가동 중인 노후 프로버를, 현대 fab과 OSAT가 요구하는 수준으로

도쿄정밀(Tokyo Seimitsu) APM90A 는 UF200 의 이전 세대에 해당하는 8인치 전자동 프로버로, 1994–1997년 사이에 한국·일본·대만 지역에 다수 설치되었습니다.

1998년 이후 설치된 TSK 8인치 주력 기종입니다.

LOT 번호를 사람이 직접 프로버에 입력하면 한 글자만 틀려도 그 배치 전체의 데이터가 다른 LOT 앞으로 기록되고, 그 대가는 이후의 재측정과 이력 추적에서 치르게 됩니다.

노후 프로버는 동작 정밀도 자체는 여전히 좋습니다.

2005년 이후의 ACCRETECH 12인치 기종으로 8인치와 12인치 웨이퍼를 모두 지원합니다.

UF3000 시리즈 중 고핀수·대접촉력 프로브 카드를 겨냥한 기종입니다.

ACCRETECH 의 차세대 300 mm 프로버로, 공칭 종합 정밀도는 ±0.8 µm / ±1.5 µm 이며 300 mm 와 200 mm 베어 웨이퍼를 모두 처리합니다.

도쿄일렉트론(Tokyo Electron)의 12인치 플랫탑 프로버로 2004년 전후에 설치되었습니다.

V93000 은 계측 카드를 테스트 헤드 안에 모아 두기 때문에 기존의 대형 전장 캐비닛이 없습니다.

메모리 테스터의 표준 배치입니다. 아이보리색 메인 캐비닛이 벽을 따라 줄지어 서고, 캐비닛마다 그 앞에 프로버가 한 대씩 놓이며, 회색 평판형 테스트 헤드가 아래를 향한 채 프로버 상단의 head plate 위에 눕혀집니다.

Magnum 시리즈는 테스트 전자부를 테스터 본체 안에 통합해 별도의 대형 캐비닛이 없습니다.

EVA100 은 탁상형 테스트 유닛입니다. 표준 유닛은 363 (W)×472 (D)×206 (H) mm, 8.2–19.4 kg 이며, 검정색 본체에 앞 프레임은 마젠타색이고 상단은 개방형 카드 케이지입니다.

MOSFET 테스트를 겨냥한 다공식 금도금 척입니다.

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