PCT5801 高通道探针卡电性测试系统设备图

高通道电性测试与针尖、荷重检查

存储器探针卡测试系统

适用于 NAND、NOR、DRAM 与 HBM 探针卡。PCT5801 负责电性检查,DeepTouch1000 检查针尖、荷重和接触状态;tester、prober 与 motherboard 接口按客户卡型配置。

PCT5801 高通道系统;现有系统配置为 16,384 通道,motherboard 与接口按卡型设计。
标配配置16,384 通道
漏电检查nA 级
典型任务时间Open / Short / Leakage / 控制 / TDR
验证组合PCT5801 + DeepTouch
逐条文字说明
标配配置
测试机通道标配;最大配置 65,536
漏电检查
量程与阈值按卡型设置
典型任务时间
任务时间随针数与配置,在技术协议中约定
验证组合
电性结果与针尖、受力和接触状态关联
设备与工程方案

适用场景

适用于以下探针卡制造、测试与维护环节。

存储器探针卡交付验证

HBM 与一次落针评估

电性异常定位

逐条文字说明
存储器探针卡交付验证
在交付或维修后,按 Open、Short、Leakage、控制资源与接口项目形成可追溯结果。
HBM 与一次落针评估
按高针数 motherboard 和 tester/prober 配置核对通道分配及一次落针连接。
电性异常定位
先定位开短路、漏电或控制资源异常,再用针尖 XYZ、受力和接触状态解释物理原因。
SPECIFICATIONS

主要规格

具体配置根据卡型、接口、现场条件和验收项目确定。

应用对象NAND、NOR、DRAM;HBM 按项目配置探针卡、motherboard 和 tester 共同定义系统配置
基础电测Open、Short、nA 级 Leakage阈值、量程与测试项目写入技术协议
控制资源MCW、Relay、FPGA、ASIC、SPI、I²C按板卡与 tester 接口启用
高速/波形项目PBDATA、TDR、AC作为选配项目,需要相应硬件与接口
通道规模标配 16,384 通道,最大配置 65,53660k DRAM / 300k HBM 为卡侧针数的扩展设计方向(不是通道数),按目标卡型单独配置
典型任务时间Open / Short / Leakage / 控制 / TDR任务时间随针数与配置,在技术协议中约定
展开完整规格表
项目规格 / 配置说明
tester 生态T5830、T5833、M5、V93000 P16 等接口以现场 tester、motherboard 与项目文件为准
prober 生态UF3000 / UF3000ex 与 TEL P-12XL机械、电气和自动化接口逐项目确认
WORKFLOW

工作流程

  1. 01

    接口与样品建模

  2. 02

    电性任务执行

  3. 03

    物理检查关联

  4. 04

    报告与复测

逐条文字说明
接口与样品建模
核对卡型、针数、tester、prober、motherboard、控制资源和验收项目。
电性任务执行
按 Open、Short、Leakage、MCW、控制和可选高速项目运行并保存原始结果。
物理检查关联
针对异常位置补充针尖 XYZ、受力、针痕或接触状态检查。
报告与复测
保留配置版本、结果、异常处理和复测结论,支持 FAT/SAT。
FAT / SAT

项目实施

01

样品评估

02

技术协议

03

FAT 工厂验收

04

SAT 现场验收

逐条文字说明
样品评估
确认对象、接口、现状、失效模式和可用于验证的样品。
技术协议
确定配置、量测方法、阈值、节拍、数据接口和双方责任。
FAT 工厂验收
使用约定样品验证功能、重复性、报告和异常处理。
SAT 现场验收
完成现场联调、培训、上下游接口和遗留问题闭环。
CONFIGURATION

配置与验收

以下内容用于说明系统构成、选配项目和最终验收方式。

安装应用

已安装系统 30 台(截至 2026-08),覆盖中国大陆与韩国。

扩展方案

16,384 通道为标配配置,最大配置 65,536;60k DRAM / 300k HBM 根据卡型、motherboard 与 tester 接口单独设计。

项目确认

最终通道数、量程、阈值、接口和任务时间在样品评估、技术协议及 FAT/SAT 中确定。

把卡型、接口和目标交给工程团队

提交样品、现有设备、当前问题和目标节拍;我们将在 1 个工作日内确认收到。