探针卡基板与装配治具标准化设备图

治具、视觉对位、配方与装配后验证

MEMS 探针卡植针装配设备

设备按探针、基板、治具和定位基准配置植针工位。视觉系统用于位置确认和异常记录,作业完成后可接 AOI、XYZ、Pin Force 与电性检查。

装配治具与基板类别视觉;实际工位、夹持和基准按样品设计。
输入探针 + 基板 + 治具先定义结构与定位基准
过程视觉辅助对位算法以真实样品验证
追溯工单 + 配方版本记录材料、人员、结果与异常
后检AOI / XYZ / Pin Force / 电测按项目选择组合
设备与工程方案

适用场景

适用于以下探针卡制造、测试与维护环节。

新卡型导入

从针型、基板和定位基准建立工艺窗口与治具方案。

人工装配标准化

把依赖个人经验的步骤转为配方、图像、判定和异常记录。

装配后检查

把 AOI、XYZ、针高/受力和电性结果关联到装配批次。

SPECIFICATIONS

主要规格

具体配置根据卡型、接口、现场条件和验收项目确定。

项目规格 / 配置说明
对象MEMS 及项目定义的探针/基板组合针型、材料和基准通过样品确认
夹持与定位专用治具、基板基准、换型方案先验证夹持稳定性和可达性
视觉能力辅助对位、位置确认、异常图像记录精度和视野通过样品实验确定
配方工单、材料、人员、配方版本、过程结果支持版本追溯与复盘
装配后检查AOI、XY、Z、Pin Force、电性检查选择项与阈值按验收方法确定
自动化接口上料、下料、状态与工厂接口按目标节拍和产能设计
安全运动边界、治具互锁和异常停机随设备风险评估确认
WORKFLOW

工作流程

01

样品与工艺拆解

确认针型、基板、夹持、基准、装配顺序和失效模式。

02

治具和视觉实验

验证可达性、对位方法、视野、图像质量和异常处理。

03

配方化装配

把动作、参数、人员和材料记录纳入受控配方。

04

装配后验证

按项目执行 AOI、XYZ、Pin Force 或电测,并回写批次结果。

FAT / SAT

项目实施

01

样品评估

确认对象、接口、现状、失效模式和可用于验证的样品。

02

技术协议

确定配置、量测方法、阈值、节拍、数据接口和双方责任。

03

FAT 工厂验收

使用约定样品验证功能、重复性、报告和异常处理。

04

SAT 现场验收

完成现场联调、培训、上下游接口和遗留问题闭环。

CONFIGURATION

配置与验收

以下内容用于说明系统构成、选配项目和最终验收方式。

工艺参数

位置精度与 UPH 根据目标探针、基板和治具的样品实验确定。

质量控制

测量方法、重复性和验收阈值使用真实样品验证。

交付内容

治具、算法、节拍和后检组合写入技术协议,并通过 FAT/SAT 验证。

把卡型、接口和目标交给工程团队

提交样品、现有设备、当前问题和目标节拍;我们将在 1 个工作日内确认收到。