1000 kgf 满载实测 · 面向最大 300,000 针
DeepTouch1000 探针卡专用探针台
机械平台已完成 1000 kgf 满载刚性实测；300,000 针为 v2 目标卡型架构，最终可支持针数按具体卡型与 FAT/SAT 方案确认。整卡同时接触所需的压合力在代表性工况下估算约 450 kgf，实际总载荷取决于单针压力、针卡结构、接触行程与工艺条件。DeepTouch1000 给到 1000 kgf，配 PB5801 一体化结构，单机完成整卡压合、针尖三维检查与接触状态确认，并可与 PCT5801 的异常通道坐标对应。
DeepTouch1000 产品渲染图（非实机照片）：1000 kgf 卡盘力，面向最大 300,000 针卡型的整卡压合。
逐条文字说明
- 卡盘力
- 高针数整卡压合
- 目标卡型规模
- v2 配套目标，按针力与卡型配置
- 系统结构
- 探针台与测试系统合一
- 几何检查
- 长度、位置与平整度
设备与工程方案
适用场景
适用于以下探针卡制造、测试与维护环节。
高针数探针卡承载
针尖位置与一致性
电性异常复核
探针卡来料验证
连续清针与长扎针
逐条文字说明
- 高针数探针卡承载
- 评估加载过程、整体受力与接触状态，支持 HBM 和大型探针卡项目。
- 针尖位置与一致性
- 通过 XYZ 数据和图像检查定位偏移、平整度或接触差异。
- 电性异常复核
- 将 PCT5801 异常坐标与针尖、针痕和受力证据对齐。
- 探针卡来料验证
- 对到货探针卡做电性能、接触性能与针尖一致性检验，再决定是否放行上线。
- 连续清针与长扎针
- 内置连续清针（上清针片 → 清针 → 针痕检查 → 针尖检测）与长扎针流程，用于评估接触状态随扎针次数的变化。
SPECIFICATIONS
主要规格
具体配置根据卡型、接口、现场条件和验收项目确定。
展开完整规格表
| 项目 | 规格 / 配置 | 说明 |
|---|---|---|
| 针尖检查 | XYZ 三维针尖检测 | 针长、针位与平整度；检测规格在技术协议中提供 |
| 温度能力 | 三温（选配） | 温区按设备配置与测试条件确定 |
| POST 单元（选配） | PinForce 测量与接触检查 | 传感与定位规格在技术协议中提供 |
| 减振 | 高性能隔振平台 | 抑制外部振动对针尖测量的干扰 |
| 兼容卡型 | 垂直针卡、悬臂针卡、MEMS 探针卡 | 适配 4.5 / 9 / 12 吋 |
| 晶圆 | 300 mm | 自动探针卡更换小车为选配 |
| 标准软件 | 实时 Wafer Map（PASS/FAIL/BIN 双色或多色）、Manual Inspection、离线配方编辑、日志与结果导出 | 标准配置 |
| 操作界面 | 彩色触摸屏，中/英双语，可视化测试流 | 标准配置 |
| 安全 | EMO 直接切断电源；head plate 与 loader side cover 互锁（含选配 WAPP 门） | 机器自身的安全机构，不构成任何合规声明 |
| 满载 Z 轴直线度 | < 0.2 µm（0 ~ 1000 kgf） | 1000 kgf 分级加载实测，线性度良好 |
| 满载卡盘平面度 | 偏差 ≤ 10 µm（3 mm 行程） | 满载实测，在设计规格内 |
| 满载倾角 | ≈ 0.003°（相当于 D300 mm 上约 16.2 µm） | 满载实测；验收限值在技术协议中定义 |
| 加载重复性 | 3 次加载结果一致；结构对称、无非对称变形 | 满载实测 |
| 洁净与气流 | 内置 FFU / HEPA 过滤层流 | 降低测试区落尘对针尖与接触的影响 |
| 母板自动交换 | 机械手（Z 轴升降 + 水平臂）配多机位存放架 | 选配；用于多套母板之间的自动更换 |
WORKFLOW
工作流程
01 卡型与治具确认
02 加载与成像
03 XYZ 与受力分析
04 关联电性结果
逐条文字说明
- 卡型与治具确认
- 明确探针卡结构、基准、加载范围、检查区域和安全条件。
- 加载与成像
- 按配方加载并采集针尖、接触或针痕图像。
- XYZ 与受力分析
- 计算位置和受力数据，并标记超出项目阈值的位置。
- 关联电性结果
- 与 PCT5801 坐标和判定关联，形成可追踪的复测结论。
FAT / SAT
项目实施
样品评估
技术协议
FAT 工厂验收
SAT 现场验收
逐条文字说明
- 样品评估
- 确认对象、接口、现状、失效模式和可用于验证的样品。
- 技术协议
- 确定配置、量测方法、阈值、节拍、数据接口和双方责任。
- FAT 工厂验收
- 使用约定样品验证功能、重复性、报告和异常处理。
- SAT 现场验收
- 完成现场联调、培训、上下游接口和遗留问题闭环。
CONFIGURATION
配置与验收
以下内容用于说明系统构成、选配项目和最终验收方式。
开发依据
已适配 Accretech UF3000 / UF3000ex 与 TEL P-12XL 等探针台；高针数卡在这些平台上受卡盘力限制，因此开发 1000 kgf 专用机。
满载刚性实测
分级加载到 1000 kgf 的满载实测：Z 轴直线度 < 0.2 µm，卡盘平面度偏差 ≤ 10 µm（3 mm 行程），倾角约 0.003°，三次加载结果一致、无非对称变形。测量方法、装置与完整记录在技术交流中提供。
数据关联
针尖 XYZ、负载、图像与判定记录可与 PCT5801 的异常通道坐标对应，用于定位和复验。
验收方式
治具、算法、阈值、重复性与任务时间通过真实样品在 FAT/SAT 中逐项确认。
把卡型、接口和目标交给工程团队
提交样品、现有设备、当前问题和目标节拍；我们将在 1 个工作日内确认收到。