探针卡清洗与复检工艺示意；机构、搬送和工艺参数按卡型与现场条件设计。
设备与工程方案
适用场景
适用于以下探针卡制造、测试与维护环节。
在线维护
在测试与存储之间执行可追溯的清洁、复检和放行。
重复污染处理
通过复检图像区分已清洁、需返工和需隔离的卡。
独立清洗工位
以 Card ID/RFID、配方和报告管理不同卡型的清洗作业。
SPECIFICATIONS
主要规格
具体配置根据卡型、接口、现场条件和验收项目确定。
| 项目 | 规格 / 配置 | 说明 |
|---|---|---|
| 供液方式 | 雾化 IPA | 流量、喷射范围和材料兼容性按样品确认 |
| 刷洗 | 受控软刷运动与接触 | 刷型、接触模式、周期和次数写入配方 |
| 吹扫 | 洁净气体 | 气体条件和终止标准按现场厂务与样品确认 |
| 视觉复检 | 三方向图像与判定 | 颗粒尺寸、检出阈值和复检区域通过样品实验冻结 |
| 身份追溯 | Card ID / RFID | 记录卡号、配方、清洗次数、图像、判定和人员 |
| 部署方式 | 独立工位或联线 | 与测试、存储和工厂接口按项目集成 |
| 结果状态 | 放行 / 返工 / 复检 / 隔离 | 判定规则由客户验收方法定义 |
WORKFLOW
工作流程
识别与前检
读取 Card ID/RFID，确认卡型、污染位置和允许的清洗方法。
配方化清洗
按配方执行雾化 IPA、受控刷洗和洁净气体吹扫。
三方向复检
采集图像并按项目阈值判断残留、颗粒和异常。
放行或返工
放行至测试/存储，或进入返工、再次复检与隔离。
FAT / SAT
项目实施
样品评估
确认对象、接口、现状、失效模式和可用于验证的样品。
技术协议
确定配置、量测方法、阈值、节拍、数据接口和双方责任。
FAT 工厂验收
使用约定样品验证功能、重复性、报告和异常处理。
SAT 现场验收
完成现场联调、培训、上下游接口和遗留问题闭环。
CONFIGURATION
配置与验收
以下内容用于说明系统构成、选配项目和最终验收方式。
工艺参数
清洗条件、颗粒检出、任务时间和复检阈值通过目标针型与污染样品确定。
标准流程
雾化 IPA、受控刷洗、洁净气体和三方向复检由同一配方管理。
交付内容
材料兼容性、配方、判定、任务时间和接口写入技术协议，并在 FAT/SAT 中验收。
把卡型、接口和目标交给工程团队
提交样品、现有设备、当前问题和目标节拍；我们将在 1 个工作日内确认收到。