探针卡清洗与复检工艺示意；机构、搬送和工艺参数按卡型与现场条件设计。
逐条文字说明
- 供液
- 降低不必要湿润并支持配方控制
- 清洁
- 运动、接触和次数按针型定义
- 干燥
- 建立稳定复检入口状态
- 复检
- 形成颗粒和残留记录
设备与工程方案
适用场景
适用于以下探针卡制造、测试与维护环节。
在线维护
重复污染处理
独立清洗工位
逐条文字说明
- 在线维护
- 在测试与存储之间执行可追溯的清洁、复检和放行。
- 重复污染处理
- 通过复检图像区分已清洁、需返工和需隔离的卡。
- 独立清洗工位
- 以 Card ID/RFID、配方和报告管理不同卡型的清洗作业。
SPECIFICATIONS
主要规格
具体配置根据卡型、接口、现场条件和验收项目确定。
展开完整规格表
| 项目 | 规格 / 配置 | 说明 |
|---|---|---|
| 卡型兼容 | 悬臂式与垂直式探针卡 | 夹持、姿态与禁碰区按卡型设计 |
| 换型与维护 | 快速换型、刷头更换、治具维护与防呆 | 耗材寿命与保养周期按实测数据确定 |
| 洁净与静电 | 局部洁净、防飞溅、防二次污染；接触件 ESD 受控 | 指标按客户洁净室规范设置 |
| 身份追溯 | Card ID / RFID | 记录卡号、配方、清洗次数、图像、判定与人员 |
| 部署方式 | 独立工位或联线；可作为整机内的清洗检测子模块 | 机械、电气、通信与安全互锁边界按项目定义 |
| 结果状态 | 放行 / 返工 / 复检 / 隔离 | 判定规则由客户验收方法定义 |
WORKFLOW
工作流程
01 识别与前检
02 配方化清洗
03 三方向复检
04 放行或返工
逐条文字说明
- 识别与前检
- 读取 Card ID/RFID，确认卡型、污染位置和允许的清洗方法。
- 配方化清洗
- 按配方执行雾化 IPA、受控刷洗和洁净气体吹扫。
- 三方向复检
- 采集图像并按项目阈值判断残留、颗粒和异常。
- 放行或返工
- 放行至测试/存储，或进入返工、再次复检与隔离。
FAT / SAT
项目实施
样品评估
技术协议
FAT 工厂验收
SAT 现场验收
逐条文字说明
- 样品评估
- 确认对象、接口、现状、失效模式和可用于验证的样品。
- 技术协议
- 确定配置、量测方法、阈值、节拍、数据接口和双方责任。
- FAT 工厂验收
- 使用约定样品验证功能、重复性、报告和异常处理。
- SAT 现场验收
- 完成现场联调、培训、上下游接口和遗留问题闭环。
CONFIGURATION
配置与验收
以下内容用于说明系统构成、选配项目和最终验收方式。
工艺参数
清洗条件、颗粒检出、任务时间和复检阈值通过目标针型与污染样品确定。
标准流程
雾化 IPA、受控刷洗、洁净气体和三方向复检由同一配方管理。
交付内容
材料兼容性、配方、判定、任务时间和接口写入技术协议，并在 FAT/SAT 中验收。
把卡型、接口和目标交给工程团队
提交样品、现有设备、当前问题和目标节拍；我们将在 1 个工作日内确认收到。