物流、保险、报关、安装、厂务与验收责任和条件在报价/合同中明确
工程服务通电检查、接口梳理、数据/镜像备份与恢复支持按设备状态和授权范围执行
探针台范围东京精密 8 英寸 APM90A、UF200、UF200A、UF200SA、UF190B;12 英寸 UF3000、UF3000ex、UF300、UF300A。东京电子 8 英寸 P-8、P-8XL;12 英寸 P-12、P-12XL、P-12XLn资料所载可处理范围,非在库清单;机型名称不表示原厂授权或认证
测试机范围Advantest T3347、T5365、T5371、T5375/6/7/7S、T5581、T5588、T5830、T5833、T2000MS、93000、B6700;Teradyne J973、A580、CATALYST、J750、UltraFlex、Magnum 5同上;Magnum 5 为销售与维修范围及探针卡方案适配,不含整机交付记录
交易方式设备由我方自行进口并完成清关,境内以人民币直接交易并开具 13% 增值税专用发票价格与报价条件按项目单独确认
设备来源东亚、东南亚、欧洲与美洲的设备网络逐台核对序列号、配置与状态

依据与交付记录

库存确认库存、配置和状态以询盘时的具体设备书面资料为准。
设备信息页面图片用于说明设备家族;具体序列号、配置和外观另行提供。
验收依据序列号、配置清单、状态记录和合同验收条款共同构成交付依据。
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uP200A 探针台控制系统升级

完整规格与流程

规格

升级对象东京精密 APM90A、UF200 系列在役探针台机械本体保留
启动时间uP200A 40 秒;UF200 70 秒;APM90A 180 秒资料对比表
支援管芯数uP200A 25 万;UF200 10 万;APM90A 6 万单片
支持晶圆4、5、6、8 英寸向下兼容
数据传输软盘、磁光盘 MO、网络原机仅软盘或软盘加网络
数据格式兼容 UF200/UF200A 数据格式APM90A 原机不兼容
耗材兼容兼容 APM90A 与 UF200 针卡及耗材不需重新采购
综合精度5 μm资料标称
承载台8 英寸镍/金可加热承载台配 8 英寸控制模块
功能压点自动对准、针尖自动对准与清洗、失效标记检查、多探针探测、多分 bin 输出、实时 MAPPING 显示液晶触摸监视器
接口GPIB/TTL上位系统对接
公用工程压缩空气 >0.4 MPa;真空 >-53 kPa;单相 220 V;最大负载电流 6 A;最大功耗 1.5 kVA现场条件需满足
供应主体上海雯澜贸易商行 / 上海录德集成电路有限公司与探针卡设备供货主体不同

依据与交付记录

参数出处启动时间、支援管芯数、数据传输与兼容性对比均出自 uP200A 产品目录中的机型对照表。
适用范围本页面向 APM90A 与 UF200 系列老机型的控制系统升级,不适用于新一代探针台。
未公开项升级周期、可用备件范围与保修条件按具体机况确认,资料中未给出通用值。
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逐条文字说明
UF3000ex(300 kg 卡盘力)
承载能力按原厂总规格书:Z 轴与 F 轴承载 200 kgf 为标配,Z 轴 300 kgf 为选件——同型号不同配置差一档,报价前按机复核。外形与 UF3000 一眼可分——机身左前角一条竖向靛蓝饰带(带白色旋转字),型号字标移到右侧 loader 的黑色亮面板上,机身正面没有 UF3000 那种大号空心蓝字。翻新范围与 UF3000 相同:整机翻新、参数复核、现场装机,售后按新机标准。在库整备机含常温与高低温配置。机身字标印作 UF3000 EX。
光刻
具体型号和状态询盘核对
探针台
UF200、UF3000、P-12XL 等家族
测试机
V93000、T5377 等项目范围
交付
逐台设备确认
产线补充设备
按目标型号、选件、厂务和接口核对可用设备。
备件与替代方案
按停产机型、现有工艺和兼容条件查找设备或备件。
跨地区搬迁与恢复
在物流前固定清单、状态、拆装、通电和现场验收责任。
客户行业分布
客户覆盖晶圆厂、封测厂、设计公司自有测试线、探针卡制造商与科研院所。
提交设备需求
说明型号、用途、关键选件、地区、预算和时间窗口。
核对候选设备
确认序列号、配置、附件、状态和可提供的测试记录。
固定交付清单
在报价/合同中写清设备、缺件、物流、安装、厂务和验收。
现场交接
按约定完成到货、安装、通电、功能核对和问题清单。
启动时间
APM90A 为 180 秒
支援管芯
APM90A 6 万、UF200 10 万
运算速度
资料标称
界面
原机为英/日文
老机型产能受限
机械尚可用,但控制系统的管芯上限与节拍成为瓶颈。
界面与数据格式不便
原机为英/日文界面,数据仅能软盘传输。
保留原有耗材投入
希望继续使用原机针卡与耗材,不重新采购。
确认机型与现状
确认原机型号、控制系统状态与现有耗材 决定可升级范围
确认数据与接口
确认 MAPPING 数据格式与上位系统接口 涉及 GPIB/TTL 与网络
实施升级
更换控制系统,保留机械本体与针卡耗材 现场实施
验证
确认启动时间、管芯数、对准与 MAPPING 输出 以实测为准
机器只是其中一段
从找到这一台,到它在你的产线上跑起来,中间这四段由我们接。
服务机型

07 · AP3000(ACCRETECH 12 英寸)

机顶那道 bridge beam 拆不得

ACCRETECH 次世代 12 英寸探针台,官方标称综合精度 ±0.8 µm / ±1.5 µm,可处理 300 mm 与 200 mm 裸片。

片径200 / 300 mm
综合精度AP3000 ±0.8 µm · AP3000e ±1.5 µm
外形 · 重量1519×1787×1422 mm · 约 1,650 kg
承载台温控常温 / 高温 / 低温 / 低噪 四选

它怎么工作

  1. 上片
  2. 对准
  3. 扎针
  4. 出数据

我们负责什么

  • 供货按片径、卡盘力、loader 形式与自动化接口核对整机配置,标配与选配分开写清。
  • 物流loader、迷你环境与对接件分件拆装编号,运输过程记录震动与倾斜,到厂逐件复核。
  • 翻新光学与对准系统复校,针尖清洗与针痕检测模块功能确认,承载台加热与温控复测。
  • 安装就位后重新对准,接厂务与自动化接口,按验收项逐条确认后交付。

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完整规格与流程

规格

光刻设备ASML PAS5500、XT、NXT 家族型号、软硬件版本和工艺状态逐机确认
探针台Accretech UF200/UF3000、TEL P-12XL 等控制器、选件、接口和附件逐机确认
ATEAdvantest V93000、T5377 等板卡、license、接口和应用状态逐机确认
库存状态询盘时确认提供候选设备的序列号和所在信息
核验资料铭牌、序列号、配置、开机/自检、缺件和外观记录按设备实际条件提供
交付条件包装、物流、保险、报关、安装、厂务与验收责任和条件在报价/合同中明确
工程服务通电检查、接口梳理、数据/镜像备份与恢复支持按设备状态和授权范围执行
探针台范围东京精密 8 英寸 APM90A、UF200、UF200A、UF200SA、UF190B;12 英寸 UF3000、UF3000ex、UF300、UF300A。东京电子 8 英寸 P-8、P-8XL;12 英寸 P-12、P-12XL、P-12XLn资料所载可处理范围,非在库清单;机型名称不表示原厂授权或认证
测试机范围Advantest T3347、T5365、T5371、T5375/6/7/7S、T5581、T5588、T5830、T5833、T2000MS、93000、B6700;Teradyne J973、A580、CATALYST、J750、UltraFlex、Magnum 5同上;Magnum 5 为销售与维修范围及探针卡方案适配,不含整机交付记录
交易方式设备由我方自行进口并完成清关,境内以人民币直接交易并开具 13% 增值税专用发票价格与报价条件按项目单独确认
设备来源东亚、东南亚、欧洲与美洲的设备网络逐台核对序列号、配置与状态

依据与交付记录

库存确认库存、配置和状态以询盘时的具体设备书面资料为准。
设备信息页面图片用于说明设备家族;具体序列号、配置和外观另行提供。
验收依据序列号、配置清单、状态记录和合同验收条款共同构成交付依据。
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逐条文字说明
AP3000(ACCRETECH 12 英寸)
单/双 loader 与 AMHS 自动化、针尖清洗、FFU 迷你环境、常温/高温(至 200 ℃)承载台、HF jig 与 hinge manipulator 测试机接口、自动换卡等为选配。 机顶开口上方有一道固定的 bridge beam,用来勾住探针卡并与测试机对接,不可拆除——针卡与治具方案必须按这条边界设计,我们做过的方案即照此避让并同时满足低温要求。本工位是我们的针卡与治具服务对象,机台本身不在我方供货清单内。
光刻
具体型号和状态询盘核对
探针台
UF200、UF3000、P-12XL 等家族
测试机
V93000、T5377 等项目范围
交付
逐台设备确认
产线补充设备
按目标型号、选件、厂务和接口核对可用设备。
备件与替代方案
按停产机型、现有工艺和兼容条件查找设备或备件。
跨地区搬迁与恢复
在物流前固定清单、状态、拆装、通电和现场验收责任。
客户行业分布
客户覆盖晶圆厂、封测厂、设计公司自有测试线、探针卡制造商与科研院所。
提交设备需求
说明型号、用途、关键选件、地区、预算和时间窗口。
核对候选设备
确认序列号、配置、附件、状态和可提供的测试记录。
固定交付清单
在报价/合同中写清设备、缺件、物流、安装、厂务和验收。
现场交接
按约定完成到货、安装、通电、功能核对和问题清单。
机器只是其中一段
从找到这一台,到它在你的产线上跑起来,中间这四段由我们接。
量产供货

08 · P-12XL(TEL 12 英寸)

同名不同档的卡盘力,先替客户确认清楚

东京电子 12 英寸平顶机,2004 年前后装机:WAPP 清针模块、SACC 自动上卡、12 英寸镀金/镍高低温承载台(低温选配)、针痕检测。

片径300 / 200 mm
综合精度X/Y ±4 µm · Z ±5 µm
Z 轴承载980 N(100 kgf)
外形1450×1230×1522.5 mm · 约 1,640 kg

它怎么工作

  1. 上片
  2. 对准
  3. 扎针
  4. 出数据

我们负责什么

  • 供货按片径、卡盘力、loader 形式与自动化接口核对整机配置,标配与选配分开写清。
  • 物流loader、迷你环境与对接件分件拆装编号,运输过程记录震动与倾斜,到厂逐件复核。
  • 翻新光学与对准系统复校,针尖清洗与针痕检测模块功能确认,承载台加热与温控复测。
  • 安装就位后重新对准,接厂务与自动化接口,按验收项逐条确认后交付。

半导体二手设备与工程服务

完整规格与流程

规格

光刻设备ASML PAS5500、XT、NXT 家族型号、软硬件版本和工艺状态逐机确认
探针台Accretech UF200/UF3000、TEL P-12XL 等控制器、选件、接口和附件逐机确认
ATEAdvantest V93000、T5377 等板卡、license、接口和应用状态逐机确认
库存状态询盘时确认提供候选设备的序列号和所在信息
核验资料铭牌、序列号、配置、开机/自检、缺件和外观记录按设备实际条件提供
交付条件包装、物流、保险、报关、安装、厂务与验收责任和条件在报价/合同中明确
工程服务通电检查、接口梳理、数据/镜像备份与恢复支持按设备状态和授权范围执行
探针台范围东京精密 8 英寸 APM90A、UF200、UF200A、UF200SA、UF190B;12 英寸 UF3000、UF3000ex、UF300、UF300A。东京电子 8 英寸 P-8、P-8XL;12 英寸 P-12、P-12XL、P-12XLn资料所载可处理范围,非在库清单;机型名称不表示原厂授权或认证
测试机范围Advantest T3347、T5365、T5371、T5375/6/7/7S、T5581、T5588、T5830、T5833、T2000MS、93000、B6700;Teradyne J973、A580、CATALYST、J750、UltraFlex、Magnum 5同上;Magnum 5 为销售与维修范围及探针卡方案适配,不含整机交付记录
交易方式设备由我方自行进口并完成清关,境内以人民币直接交易并开具 13% 增值税专用发票价格与报价条件按项目单独确认
设备来源东亚、东南亚、欧洲与美洲的设备网络逐台核对序列号、配置与状态

依据与交付记录

库存确认库存、配置和状态以询盘时的具体设备书面资料为准。
设备信息页面图片用于说明设备家族;具体序列号、配置和外观另行提供。
验收依据序列号、配置清单、状态记录和合同验收条款共同构成交付依据。
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逐条文字说明
P-12XL(TEL 12 英寸)
卡盘力方面,P-12XL 标配 80 kg,P-12XLn/n+ 为 100 kg(选配 200 kg)——询价时要先确认到底是哪一档。TEL 系 8 英寸以上探针台我们提供设备安装与调试、治具改造。 同系列按精度分档:P-12XL 为 X/Y ±4 µm,P-12XLn 为 ±2.5 µm,装线性尺的 P-12XLn+ 为 ±1.8 µm。
光刻
具体型号和状态询盘核对
探针台
UF200、UF3000、P-12XL 等家族
测试机
V93000、T5377 等项目范围
交付
逐台设备确认
产线补充设备
按目标型号、选件、厂务和接口核对可用设备。
备件与替代方案
按停产机型、现有工艺和兼容条件查找设备或备件。
跨地区搬迁与恢复
在物流前固定清单、状态、拆装、通电和现场验收责任。
客户行业分布
客户覆盖晶圆厂、封测厂、设计公司自有测试线、探针卡制造商与科研院所。
提交设备需求
说明型号、用途、关键选件、地区、预算和时间窗口。
核对候选设备
确认序列号、配置、附件、状态和可提供的测试记录。
固定交付清单
在报价/合同中写清设备、缺件、物流、安装、厂务和验收。
现场交接
按约定完成到货、安装、通电、功能核对和问题清单。
机器只是其中一段
从找到这一台,到它在你的产线上跑起来,中间这四段由我们接。
量产供货

09 · Advantest V93000 对接位(Docking)

测试头翻转向下,硬对接到 head plate

V93000 把仪器卡集中在测试头内,没有传统的大电子柜:晶圆分选时 manipulator 把测试头翻转成接口面朝下,悬停并硬对接到探针台的 head plate,探针卡直接装在测试头接口上,不经过 pogo tower;旁边一台支援柜提供电源与水冷,粗电缆束接到测试头后部。

对接Direct-Probe 硬对接 head plate
探针卡基准面180×300 mm,平面度 ≤30 µm
对接复现性针高变化 < 2 µm
结构无 pogo tower

它怎么工作

  1. 测试头就位
  2. 压合
  3. 整片测试
  4. 结果回传

我们负责什么

  • 供货按对接方式核对与探针台的配套关系:测试头压合还是线缆连接,所需对接件一并列全。
  • 物流测试头、机柜与线缆束分件运输,对接件与固定件随机编号,避免到厂缺件。
  • 翻新线缆束与风道整备、滤网更换,上电自检通过后再发运。
  • 安装与探针台配对就位,完成对接与联机,按你的测试程序做一次实机确认。

半导体二手设备与工程服务

完整规格与流程

规格

光刻设备ASML PAS5500、XT、NXT 家族型号、软硬件版本和工艺状态逐机确认
探针台Accretech UF200/UF3000、TEL P-12XL 等控制器、选件、接口和附件逐机确认
ATEAdvantest V93000、T5377 等板卡、license、接口和应用状态逐机确认
库存状态询盘时确认提供候选设备的序列号和所在信息
核验资料铭牌、序列号、配置、开机/自检、缺件和外观记录按设备实际条件提供
交付条件包装、物流、保险、报关、安装、厂务与验收责任和条件在报价/合同中明确
工程服务通电检查、接口梳理、数据/镜像备份与恢复支持按设备状态和授权范围执行
探针台范围东京精密 8 英寸 APM90A、UF200、UF200A、UF200SA、UF190B;12 英寸 UF3000、UF3000ex、UF300、UF300A。东京电子 8 英寸 P-8、P-8XL;12 英寸 P-12、P-12XL、P-12XLn资料所载可处理范围,非在库清单;机型名称不表示原厂授权或认证
测试机范围Advantest T3347、T5365、T5371、T5375/6/7/7S、T5581、T5588、T5830、T5833、T2000MS、93000、B6700;Teradyne J973、A580、CATALYST、J750、UltraFlex、Magnum 5同上;Magnum 5 为销售与维修范围及探针卡方案适配,不含整机交付记录
交易方式设备由我方自行进口并完成清关,境内以人民币直接交易并开具 13% 增值税专用发票价格与报价条件按项目单独确认
设备来源东亚、东南亚、欧洲与美洲的设备网络逐台核对序列号、配置与状态

依据与交付记录

库存确认库存、配置和状态以询盘时的具体设备书面资料为准。
设备信息页面图片用于说明设备家族;具体序列号、配置和外观另行提供。
验收依据序列号、配置清单、状态记录和合同验收条款共同构成交付依据。
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逐条文字说明
Advantest V93000 对接位(Docking)
我方供货的 93000 PS400 配置按以下条件提供:整机翻新、随附一年质保,交付后由设备原厂现场完成 PCI-E 控制卡升级(依 2023 年供货条件,最终以合同为准)。本工位的测试头压在一台 UF3000 上。
光刻
具体型号和状态询盘核对
探针台
UF200、UF3000、P-12XL 等家族
测试机
V93000、T5377 等项目范围
交付
逐台设备确认
产线补充设备
按目标型号、选件、厂务和接口核对可用设备。
备件与替代方案
按停产机型、现有工艺和兼容条件查找设备或备件。
跨地区搬迁与恢复
在物流前固定清单、状态、拆装、通电和现场验收责任。
客户行业分布
客户覆盖晶圆厂、封测厂、设计公司自有测试线、探针卡制造商与科研院所。
提交设备需求
说明型号、用途、关键选件、地区、预算和时间窗口。
核对候选设备
确认序列号、配置、附件、状态和可提供的测试记录。
固定交付清单
在报价/合同中写清设备、缺件、物流、安装、厂务和验收。
现场交接
按约定完成到货、安装、通电、功能核对和问题清单。
机器只是其中一段
从找到这一台,到它在你的产线上跑起来,中间这四段由我们接。
服务机型

10 · Advantest T5833 对接位(Docking)

存储器测试线要的板卡,我们自己做

存储器测试机的标准构图:米白主机柜成排贴墙,每台柜前一台探针台,灰色扁平测试头面朝下平躺在探针台顶的 head plate 上,粗电缆束从柜体前下方引出、在地面弯成弧线接到测试头后端。

对接测试头面朝下压合
主机柜约 850×1050×1650 mm
测试头约 830×990×630 mm
车间布局机柜贴墙 · 探针台在前

它怎么工作

  1. 测试头就位
  2. 压合
  3. 整片测试
  4. 结果回传

我们负责什么

  • 供货按对接方式核对与探针台的配套关系:测试头压合还是线缆连接,所需对接件一并列全。
  • 物流测试头、机柜与线缆束分件运输,对接件与固定件随机编号,避免到厂缺件。
  • 翻新线缆束与风道整备、滤网更换,上电自检通过后再发运。
  • 安装与探针台配对就位,完成对接与联机,按你的测试程序做一次实机确认。

半导体二手设备与工程服务

完整规格与流程

规格

光刻设备ASML PAS5500、XT、NXT 家族型号、软硬件版本和工艺状态逐机确认
探针台Accretech UF200/UF3000、TEL P-12XL 等控制器、选件、接口和附件逐机确认
ATEAdvantest V93000、T5377 等板卡、license、接口和应用状态逐机确认
库存状态询盘时确认提供候选设备的序列号和所在信息
核验资料铭牌、序列号、配置、开机/自检、缺件和外观记录按设备实际条件提供
交付条件包装、物流、保险、报关、安装、厂务与验收责任和条件在报价/合同中明确
工程服务通电检查、接口梳理、数据/镜像备份与恢复支持按设备状态和授权范围执行
探针台范围东京精密 8 英寸 APM90A、UF200、UF200A、UF200SA、UF190B;12 英寸 UF3000、UF3000ex、UF300、UF300A。东京电子 8 英寸 P-8、P-8XL;12 英寸 P-12、P-12XL、P-12XLn资料所载可处理范围,非在库清单;机型名称不表示原厂授权或认证
测试机范围Advantest T3347、T5365、T5371、T5375/6/7/7S、T5581、T5588、T5830、T5833、T2000MS、93000、B6700;Teradyne J973、A580、CATALYST、J750、UltraFlex、Magnum 5同上;Magnum 5 为销售与维修范围及探针卡方案适配,不含整机交付记录
交易方式设备由我方自行进口并完成清关,境内以人民币直接交易并开具 13% 增值税专用发票价格与报价条件按项目单独确认
设备来源东亚、东南亚、欧洲与美洲的设备网络逐台核对序列号、配置与状态

依据与交付记录

库存确认库存、配置和状态以询盘时的具体设备书面资料为准。
设备信息页面图片用于说明设备家族;具体序列号、配置和外观另行提供。
验收依据序列号、配置清单、状态记录和合同验收条款共同构成交付依据。
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PCT5801 探针卡测试系统

完整规格与流程

规格

最大针数PCT5801 67,000 pin;PCT5801v2 300,000 pinv2 为旗舰配置,同时具备 PinForce 与针尖 XYZ 能力
ATE 资源256 pin / unit,最多 4 unit按目标卡型与测试项目配置
继电器矩阵1,024 通道 / 片,最多 64 片通道容量按针数需求扩展
Motherboard 接口ZIF / POGO,Bridge Beam接口形式按客户卡型设计
控制资源Relay / FPGA / ASIC 定制控制;MCW(T5830 / T5833);SPI 与 I²C(M5 / M7)控制方案随测试机平台匹配
模拟测试Kelvin 四线量测,DPS 器件电源用于精确模拟量测试
可配置测试资源电流模块、电压电流源测单元、数字 I/O、任意波形发生与数字化仪、信号捕获模块按测试项目选配
虚拟仪表源测、数字化仪、示波与频谱分析、Pin Map 可视化软件仪表面板
操作界面图形化可客制化 GUI测试流程与显示可按客户习惯调整
时间口径简单开短路约 2 分钟;全针脚约 10 分钟;单独针对针开短路约 20 分钟不含上下料与温度稳定时间,随针数与配置变化
漏电项目针对针漏电、对地漏电、继电器开/关状态漏电(可区分前后级继电器);IO 针脚约 30 分钟DPS 针脚时间取决于所接电容
资源扩展最多 14 个 TRE(测试资源扩展)探针卡按母板与卡型配置
通道定义规格中的测试通道数指测试机侧电信号数,不等于探针卡针数避免把通道数直接读成针数
数字能力最多 65,536 数字通道;200 MHz;1.25 ~ 7 V;±32 mA;pattern memory 128 M按配置
测量资源某 18,600 针配置为 256 PMU + 16 DPS具体交付配置,随项目变化
软件工具图形化序列编程器、数字向量编辑与调试器、逻辑分析仪、虚拟仪表面板、Shmoo 调试器、VI 曲线报告自动生成随系统提供
数据与报告探针卡定义采用 Excel 格式(DUT Map、信号定义、LBIO/MCW define),支持脚本模式运行与报告自动生成便于配方复用与结果归档
安装与环境风冷;工作温度 15 ~ 30 ℃、相对湿度 30 ~ 70 %;AC 220 V 50/60 Hz基础配置标称值,随配置变化

依据与交付记录

适配测试机平台已适配并交付方案:Advantest T5830(440/480)、T5833(520)、V93000,Teradyne Magnum 5。方案制作中:Advantest T5221、CCTech C16/P16/P16+、Teradyne UltraFlex。方案开发中:XB1152、TM8000、SM0X00、M7、T5825。
交流测试PBDATA 测试对所有信号通道做传输时间(TDR)量测,约 20 分钟;总测试时间随针数与配置变化。
能力定位在超高针数条件下同时提供 DC、AC(TDR)、逻辑控制与机械检查;通用探针卡分析仪通常只覆盖其中一部分。
出展记录2025 年 Semicon China(上海)、Semicon 东南亚(新加坡)与 SWTest(美国)均以实机出展。
立场没有探针卡厂、ATE 厂或封测厂资本,按各家探针卡厂的需求改进系统,质量、成本与交期以商务合同约定。
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逐条文字说明
Advantest T5833 对接位(Docking)
同系列主机柜约 850 (W)×1050 (D)×1650 (H) mm,单塔测试头约 830×990×630 mm。我们为该平台自研 motherboard/WMB(含 32 TOM 配置)。本工位压在一台 AP3000 上——测试头正落在它那道固定的 bridge beam 上方。
光刻
具体型号和状态询盘核对
探针台
UF200、UF3000、P-12XL 等家族
测试机
V93000、T5377 等项目范围
交付
逐台设备确认
产线补充设备
按目标型号、选件、厂务和接口核对可用设备。
备件与替代方案
按停产机型、现有工艺和兼容条件查找设备或备件。
跨地区搬迁与恢复
在物流前固定清单、状态、拆装、通电和现场验收责任。
客户行业分布
客户覆盖晶圆厂、封测厂、设计公司自有测试线、探针卡制造商与科研院所。
提交设备需求
说明型号、用途、关键选件、地区、预算和时间窗口。
核对候选设备
确认序列号、配置、附件、状态和可提供的测试记录。
固定交付清单
在报价/合同中写清设备、缺件、物流、安装、厂务和验收。
现场交接
按约定完成到货、安装、通电、功能核对和问题清单。
最大针数
PCT5801 与 v2 旗舰配置
ATE 资源
全功能 ATE 前端
继电器矩阵
模块化扩展通道容量
卡接口
Bridge Beam 压合结构
出厂与维修后电测
对探针卡进行开短路、漏电和控制资源检查,形成可追踪报告。
ATE 接口前置验证
在占用生产测试机前,先验证 motherboard、通道和基础电气状态。
高通道扩展
以 1,024 通道模块组织容量,并按卡型与机架配置扩展。
开路测试 Open
所有针悬空条件下检查全通道连续性 约 5 分钟
短路测试 Short
所有针接触短路片,检查通道间短接 约 5 分钟
漏电流测试 Leakage
全针对针测试,10 nA 精度 10,000 针约 60 分钟
控制信号测试 Control
MCW / FPGA / ASIC / I²C / SPI 控制资源验证 约 5~30 分钟
机器只是其中一段
从找到这一台,到它在你的产线上跑起来,中间这四段由我们接。
服务机型

11 · Teradyne M5(Magnum 5)对接位(Docking)

电子学在机身里,直连探针卡

Magnum 系列把测试电子学集成在测试机本体内,没有独立的大机柜;晶圆分选用 K52 接口直连探针卡,不使用 pogo tower,本体面朝下压在探针台上方,与 V93000 属同一类对接构图但机身更方正。

对接本体压合探针台
结构电子学集成在本体
探针卡K52 直连探针卡
车间布局无独立机柜

它怎么工作

  1. 测试头就位
  2. 压合
  3. 整片测试
  4. 结果回传

我们负责什么

  • 供货按对接方式核对与探针台的配套关系:测试头压合还是线缆连接,所需对接件一并列全。
  • 物流测试头、机柜与线缆束分件运输,对接件与固定件随机编号,避免到厂缺件。
  • 翻新线缆束与风道整备、滤网更换,上电自检通过后再发运。
  • 安装与探针台配对就位,完成对接与联机,按你的测试程序做一次实机确认。

半导体二手设备与工程服务

完整规格与流程

规格

光刻设备ASML PAS5500、XT、NXT 家族型号、软硬件版本和工艺状态逐机确认
探针台Accretech UF200/UF3000、TEL P-12XL 等控制器、选件、接口和附件逐机确认
ATEAdvantest V93000、T5377 等板卡、license、接口和应用状态逐机确认
库存状态询盘时确认提供候选设备的序列号和所在信息
核验资料铭牌、序列号、配置、开机/自检、缺件和外观记录按设备实际条件提供
交付条件包装、物流、保险、报关、安装、厂务与验收责任和条件在报价/合同中明确
工程服务通电检查、接口梳理、数据/镜像备份与恢复支持按设备状态和授权范围执行
探针台范围东京精密 8 英寸 APM90A、UF200、UF200A、UF200SA、UF190B;12 英寸 UF3000、UF3000ex、UF300、UF300A。东京电子 8 英寸 P-8、P-8XL;12 英寸 P-12、P-12XL、P-12XLn资料所载可处理范围,非在库清单;机型名称不表示原厂授权或认证
测试机范围Advantest T3347、T5365、T5371、T5375/6/7/7S、T5581、T5588、T5830、T5833、T2000MS、93000、B6700;Teradyne J973、A580、CATALYST、J750、UltraFlex、Magnum 5同上;Magnum 5 为销售与维修范围及探针卡方案适配,不含整机交付记录
交易方式设备由我方自行进口并完成清关,境内以人民币直接交易并开具 13% 增值税专用发票价格与报价条件按项目单独确认
设备来源东亚、东南亚、欧洲与美洲的设备网络逐台核对序列号、配置与状态

依据与交付记录

库存确认库存、配置和状态以询盘时的具体设备书面资料为准。
设备信息页面图片用于说明设备家族;具体序列号、配置和外观另行提供。
验收依据序列号、配置清单、状态记录和合同验收条款共同构成交付依据。
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PCT5801 探针卡测试系统

完整规格与流程

规格

最大针数PCT5801 67,000 pin;PCT5801v2 300,000 pinv2 为旗舰配置,同时具备 PinForce 与针尖 XYZ 能力
ATE 资源256 pin / unit,最多 4 unit按目标卡型与测试项目配置
继电器矩阵1,024 通道 / 片,最多 64 片通道容量按针数需求扩展
Motherboard 接口ZIF / POGO,Bridge Beam接口形式按客户卡型设计
控制资源Relay / FPGA / ASIC 定制控制;MCW(T5830 / T5833);SPI 与 I²C(M5 / M7)控制方案随测试机平台匹配
模拟测试Kelvin 四线量测,DPS 器件电源用于精确模拟量测试
可配置测试资源电流模块、电压电流源测单元、数字 I/O、任意波形发生与数字化仪、信号捕获模块按测试项目选配
虚拟仪表源测、数字化仪、示波与频谱分析、Pin Map 可视化软件仪表面板
操作界面图形化可客制化 GUI测试流程与显示可按客户习惯调整
时间口径简单开短路约 2 分钟;全针脚约 10 分钟;单独针对针开短路约 20 分钟不含上下料与温度稳定时间,随针数与配置变化
漏电项目针对针漏电、对地漏电、继电器开/关状态漏电(可区分前后级继电器);IO 针脚约 30 分钟DPS 针脚时间取决于所接电容
资源扩展最多 14 个 TRE(测试资源扩展)探针卡按母板与卡型配置
通道定义规格中的测试通道数指测试机侧电信号数,不等于探针卡针数避免把通道数直接读成针数
数字能力最多 65,536 数字通道;200 MHz;1.25 ~ 7 V;±32 mA;pattern memory 128 M按配置
测量资源某 18,600 针配置为 256 PMU + 16 DPS具体交付配置,随项目变化
软件工具图形化序列编程器、数字向量编辑与调试器、逻辑分析仪、虚拟仪表面板、Shmoo 调试器、VI 曲线报告自动生成随系统提供
数据与报告探针卡定义采用 Excel 格式(DUT Map、信号定义、LBIO/MCW define),支持脚本模式运行与报告自动生成便于配方复用与结果归档
安装与环境风冷;工作温度 15 ~ 30 ℃、相对湿度 30 ~ 70 %;AC 220 V 50/60 Hz基础配置标称值,随配置变化

依据与交付记录

适配测试机平台已适配并交付方案:Advantest T5830(440/480)、T5833(520)、V93000,Teradyne Magnum 5。方案制作中:Advantest T5221、CCTech C16/P16/P16+、Teradyne UltraFlex。方案开发中:XB1152、TM8000、SM0X00、M7、T5825。
交流测试PBDATA 测试对所有信号通道做传输时间(TDR)量测,约 20 分钟;总测试时间随针数与配置变化。
能力定位在超高针数条件下同时提供 DC、AC(TDR)、逻辑控制与机械检查;通用探针卡分析仪通常只覆盖其中一部分。
出展记录2025 年 Semicon China(上海)、Semicon 东南亚(新加坡)与 SWTest(美国)均以实机出展。
立场没有探针卡厂、ATE 厂或封测厂资本,按各家探针卡厂的需求改进系统,质量、成本与交期以商务合同约定。
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逐条文字说明
Teradyne M5(Magnum 5)对接位(Docking)
我们的销售与维修范围覆盖 Teradyne Magnum 5(以及 J750、UltraFlex 等机型),自研探针卡测试方案已适配 M5 平台。本工位展示的是对接形态。本工位压在一台 P-12XL 上。
光刻
具体型号和状态询盘核对
探针台
UF200、UF3000、P-12XL 等家族
测试机
V93000、T5377 等项目范围
交付
逐台设备确认
产线补充设备
按目标型号、选件、厂务和接口核对可用设备。
备件与替代方案
按停产机型、现有工艺和兼容条件查找设备或备件。
跨地区搬迁与恢复
在物流前固定清单、状态、拆装、通电和现场验收责任。
客户行业分布
客户覆盖晶圆厂、封测厂、设计公司自有测试线、探针卡制造商与科研院所。
提交设备需求
说明型号、用途、关键选件、地区、预算和时间窗口。
核对候选设备
确认序列号、配置、附件、状态和可提供的测试记录。
固定交付清单
在报价/合同中写清设备、缺件、物流、安装、厂务和验收。
现场交接
按约定完成到货、安装、通电、功能核对和问题清单。
最大针数
PCT5801 与 v2 旗舰配置
ATE 资源
全功能 ATE 前端
继电器矩阵
模块化扩展通道容量
卡接口
Bridge Beam 压合结构
出厂与维修后电测
对探针卡进行开短路、漏电和控制资源检查,形成可追踪报告。
ATE 接口前置验证
在占用生产测试机前,先验证 motherboard、通道和基础电气状态。
高通道扩展
以 1,024 通道模块组织容量,并按卡型与机架配置扩展。
开路测试 Open
所有针悬空条件下检查全通道连续性 约 5 分钟
短路测试 Short
所有针接触短路片,检查通道间短接 约 5 分钟
漏电流测试 Leakage
全针对针测试,10 nA 精度 10,000 针约 60 分钟
控制信号测试 Control
MCW / FPGA / ASIC / I²C / SPI 控制资源验证 约 5~30 分钟
机器只是其中一段
从找到这一台,到它在你的产线上跑起来,中间这四段由我们接。
量产供货

12 · Advantest EVA100 电缆连接位(Cable)

台架上的小机箱,一束扁缆上探针台

EVA100 是桌面级测试单元:标准单元 363 (W)×472 (D)×206 (H) mm、8.2–19.4 kg,黑色机箱、前框品红,机顶是开放卡笼。

外形363×472×206 mm
重量8.2–19.4 kg
连接吊装挂载 或 线缆
形态桌面级测试单元

它怎么工作

  1. 线缆连接
  2. 扎针
  3. 器件测试
  4. 出数据

我们负责什么

  • 供货按对接方式核对与探针台的配套关系:测试头压合还是线缆连接,所需对接件一并列全。
  • 物流测试头、机柜与线缆束分件运输,对接件与固定件随机编号,避免到厂缺件。
  • 翻新线缆束与风道整备、滤网更换,上电自检通过后再发运。
  • 安装与探针台配对就位,完成对接与联机,按你的测试程序做一次实机确认。

Advantest EVA100 应用与测试工程

完整规格与流程

规格

机型构成E-Model 工程型;P-Model 量产型测试单元 E-Model 1 台;P-Model 最多 4 台
数字通道E-Model 128ch(DM64×2);P-Model 256~1024chbase rate 100 Mbps,双时钟 200 MHz
Pattern memory128 MW;SCAN 通道链接最大 2 GW含子程序、失效分析与数字捕捉存储器
每 DM64 模块资源PPMU 64ch(−1.25~+7 V,±32 mA);DPS 4ch(−6~+7 V,−400~+500 mA);VPP 16ch 最大 13.5 V;TMU 8ch 至 200 MHz另有 PDPS 64ch(−1.25~+7 V,±64 mA,可并联)、CPMU、18 bit AWG/DGT 与参考电源
模拟源测模块AVI 6ch:±64 V 或 −32~+96 V,最大 ±500 mA;MVI 2ch:±128 V,电流测定最大 5 A;HVI 1ch:1000 V 浮动输出AVI/MVI 电流测定最小分辨率 62.5 pA
波形发生与采集LF:AWG 200 ksps/24 bit,DGT 625 ksps/24 bit;HF:AWG 512 Msps/16 bit,DGT 250 Msps/16 bitHF 正弦 0.1 Hz~200 MHz,最大 6 Vpp,低失真 <−100 dB @ 1 MHz
示波器SCAP 4ch:1 Gsps,500 MHz 带宽(PB 直连 50 Ω;BNC 1 MΩ 输入 300 MHz),8000 采样点/通道高速采样模式 2 Gsps/2ch
协议与接口控制I2C、SPI、JTAG 与任意协议;GCM 8ch,按寄存器映射控制器件选件支持 SENT、PSI5、CAN/CANFD/LIN
电源与控制接口E-Model:100–240 V 单相,PCIe 接口;P-Model:200 V 单相,光纤接口ACDC Box 输出 48 V DC 为测试单元供电
尺寸与重量测试单元 Mini 220×472×206 mm / Standard 363×472×206 mm,约 8.2~19.4 kgACDC Box、AC-CONT 与工作站另计
适用器件MCU、小型 FPGA/ASIC、标准逻辑、指纹 IC、数字传感器、Flash,以及 LDO、DC-DC、运放等模拟器件数字与模拟模块按配置示例组合
软件Measurement Atelier;选件 System Software Pro、STILReader Plus、CATVert VCD 与生产环境工具Windows 10,图形化开发与调试
工程交付环境核对、接口板、测试程序、Golden sample、报告与培训范围在技术协议中明确

依据与交付记录

参数出处本页硬件参数取自 Advantest 公开商品目录《EVA100》(Bulletin No. EVA100-A11C,2020 年 1 月,简体中文版);目录注明产品规格与外观可能不经预告而变更。
自研与代理边界EVA100 为 Advantest 产品;Probing 是其代理与分销商,负责机械集成、应用工程与测试程序开发。
配置确认实际板卡、仪器资源与软件功能以目标系统实机配置为准,交付范围由技术协议定义。
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逐条文字说明
Advantest EVA100 电缆连接位(Cable)
与探针台的官方对接方式有两种——用吊装夹具把测试单元直接挂在 head plate 下方,或本工位这种电缆连接:测试单元放在探针台旁的台架上,一束扁平电缆从机顶性能板区引出,接到插在探针台卡座里的 Cable Connection PB。我们把 EVA100 用作测试前端构建插座与探针卡测试方案。本工位的 EVA100 用电缆接到一台 UF200。
机型
工程开发型 / 量产型
数字通道
100 Mbps,双时钟 200 MHz
逐针资源
每 DM64 模块 64 通道
模拟与高压
AVI · MVI · HVI 模块
器件测试程序开发
面向 MCU、逻辑、PMIC、传感器等器件,根据规格书、板卡和测试资源建立测试项与判定值。
工程验证与失效分析
使用虚拟仪表、序列和 Shmoo 定位电压、电流、时序与边界问题。
CP/FT 流程迁移
梳理设备资源、接口板、测试程序和数据输出,形成可验收迁移。
系统与器件盘点
核对 EVA100 配置、板卡、接口、器件规格和现有程序。
测试项与资源映射
把规格项目映射到电源、数字、混合信号和时钟资源。
程序开发与调试
使用序列、时序、电平、设备块和 Shmoo 完成验证。
Golden sample 与交付
以已知样品核对结果,完成报告、版本管理和现场培训。
机器只是其中一段
从找到这一台,到它在你的产线上跑起来,中间这四段由我们接。
量产供货

13 · 多孔式镀金台盘

晶圆吸不平的机台,换的是台盘不是整机

面向 MOSFET 测试的多孔式镀金承载台盘:3000 个以上密集吸孔、表面镀金、无沟槽结构,平坦度 5 µm,适配东京精密(ACCRETECH)APM90A 与 UF200/UF200A/UF200R 系列探针台的承载台接口。

真空孔3,000+
表面镀金 · 无沟槽
平坦度5 µm
适配APM90A · UF200 系列

它怎么工作

  1. 按机型定制
  2. 现场更换
  3. 复测吸附
  4. 交付

我们负责什么

  • 供货按机型的台盘接口与器件工艺定制,孔径分布与镀层按用途选。
  • 物流真空面单独保护,随件附检验记录。
  • 翻新在役台盘可返修:清洁、复镀与平坦度复测。
  • 安装现场更换并复测吸附均匀性与接触状态。

多孔式镀金台盘

完整规格与流程

规格

吸孔数量3000 个以上密集吸孔不使用沟槽结构
表面处理镀金兼顾背面导电与耐磨
平坦度5 μm整面指标
适配机型东京精密 ACCRETECH APM90A、UF200 系列、UF200A 系列、UF200R 系列按机型尺寸配作
典型用途MOSFET 等背面出电器件测试其他器件按样品确认
供应主体上海雯澜贸易商行与设备本体供货主体不同

依据与交付记录

参数出处3000+ 密孔、镀金、无沟槽、平坦度 5 μm 与适配机型均出自多孔盘介绍资料。
未公开项寿命、吸附力与温度上限等未在资料中给出,需按使用条件确认。
供应主体该产品由上海雯澜贸易商行供应,与探针卡设备的供货主体不同。
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逐条文字说明
多孔式镀金台盘
换装后由我们复核吸附力、平坦度与温度分布,再随整机验收。
吸孔
替代沟槽吸附
表面
背面导电与耐磨
结构
全面接触
平坦度
整面
MOSFET 背面出电测试
器件背面需与台盘全面导通,沟槽位置会造成接触缺失。
老机型耗材替换
APM90A 与 UF200 系列在役设备的承载台更换。
测试良率排查
接触不良集中在特定位置时,先排查承载面平坦度与吸附均匀性。
确认机型
按 APM90A 或 UF200 系列确定台盘尺寸与接口 不同系列不可互换
确认器件
确认背面出电方式与接触要求 决定是否需要镀金面
配作与交付
按机型配作并交付 为耗材件,按使用情况更换
装机与验证
装机后确认吸附均匀性与测试结果 以实测接触结果为准
机器只是其中一段
从找到这一台,到它在你的产线上跑起来,中间这四段由我们接。

同一套系统的第 1 / 4 页 · UF200 信息化的结果

工程样机

14 · 生产看板 · 运行总览

机台的事实,摆到车间墙上

这一页回答「现在怎么样」。看板上是信息盒的运行总览页。

阶段工程样机
接入外挂式,不改本体
取数配置卡 + 运行内存
诚实性逐页标注来源等级

它怎么工作

  1. 只读取数
  2. 按页组织
  3. 车间可见
  4. 留痕可查
  • 这批在跑什么LOT / WAFER / DEVICE 与机台状态同屏,不用走到机台前问
  • 跑到哪了晶圆进度、已测管芯与当前坐标,一眼看到还剩多少
  • 跑得怎么样良率、节拍与实时趋势,异常在曲线上先露头
  • 盒子自己好不好采集单元的温度与供电一并显示,采不到数时先知道是谁的问题

实际画面

画面为实机截图,内部标识(地址、设备编号、内部组件名)已做遮蔽处理。
画面为实机截图,内部标识(地址、设备编号、内部组件名)已做遮蔽处理。

探针台信息盒

完整规格与流程

规格

产品阶段工程样机,自研每页标注数据来源等级
接入方式外挂式采集单元,不改动机台控制程序一路直连机台、一路接厂网,物理分离
画面与操作机台画面采集并在网页端呈现,可回送操作采集与回送均为外部接口,不进入机台程序
晶圆几何尺寸、X/Y 步进、行列数、有效管芯数读自机台配置卡快照
测试计数总数、已测、通过、失败、复测、跳过、打点读自机台运行内存,标注为实时
针卡计数累计触点次数与清针次数按机台原始参数逐项无损解码
条码接入USB 扫码枪经中继写入机台原生条码接口见扫码枪与 LOT 接入项目
数据来源标注每页标注 实时 / 机台配置快照 / 本地配置 / 离线 / 设计参考 等级参考级页面自动禁用交互
模块诚实性契约每个模块声明已实现项、未推断项与外部依赖无法计算的指标显式声明而不给近似值
界面语言中文 / 日文 / 英文 / 韩文面向多语现场
硬件形态ARM64 嵌入式计算单元 + 采集与串口外设具体型号与部署形态按现场确认

依据与交付记录

阶段口径每一页都标注数据来源等级,来源未通的页面自动锁定而不是补值;页面上的成熟度徽标说明它仍在工程阶段。
接入边界采集为外挂式,不修改机台本体控制程序;可读项目取决于机型与其接口,需逐台勘察确认。
数据边界页面按数据来源分级标注,未打通的模块保持锁定;不以推断值替代实测值,不承诺任何合规认证或工厂系统代报能力。
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逐条文字说明
生产看板 · 运行总览
产线关心的三件事——这批在跑什么、跑到哪、跑得怎么样——被放在同一屏:LOT / WAFER / DEVICE 与机台状态、晶圆进度与已测管芯、BIN 分布、晶圆与配方、盒子自身健康,右侧同步显示机台实时画面。所有数字取自机台自身的计数与配置,没取到的一律显示 --,不推算、不补值:挂在车间墙上的数字,要经得起被追问。
阶段
每页标注来源等级
接入
一路机台、一路厂网
取数
晶圆几何、计数、针卡次数
诚实性
来源不明即锁定
老机台数据化
为没有现代数据接口的在役探针台提供可读出的运行事实。
针卡使用追溯
读出针卡累计触点次数与清针次数,为换卡与清洗决策提供依据。
远端查看机台状态
在厂网侧查看机台画面与运行计数,减少往返机台前的次数。
机型与接口勘察
确认机台型号、可用接口与厂网条件。
取数通道验证
逐条验证配置卡、运行计数与条码通道能否读通。
现场试运行
在真实生产节奏下观察数据与稳定性。
交付定义
按验证结果确定采集范围、部署形态与运维方式。

同一套系统的第 2 / 4 页 · UF200 信息化的结果

工程样机

15 · 生产看板 · UF200 实时画面

机台画面原样镜像

这一页回答「机台此刻在做什么」。机台原生画面以只读方式镜像到网页与看板:DEVICE、WAFER SIZE 与 FLAT DIR.、INDEX X/Y、YIELD 与 GROSS、LOT #、CHUCK HEIGHT,以及机台自己弹出的告警行,都按原样呈现,不改写、不美化。

阶段工程样机
接入外挂式,不改本体
取数配置卡 + 运行内存
诚实性逐页标注来源等级

它怎么工作

  1. 只读取数
  2. 按页组织
  3. 车间可见
  4. 留痕可查
  • 按原样镜像晶圆尺寸、FLAT 方向、INDEX X/Y、YIELD 与 GROSS,机台怎么显示就怎么显示
  • 告警照样透出机台自己弹出的告警行原样出现在网页上,不改写、不美化
  • 只读不写回机台、不干预机台程序,生产该怎么跑还怎么跑
  • 远端确认不用走到机台前,就知道它此刻在做什么

实际画面

画面为实机截图,内部标识(地址、设备编号、内部组件名)已做遮蔽处理。
画面为实机截图,内部标识(地址、设备编号、内部组件名)已做遮蔽处理。

探针台信息盒

完整规格与流程

规格

产品阶段工程样机,自研每页标注数据来源等级
接入方式外挂式采集单元,不改动机台控制程序一路直连机台、一路接厂网,物理分离
画面与操作机台画面采集并在网页端呈现,可回送操作采集与回送均为外部接口,不进入机台程序
晶圆几何尺寸、X/Y 步进、行列数、有效管芯数读自机台配置卡快照
测试计数总数、已测、通过、失败、复测、跳过、打点读自机台运行内存,标注为实时
针卡计数累计触点次数与清针次数按机台原始参数逐项无损解码
条码接入USB 扫码枪经中继写入机台原生条码接口见扫码枪与 LOT 接入项目
数据来源标注每页标注 实时 / 机台配置快照 / 本地配置 / 离线 / 设计参考 等级参考级页面自动禁用交互
模块诚实性契约每个模块声明已实现项、未推断项与外部依赖无法计算的指标显式声明而不给近似值
界面语言中文 / 日文 / 英文 / 韩文面向多语现场
硬件形态ARM64 嵌入式计算单元 + 采集与串口外设具体型号与部署形态按现场确认

依据与交付记录

阶段口径每一页都标注数据来源等级,来源未通的页面自动锁定而不是补值;页面上的成熟度徽标说明它仍在工程阶段。
接入边界采集为外挂式,不修改机台本体控制程序;可读项目取决于机型与其接口,需逐台勘察确认。
数据边界页面按数据来源分级标注,未打通的模块保持锁定;不以推断值替代实测值,不承诺任何合规认证或工厂系统代报能力。
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逐条文字说明
生产看板 · UF200 实时画面
工程师在办公室看到的与站在机台前看到的是同一屏,判断不必再翻译一遍。远程操作是选配能力,默认只读——先让人看得见,再谈让人动手。
阶段
每页标注来源等级
接入
一路机台、一路厂网
取数
晶圆几何、计数、针卡次数
诚实性
来源不明即锁定
老机台数据化
为没有现代数据接口的在役探针台提供可读出的运行事实。
针卡使用追溯
读出针卡累计触点次数与清针次数,为换卡与清洗决策提供依据。
远端查看机台状态
在厂网侧查看机台画面与运行计数,减少往返机台前的次数。
机型与接口勘察
确认机台型号、可用接口与厂网条件。
取数通道验证
逐条验证配置卡、运行计数与条码通道能否读通。
现场试运行
在真实生产节奏下观察数据与稳定性。
交付定义
按验证结果确定采集范围、部署形态与运维方式。

同一套系统的第 3 / 4 页 · UF200 信息化的结果

工程样机

16 · 生产看板 · 外挂晶圆图

整片 die 图与链路状态,一屏看完

这一页回答「整片跑成什么样,链路通不通」。外挂大屏画面:左列是配方、运行与 BIN 计数,中间按 index X/Y 与网格尺寸还原整片晶圆的 die 图,右列列出 FAB AUTO、HOST AUTO、物料流、生产与良率各条链路的状态。

阶段工程样机
接入外挂式,不改本体
取数配置卡 + 运行内存
诚实性逐页标注来源等级

它怎么工作

  1. 只读取数
  2. 按页组织
  3. 车间可见
  4. 留痕可查
  • 整片还原按 index X/Y 与网格尺寸把整片晶圆的 die 图画出来
  • 左列看运行配方、批次进度与 BIN 计数,PASS / FAIL / RETEST 分开计
  • 右列看链路工厂自动化、Host、物料流、生产与良率各条链路通没通,逐条标状态
  • 一屏给全班组挂在车间墙上,不用一群人挤在机台前看那块小屏

实际画面

画面为实机截图,内部标识(地址、设备编号、内部组件名)已做遮蔽处理。
画面为实机截图,内部标识(地址、设备编号、内部组件名)已做遮蔽处理。

探针台信息盒

完整规格与流程

规格

产品阶段工程样机,自研每页标注数据来源等级
接入方式外挂式采集单元,不改动机台控制程序一路直连机台、一路接厂网,物理分离
画面与操作机台画面采集并在网页端呈现,可回送操作采集与回送均为外部接口,不进入机台程序
晶圆几何尺寸、X/Y 步进、行列数、有效管芯数读自机台配置卡快照
测试计数总数、已测、通过、失败、复测、跳过、打点读自机台运行内存,标注为实时
针卡计数累计触点次数与清针次数按机台原始参数逐项无损解码
条码接入USB 扫码枪经中继写入机台原生条码接口见扫码枪与 LOT 接入项目
数据来源标注每页标注 实时 / 机台配置快照 / 本地配置 / 离线 / 设计参考 等级参考级页面自动禁用交互
模块诚实性契约每个模块声明已实现项、未推断项与外部依赖无法计算的指标显式声明而不给近似值
界面语言中文 / 日文 / 英文 / 韩文面向多语现场
硬件形态ARM64 嵌入式计算单元 + 采集与串口外设具体型号与部署形态按现场确认

依据与交付记录

阶段口径每一页都标注数据来源等级,来源未通的页面自动锁定而不是补值;页面上的成熟度徽标说明它仍在工程阶段。
接入边界采集为外挂式,不修改机台本体控制程序;可读项目取决于机型与其接口,需逐台勘察确认。
数据边界页面按数据来源分级标注,未打通的模块保持锁定;不以推断值替代实测值,不承诺任何合规认证或工厂系统代报能力。
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逐条文字说明
生产看板 · 外挂晶圆图
整片分布与链路状态放在同一屏,异常出在工艺还是出在接口,一眼就能分开。没有连上的链路一律写 NOT CONNECTED,适配器一侧标注 READ ONLY——看板不会为了好看,把没连上的东西显示成在线。
阶段
每页标注来源等级
接入
一路机台、一路厂网
取数
晶圆几何、计数、针卡次数
诚实性
来源不明即锁定
老机台数据化
为没有现代数据接口的在役探针台提供可读出的运行事实。
针卡使用追溯
读出针卡累计触点次数与清针次数,为换卡与清洗决策提供依据。
远端查看机台状态
在厂网侧查看机台画面与运行计数,减少往返机台前的次数。
机型与接口勘察
确认机台型号、可用接口与厂网条件。
取数通道验证
逐条验证配置卡、运行计数与条码通道能否读通。
现场试运行
在真实生产节奏下观察数据与稳定性。
交付定义
按验证结果确定采集范围、部署形态与运维方式。

同一套系统的第 4 / 4 页 · UF200 信息化的结果

工程样机

17 · 生产看板 · SECS/GEM · EAP 接口

EAP 接得上接不上,先讲清楚

这一页回答「自动化能不能接得上」。自动化对接最贵的一段,不是接口本身,是接错了才发现。

阶段工程样机
接入外挂式,不改本体
取数配置卡 + 运行内存
诚实性逐页标注来源等级

它怎么工作

  1. 只读取数
  2. 按页组织
  3. 车间可见
  4. 留痕可查
  • 核验机台自己有什么原生 GEM / HSMS 程序、数据字典与运行日志直接核对,不靠猜
  • 外部与本机分开显示外部 Host 的配置与当前会话状态分两栏,谁没连上一眼看得出
  • 逐跳标状态EAP / MES → HSMS → GEM → 机台,每一跳单独标,接错在上线前就暴露
  • 三种工作模式设计、校验与 Shadow 分开,先看清楚再动真格

实际画面

画面为实机截图,内部标识(地址、设备编号、内部组件名)已做遮蔽处理。
画面为实机截图,内部标识(地址、设备编号、内部组件名)已做遮蔽处理。

探针台信息盒

完整规格与流程

规格

产品阶段工程样机,自研每页标注数据来源等级
接入方式外挂式采集单元,不改动机台控制程序一路直连机台、一路接厂网,物理分离
画面与操作机台画面采集并在网页端呈现,可回送操作采集与回送均为外部接口,不进入机台程序
晶圆几何尺寸、X/Y 步进、行列数、有效管芯数读自机台配置卡快照
测试计数总数、已测、通过、失败、复测、跳过、打点读自机台运行内存,标注为实时
针卡计数累计触点次数与清针次数按机台原始参数逐项无损解码
条码接入USB 扫码枪经中继写入机台原生条码接口见扫码枪与 LOT 接入项目
数据来源标注每页标注 实时 / 机台配置快照 / 本地配置 / 离线 / 设计参考 等级参考级页面自动禁用交互
模块诚实性契约每个模块声明已实现项、未推断项与外部依赖无法计算的指标显式声明而不给近似值
界面语言中文 / 日文 / 英文 / 韩文面向多语现场
硬件形态ARM64 嵌入式计算单元 + 采集与串口外设具体型号与部署形态按现场确认

依据与交付记录

阶段口径每一页都标注数据来源等级,来源未通的页面自动锁定而不是补值;页面上的成熟度徽标说明它仍在工程阶段。
接入边界采集为外挂式,不修改机台本体控制程序;可读项目取决于机型与其接口,需逐台勘察确认。
数据边界页面按数据来源分级标注,未打通的模块保持锁定;不以推断值替代实测值,不承诺任何合规认证或工厂系统代报能力。
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逐条文字说明
生产看板 · SECS/GEM · EAP 接口
这一页直接核验机台原生 GEM/HSMS 程序、数据字典与运行日志,并把外部 Host 配置与当前会话状态分开显示:协议拓扑上的 EAP/MES、HSMS、GEM 与机台侧各自标注“已有证据 / 待推断 / 阻断或异常”,没有证据就不下结论,先把能确认的接口范围划清楚。AMHS、E84、AGV/OHT 等自动化联动属于升级方案的对接能力,本车间并不配备天车。
阶段
每页标注来源等级
接入
一路机台、一路厂网
取数
晶圆几何、计数、针卡次数
诚实性
来源不明即锁定
老机台数据化
为没有现代数据接口的在役探针台提供可读出的运行事实。
针卡使用追溯
读出针卡累计触点次数与清针次数,为换卡与清洗决策提供依据。
远端查看机台状态
在厂网侧查看机台画面与运行计数,减少往返机台前的次数。
机型与接口勘察
确认机台型号、可用接口与厂网条件。
取数通道验证
逐条验证配置卡、运行计数与条码通道能否读通。
现场试运行
在真实生产节奏下观察数据与稳定性。
交付定义
按验证结果确定采集范围、部署形态与运维方式。

本页展示的是二手设备的整备、改造与交付服务。文中出现的原厂机型名称,用于界定我们可以承接的设备范围,不代表获得相应厂商的授权、认证或背书;改造与翻新由我方实施,并由我方承担相应责任。车间为按真实机型与真实画面所作的示意场景,其中天车(OHT)代表升级方案可对接的 AMHS 物料流,不属于本车间配置。扫码枪与信息盒相关内容为我方自研项目,各自所处阶段以页面上的徽标为准。

想要哪一台,我们按机型报

把机型、片径与测试平台告诉我们,我们按机型回复可承接范围与方案。

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